Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Российские ученые придумали новый тип литографии для нано- и микроэлектроники

Ключевые слова:  электрохимическая рентгеновская литография

Опубликовал(а):  Гудилин Евгений Алексеевич

22 октября 2012

Вполне ожидаемый прогресс в нано – и микроэлектронике, сражение за плотность размещения информации и рабочих элементов все уменьшающихся в размерах электронных, а потом и экзотических пока «фотонных» и «спинтронных» устройств, которое разворачивается во всем мире, наталкивается на проблему достижения высоких разрешений для существующих и (конечно же!) разработку новых типов литографии. Уже вполне нашли свою нищу, в том числе в общественном сознании, такие виды литографии, как фотолитография, включая литографию с ультрафиолетовой “засветкой” , “вырезание” структур электронным или ионным пучком, современная “клинопись” зондом атомно – силового микроскопа, “мягкая” литография с использованием самособирающихся слоев, “наносферная” литография, различные способы получения микроэлектромеханических систем.

В недавней статье выпускников факультета наук о материалах МГУ в Angewante Chemie предложен новый тип бесконтактной литографии, которую авторы назвали электрохимической рентгеновской литографией (Electrochemical X-ray Photolithography). В этом методе сочетается два важных процесса – электрохимический синтез новых планарных материалов с упорядоченной структурой на границе раздела твердой подложки и раствора, а также воздействие рентгеновского излучения. Последнее особенно интересно, потому что длина волны такого излучения составляет единицы ангстрем, что сопоставимо с параметрами кристаллических решеток в твердом теле, и это обуславливает высочайшее разрешение такой литографии.

В частности, в данной работе были получены структурированные слои электроосажденного металлического никеля на плоской подложке кремния с напыленным слоем золота. В отличие многих других работ, было обнаружено существенное увеличение тока при осаждении никеля из электролита на подложку при облучении рентгеновским излучением через кремниевую маску, расположенную на расстоянии, равном половине длины Тальбо (связанной с периодичностью маски и длиной волны рентгеновского излучения). Авторы объясняют эффект фотоионизацией подложки при воздействии квантов рентгеновского излучения и испусканием фотоэлектронов в объем электролита, что приводит к большой эффективность электрохимического восстановления ионов никеля вблизи такой поверхности. Потенциальное разрешение бесконтактного «переноса» изображения маски в слой металла может достигать десятков нанометров, что открывает возможности концептуального использования метода для наноэлектроники и разработки наноструктурированных функциональных материалов.

Статья A.A.Eliseev, N.A.Sapoletova, I.Snigireva, A.Snigirev, K.S.Napolskii, Electrochemical X-ray Photolithography опубликована в Angew. Chem. Int. Ed. 2012, 51, 1 – 5, DOI: 10.1002/anie.201204801.

Авторы работы А.А.Елисеев, К.С.Напольский – сотрудники Факультета Наук о Материалах МГУ, аспирант Н.А.Саполетова представила к защите диссертацию, выполненную на ФНМ МГУ, защита – декабрь 2012 года. Работа выполнена при поддержке Программы Развития МГУ им. М.В.Ломоносова.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Нобелевской премии по химии 2011 посвящается
Нобелевской премии по химии 2011 посвящается

Опубликован механизм знаменитой реакции Зелинского. Получение бензола из ацетилена с помощью автокаталитического каскада на углеродных наночастицах
Российские исследователи показали, что карбеновые центры на зигзагообразных краях графеновых структур могут представлять собой альтернативную платформу для создания эффективных каталитических систем. В частности впервые был представлен механизм реакции Зелинского: тримеризации ацетилена с образованием такого важного продукта как бензол.

Подводятся итоги творческого конкурса «ЮниКвант»
На конкурс «ЮниКвант» для участия в профильной смене по био- и нанотехнологиям в ВДЦ «Океан» поступило более 100 заявок.

Круги на нано-полях
Тысяча SEM-микрофотографий иллюстрируют эффект упорядочивания наночастиц палладия на углеродной подложке. В журнале Scientific Data опубликована новая статья Ananikovlab.ru, в которой визуализируется и обсуждается этот уникальный эффект упорядочения.

2019-nCoV: очередной коронованный убийца?
Анна Петренко
В статье рассказывается о коронавирусе 2019-nCoV — что мы знаем сегодня. А ведущие международные научные издательства предоставляют бесплатный доступ к новым статьям, посвященных изучению коронавируса

Дышать свободно: как воздухоочистители борются с вирусами
Ростех
В перечне помощников в борьбе с вирусом COVID-2019 – также воздухоочистители. Речь идет о системах очистки воздуха, которые работают на основе фотокатализа. Их фильтры способны справиться с 99% бактерий и вирусов, в том числе могут стать действенным способом борьбы со злополучным COVID-2019.

Зимняя научная конференция студентов 4 курса ФНМ МГУ 22-23 января 2020 г.
Сафронова Т.В.
Настоящий сборник содержит тезисы докладов зимней научной студенческой конференции студентов 4-го курса ФНМ

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.