Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Российские ученые придумали новый тип литографии для нано- и микроэлектроники

Ключевые слова:  электрохимическая рентгеновская литография

Опубликовал(а):  Гудилин Евгений Алексеевич

22 октября 2012

Вполне ожидаемый прогресс в нано – и микроэлектронике, сражение за плотность размещения информации и рабочих элементов все уменьшающихся в размерах электронных, а потом и экзотических пока «фотонных» и «спинтронных» устройств, которое разворачивается во всем мире, наталкивается на проблему достижения высоких разрешений для существующих и (конечно же!) разработку новых типов литографии. Уже вполне нашли свою нищу, в том числе в общественном сознании, такие виды литографии, как фотолитография, включая литографию с ультрафиолетовой “засветкой” , “вырезание” структур электронным или ионным пучком, современная “клинопись” зондом атомно – силового микроскопа, “мягкая” литография с использованием самособирающихся слоев, “наносферная” литография, различные способы получения микроэлектромеханических систем.

В недавней статье выпускников факультета наук о материалах МГУ в Angewante Chemie предложен новый тип бесконтактной литографии, которую авторы назвали электрохимической рентгеновской литографией (Electrochemical X-ray Photolithography). В этом методе сочетается два важных процесса – электрохимический синтез новых планарных материалов с упорядоченной структурой на границе раздела твердой подложки и раствора, а также воздействие рентгеновского излучения. Последнее особенно интересно, потому что длина волны такого излучения составляет единицы ангстрем, что сопоставимо с параметрами кристаллических решеток в твердом теле, и это обуславливает высочайшее разрешение такой литографии.

В частности, в данной работе были получены структурированные слои электроосажденного металлического никеля на плоской подложке кремния с напыленным слоем золота. В отличие многих других работ, было обнаружено существенное увеличение тока при осаждении никеля из электролита на подложку при облучении рентгеновским излучением через кремниевую маску, расположенную на расстоянии, равном половине длины Тальбо (связанной с периодичностью маски и длиной волны рентгеновского излучения). Авторы объясняют эффект фотоионизацией подложки при воздействии квантов рентгеновского излучения и испусканием фотоэлектронов в объем электролита, что приводит к большой эффективность электрохимического восстановления ионов никеля вблизи такой поверхности. Потенциальное разрешение бесконтактного «переноса» изображения маски в слой металла может достигать десятков нанометров, что открывает возможности концептуального использования метода для наноэлектроники и разработки наноструктурированных функциональных материалов.

Статья A.A.Eliseev, N.A.Sapoletova, I.Snigireva, A.Snigirev, K.S.Napolskii, Electrochemical X-ray Photolithography опубликована в Angew. Chem. Int. Ed. 2012, 51, 1 – 5, DOI: 10.1002/anie.201204801.

Авторы работы А.А.Елисеев, К.С.Напольский – сотрудники Факультета Наук о Материалах МГУ, аспирант Н.А.Саполетова представила к защите диссертацию, выполненную на ФНМ МГУ, защита – декабрь 2012 года. Работа выполнена при поддержке Программы Развития МГУ им. М.В.Ломоносова.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Планетарный разлом
Планетарный разлом

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Броуновское движение скирмионов.Растягиваем графен правильно. Красное вино, кофе и чай помогают создавать материалы для гибкой носимой электроники. Металлическая природа кремния и углерода.

К 2023 году российские химики могут занять 4-е место в мире
Эксперты отметили рост числа научных публикаций отечественных ученых и сообщили, что к 2023 году российские химики могут занять 4-е место в мире по публикационной активности.
27 – 29 ноября в рамках юбилейных мероприятий Химического факультета МГУ и торжественной церемонии закрытия Международного года Периодической таблицы химических элементов эксперты подвели итоги 2019 г.

Итоги Менделеевского Года
28 ноября в Фундаментальной библиотеке МГУ состоялось торжественное закрытие Международного года Периодической таблицы химических элементов Д.И.Менделеева.

Константин Жижин, член-корреспондент РАН: «Бор безграничен»
Наталия Лескова
Беседа с К.Ю. Жижиным, заместителем директора Института общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова по научной работе, главным научным сотрудником лаборатории химии легких элементов и кластеров.

Мембраны правят миром
Коллектив авторов, Гудилин Е.А.
Ученые МГУ за счет детального изучения структурных и морфологических характеристик материалов на основе оксида графена и 2D-карбидов титана, а также моделирования их свойств, улучшили методы создания мембран для широкого круга практических применений.

Лекция про Дмитрия Ивановича и Наномир на Фестивале науки
Е.А.Гудилин и др., Фестиваль науки
В дни Фестиваля науки «NAUKA 0+» на Химическом факультете МГУ ведущие ученые познакомили слушателей с самыми современными достижениями химии. Ниже приводится небольшой фоторепортаж 1 дня и расписание лекций.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.