Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Рис. 1. Схема эксперимента и принцип работы камеры.

Рис. 2. Примеры изображений, полученных с использованием точечных отверстий различного диаметра. (А) СЭМ изображения мембраны с наноотверстиями, (B,С) АСМ изображения полученных структур.

Рис. 3. Влияние размера отверстий на разрешение камеры. (A) СЭМ изображение мембраны с отверстиями различного диаметра, (B) АСМ изображения полученных структур.

Рис. 4. Создание структур с размерами порядка 30 нм. (А) Фотография использованной маски, (B) АСМ изображение полученной структуры.

Нанолитография по-русски

Ключевые слова:  изобретение, нанолитография

Опубликовал(а):  Росляков Илья Владимирович

23 июня 2009

Синтез наноразмерных структур с помощью литографии – дело достаточно перспективное, но очень трудоемкое. Создание протяженных массивов объектов необходимой формы требует огромных временных и материальных затрат. В настоящее время наиболее широко используется оптическая фотолитография, которая, однако, имеет ряд существенных ограничений, связанных с большой длинной волны излучения и, как следствие, низким разрешением. В связи с этим пристальное внимание ученых привлекают другие частицы с меньшей длинной волны (электроны, ионы и нейтральные атомы). К преимуществам последних можно отнести бережное отношение к субстрату (он не разрушается из-за низкой энергии частиц) и возможность прямой литографии, т.е. создание структур непосредственно из облучающих атомов.

Простой и эффективный метод атомной литографии реализован в работе отечественных ученых. Русские «умельцы» использовали для создания наноструктур камеру с малым отверстием (pinhole camera). Схема эксперимента проиллюстрирована на рисунке 1. Пучок атомов (в работе использовали атомы индия), проходя через маску и мембрану с точечными отверстиями, формирует на субстрате (кремниевая пластинка) уменьшенное изображение заданного объекта. Использование тонкой мембраны из нитрида кремния с множеством отверстий позволяет без особых хлопот создавать массивы наноструктур. Коэффициент уменьшения данного устройства достигает десятков тысяч раз. Таким образом, для формирования изображений размером в десятки нанометров требуется маска с изображением в несколько миллиметров.

К вышеперечисленным достоинствам нового устройства можно также отнести возможность создания с его помощью структур самой сложной произвольной формы используя различные виды атомов и молекул. Кроме того, данный метод не требует химического селективного травления и не приводит к разрушению поверхности субстрата.




Комментарии
Хорошо, если так, без особых хлопот.
Может таки есть проблемы с дифракцией, аберрациями, разрушением мембраны, постоянным тщательным подбором формы сходящегося пучка атомов?
Dusha, 25 июня 2009 22:19 
Я так думаю, что проблем там много, но это просто КРУТО!
Огромный авторам респект
Идея блестящая: не надо воротить маску с миллионом структур, а просто сделать одну структуру и миллион отверстий.
Какие хитрые отверстия Способны делать alignment. Наверно в каждом суперотверстии засунута особая атомная линза. А иначе надо делать сложную процедуру alignment'а источника атомов, маски и мембраны с дырками при каждом шаге экпонирования.
Л В А, 29 июня 2009 22:45 
Скорее всего либо для датчиков, либо для матричных излучателей. Идее лет 20. Во всяком случае, преподаватель рассказывал о ней в году так 1995, как о работе 7-8летней давности.
Сама технология довольно интересна. Прежде всего простотой. Но за сей внешней идет внутренняя сложность. Так у меня большие сомнения по поводу качества получаемых наноточек и, особенно, нанопроводов. Край нешибко ровным будет или, что скорее на пределе разрешения будет гулять толщина провода - сие скажется в отражении от такого барьера или в размывании. Если не уметь контролировать этот процесс, то изделия не получить.
В итоге можно намудрить и в конце концов как на Nikon Precision отказаться от многолучевой литографии поигравшись вдововль. Т.е. в лаботатории результат есть а на реальной машине его не воспроизвести - капризно получается.

