Мост между классическим и квантовым мирами
Москва, 31 августа 2009 года
Сейчас полупроводниковые приборы для микросхем создают главным образом методами оптической литографии, но задачи миниатюризации требуют получать на поверхности изображения, состоящие всего из нескольких атомов. Это уже иная область науки – атомная оптика, а точнее атомная нанолитография. Она стала возможной, когда ученые научились управлять движением атомов при их приближении к поверхности. Изображения наносятся «атомным пером», в качестве которого может выступать зонд атомного силового микроскопа, или с помощью атомной камеры-обскуры с маской из крошечных отверстий, сквозь которые проникает пучок атомов. Последний метод изобрели сотрудники Института спектроскопии РАН; под руководством Виктора Балыкина им удалось получить структуры размером 30 нм. В своем обзоре в журнале «Российские нанотехнологии» № 7-8 2009 исследователи подробно рассказывают о методах атомной нанолитографии и перспективах их применения.
Атомная нанолитография – важное практическое направление не только для электронной промышленности. «Например, мы можем создавать структуры в виде так называемых наноантенн, которые позволяют эффективно обнаруживать и исследовать единичные молекулы, в том числе и биомолекулы. Наноструктуры на поверхности – основа биосенсеров нового типа», - говорит Виктор Балыкин.
В.И.Балыкин, П.Н. Мелентьев «Нанолитография методами атомной оптики». Журнал «Российские нанотехнологии», № 7-8 2009. С. 68
