Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Наноинженерия, ответы: Наноинженерия: Плазменное травление

Формулы 1-7

Введём систему координат xOy так, как показано на рисунке. Угол α можно найти из равенства tg(a)=vx/vy, где vx и vy – проекции скорости иона на координатные оси в момент попадания на подложку. Очевидно, что если модуль начальной скорости задан, то на максимальный угол α от вертикального направления отклонятся ионы, начальная скорость которых направлена горизонтально. Поэтому будем рассматривать именно такие ионы. Начальная скорость ионов равна (для оценки) среднеквадратичной скорости их движения, которую можно выразить из уравнения (1), где M – масса иона, T – температура в кельвинах. Имеем: (2)

Для горизонтальной проекции скорости иона в момент попадания в подложку имеем: (3). Нолик и индексе означает, что это величина в начальный момент времени. Горизонтальная проекция скорости не меняется со временем.

Вертикальную проекцию скорости найдём из кинематической формулы (4), где Sy – проекция перемещения на вертикальную ось, ay – проекция ускорения.

Имеем: vy=(5) . Осталось найти ускорение a. Применяем второй закон Ньютона и связываем силу с напряжённостью электростатического поля: a=F/M=eE/M, где e – заряд электрона, E – напряжённость электростатического поля. Применяем соотношение U = EL. Получаем: a=eU/ML. Для вертикальной проекции скорости имеем: (6).

Собираем всё в одну формулу для тангенса угла (7):
tg(a) = 0,44
откуда угол равен α ≈ 24°.

Из формулы (7) видно, что уменьшения угла можно добиться:

  • уменьшением температуры установки (охлаждением),
  • уменьшением расстояния между электронами,
  • увеличением напряжения,
  • увеличением толщины маски.
Можно также изменять химический состав плазмы и маски, добиваясь желаемого эффекта.
 

Прикрепленные файлы:
Plasma_S.pdf (44.70 Кб.)

 



Исходное задание

Наношнуры ZnO
Наношнуры ZnO

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Наноструктуры в природе. Крылья ночной бабочки – акустические метаматериалы. Доменный зигзаг: новый поворот в теории микромагнетизма. Новый материал для оптических терагерцовых элементов. Водород в графине. Следопыты сверхбыстрых процессов: определение длительности световой пули. Нобелевская премия 2022.

Наносистемы: физика, химия, математика (2022, Т. 13, № 5)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume13/13-5
Там же можно скачать номер журнала целиком.

7-9 октября - Фестиваль НАУКА 0+ в Москве
7-9 октября в Москве будут проходить мероприятия в рамках Всероссийского фестиваля НАУКА 0+ — одного из крупнейших просветительских проектов в области популяризации науки в мире и одного из ключевых событий в рамках Десятилетия науки и технологий.

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2022
Коллектив авторов
Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2022 содержат следующую информацию:
• Подготовка бакалавров на факультете наук о материалах МГУ
• Состав Государственной Экзаменационной Комиссии
• Расписание защит выпускных квалификационных работ бакалавров
• Аннотации квалификационных работ бакалавров

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2022 году
коллектив авторов
24 - 27 мая пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Пятилетка Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!": что было и что может быть в будущем
Е.А.Гудилин , А.А.Семенова
Уже более 15 лет живет и развивается Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в будущее!". За всю историю Олимпиады было предложено много инновационных решений, охват олимпиадой составил более 50 000 участников по всей Российской Федерации и странам ближнего зарубежья. В статье приводятся статистические данные по Олимпиаде и возможные пути ее дальнейшего развития.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.