Я наверное скажу страшную крамолу, но при определенных важных дополнительных условиях данные методы могут быть исключительно полезны в совсем иной области, именно - для обработки информации. Можно создать системы с быстродействием выше чем у лбого проектирующегося сейчас суперкомпьютера. Правда на определенном круге задач. В частности моделирования динамических процессов в газах, в плазме и т.д. по множеству точек, распределённых в пространстве. В Троицке много хороших теоретиков осталось. Задача имеет решение :-)

Теперь касаемо нанолитографии:
Мне кажется, многолучевой литографией с нелинейными комплексными фоторезистами проще - нет совмещения как такового.
Dusha, 30 июня 2009 16:32 
Может я что-то не понял, но о каком alignmet'е идет речь?

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

видео с микроскопа - лапка мухи
видео с микроскопа - лапка мухи

Создаем новые материалы на Всероссийском Фестивале науки
Фоторепортаж о фестивале науки на площадке МГУ. Часть 2. Выставка "Создаем новые материалы". Студенты, аспиранты и сотрудники Факультета наук о материалах, химического факультета МГУ, ИОНХ РАН и ИМЕТ РАН совместно приняли участие в Фестивале науки на центральной площадке МГУ 12 - 14 октября 2017 года. На стендах была представлена часть научно - технических разработок в демонстрационных вариантах, которые позволяли всем, и детям, и родителям, и специалистам и показать, и рассказать, и красочно объяснить сложнейшие научные проекты. Спасибо всем организаторам за блестящую возможность нести свет знаний...

XXXI Осенняя научная школа МГУ
Разыскиваются юные технари, химики и математики!


Во время осенних каникул в Подмосковье пройдет Осенняя выездная школа МГУ "ЛАНАТ". В программе школы практикумы по математике, химии, биологии, программированию, электронике. Приглашаем всех школьников, приобщиться к науке!

В Москве состоялась пресс-конференция о VIII Всероссийском фестивале NAUKA 0+
5 октября 2018 г. в пресс-центре МИА «Россия сегодня» состоялась пресс-конференция, посвященная VIII Всероссийскому Фестивалю NAUKA 0+ и популяризации науки в России. На вопросы журналистов ответили заместитель Министра науки и высшего образования Российской Федерации Марина Боровская и ректор Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова, президент Российского союза ректоров академик Виктор Садовничий. Основные события Фестиваля развернутся в Москве с 12 по 14 октября. Всего мероприятия охватят более 80 регионов России.

Материалы реферативного курса "Образование в области нанотехнологий"
Коллектив авторов
Курс посвящен рассмотрению вопросов образования в области нанотехнологий, а также подготовки школьников к олимпиадам вообще и наноолимпиаде, в частности. В рамках курса рекомендуется ознакомиться с представленными материалами и пройти недавние тесты, которые помогут лучше подготовиться к XIII Всероссийской олимпиаде "Нанотехнологии - прорыв в будущее".

Материалы реферативного курса "Наномедицина"
Коллектив авторов
Курс посвящен углублению знаний потенциальных участников наноолимпиады в области наноматериалов и нанотехнологий для биологии и медицины. В рамках курса рекомендуется самостоятельно ознакомиться с представленными материалами и пройти тесты, которые помогут лучше подготовиться к XIII Всероссийской олимпиаде "Нанотехнологии - прорыв в будущее".

Материалы реферативного курса "Наноматериалы"
Коллектив авторов
Курс посвящен современному состоянию наноматериалов и их практическому использованию в различных областях науки и техники. В рамках курса рекомендуется самостоятельно ознакомиться с представленными материалами и пройти тесты, которые помогут лучше подготовиться к XIII Всероссийской олимпиаде "Нанотехнологии - прорыв в будущее".

Инновационные системы: достижения и проблемы
Олег Фиговский, Валерий Гумаров

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.