Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Российские ученые придумали новый тип литографии для нано- и микроэлектроники

Ключевые слова:  электрохимическая рентгеновская литография

Опубликовал(а):  Гудилин Евгений Алексеевич

22 октября 2012

Вполне ожидаемый прогресс в нано – и микроэлектронике, сражение за плотность размещения информации и рабочих элементов все уменьшающихся в размерах электронных, а потом и экзотических пока «фотонных» и «спинтронных» устройств, которое разворачивается во всем мире, наталкивается на проблему достижения высоких разрешений для существующих и (конечно же!) разработку новых типов литографии. Уже вполне нашли свою нищу, в том числе в общественном сознании, такие виды литографии, как фотолитография, включая литографию с ультрафиолетовой “засветкой” , “вырезание” структур электронным или ионным пучком, современная “клинопись” зондом атомно – силового микроскопа, “мягкая” литография с использованием самособирающихся слоев, “наносферная” литография, различные способы получения микроэлектромеханических систем.

В недавней статье выпускников факультета наук о материалах МГУ в Angewante Chemie предложен новый тип бесконтактной литографии, которую авторы назвали электрохимической рентгеновской литографией (Electrochemical X-ray Photolithography). В этом методе сочетается два важных процесса – электрохимический синтез новых планарных материалов с упорядоченной структурой на границе раздела твердой подложки и раствора, а также воздействие рентгеновского излучения. Последнее особенно интересно, потому что длина волны такого излучения составляет единицы ангстрем, что сопоставимо с параметрами кристаллических решеток в твердом теле, и это обуславливает высочайшее разрешение такой литографии.

В частности, в данной работе были получены структурированные слои электроосажденного металлического никеля на плоской подложке кремния с напыленным слоем золота. В отличие многих других работ, было обнаружено существенное увеличение тока при осаждении никеля из электролита на подложку при облучении рентгеновским излучением через кремниевую маску, расположенную на расстоянии, равном половине длины Тальбо (связанной с периодичностью маски и длиной волны рентгеновского излучения). Авторы объясняют эффект фотоионизацией подложки при воздействии квантов рентгеновского излучения и испусканием фотоэлектронов в объем электролита, что приводит к большой эффективность электрохимического восстановления ионов никеля вблизи такой поверхности. Потенциальное разрешение бесконтактного «переноса» изображения маски в слой металла может достигать десятков нанометров, что открывает возможности концептуального использования метода для наноэлектроники и разработки наноструктурированных функциональных материалов.

Статья A.A.Eliseev, N.A.Sapoletova, I.Snigireva, A.Snigirev, K.S.Napolskii, Electrochemical X-ray Photolithography опубликована в Angew. Chem. Int. Ed. 2012, 51, 1 – 5, DOI: 10.1002/anie.201204801.

Авторы работы А.А.Елисеев, К.С.Напольский – сотрудники Факультета Наук о Материалах МГУ, аспирант Н.А.Саполетова представила к защите диссертацию, выполненную на ФНМ МГУ, защита – декабрь 2012 года. Работа выполнена при поддержке Программы Развития МГУ им. М.В.Ломоносова.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Самоорганизация в природе
Самоорганизация в природе

Назван обладатель Нобелевской премии по медицине
Нобелевскую премию по медицине за 2022 год присудили шведскому ученому Сванте Паабо за изучение генетических основ эволюции человека.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Можно ли описать скирмион одним числом. Перфторкубан: маленький пожиратель электронов. Наноструктуры в природе. Нанометровая пленка липидов обнаружена на лапках гекконов. Локализация в субволновой области и связанные состояния в континууме. Паутина собирает информацию о микрозагрязнениях воздуха.

Наносистемы: физика, химия, математика (2022, Т. 13, № 4)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume13/13-4
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2022
Коллектив авторов
Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2022 содержат следующую информацию:
• Подготовка бакалавров на факультете наук о материалах МГУ
• Состав Государственной Экзаменационной Комиссии
• Расписание защит выпускных квалификационных работ бакалавров
• Аннотации квалификационных работ бакалавров

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2022 году
коллектив авторов
24 - 27 мая пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Пятилетка Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!": что было и что может быть в будущем
Е.А.Гудилин , А.А.Семенова
Уже более 15 лет живет и развивается Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в будущее!". За всю историю Олимпиады было предложено много инновационных решений, охват олимпиадой составил более 50 000 участников по всей Российской Федерации и странам ближнего зарубежья. В статье приводятся статистические данные по Олимпиаде и возможные пути ее дальнейшего развития.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.