Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

"Мал - да удал"

Ключевые слова:  нанолитография

Автор(ы):  Коллектив разработчиков НТ-СПб, Шаров Тарас Владимирович

10 апреля 2011

Анодная литография по кремнию и пленке титана выполнена в полуконтактном режиме на приборе NanoEducator.





 

 

Средний балл: 10.0 (голосов 6)

 


Комментарии
Харин Евгений Васильевич, 16 апреля 2011 13:02 
Рис.2:
Для литографии использовалась не покрытая отражающим слоем поверхность.

Т.е. по голому кремнию?
Шаров Тарас Владимирович, 18 апреля 2011 18:41 
Да.
А что вас так удивляет? Кремний тоже окисляется. И проводит достаточно для
анодного окисления, потому что он в кантилеверах допированный.
Скажите пожалуйста а представленные сканы были получены после окончания литографии или в процессе?
Шаров Тарас Владимирович, 22 апреля 2011 13:34 
Картинки с "эдюкатором" получены на обратном ходе сканирования - на прямом шел
процесс литографии. Это видно по маске вверху на сканах. Портрет похоже тоже
зарегистрирован на обратном ходе. Если снимать отдельный скан после процесса
литографии, то картина будет искажена из-за дрейфа. Увы, у прибора нет
никакой компенсации температурного дрейфа.
Спасибо, я собственно это и имел в виду. Хотя искажение картинки в приборах со сканерами без обратной связи скорее связано с крипом керамики чем с температурным дрейфом как таковым.
Шаров Тарас Владимирович, 25 апреля 2011 14:09 
В "эдюкаторах" можно заметно снизить крип сделав почти полный кадр (200х200
точек) в режиме "One line scaning". За десяток-два строк до окончания
остановить сканирование, быстро перейти в обычный режим, начать
сканирование и через 4-10 (не более) строк нажать "Restart".

После этого крип почти не заметен, остается только температурный дрейф.

Проверял, что крип полностью уходит при сканировании более 300-500 строк.

Также переходные магнитные подставки не стоит устанавливать руками. Они
довольно долго остывают и на таких масштабах заметен дрейф по высоте.
Соколов Игорь Викторович, 28 апреля 2011 10:16 
А режим СТМ работает на "МИКРОэдюкаторе" , и почему он НАНО ?
Шаров Тарас Владимирович, 28 апреля 2011 11:31 
Нано-, потому-что нано-.
Ведь по высоте он смотрит обычно нанометры. Да и ДНКу я на нем глядел.
Микроскоп способен на это, даже без переделок. Зонд с радиусом закругления
менее 30 нм - не проблема, готовится в течении 15 минут, а если повезет, то
и за 5. А поле сканирования у него как и у обычных 100х100 мкм^2, только без
датчиков положения (хотя видел и работал на эдюкаторе с датчиками положения
RENISHAW).

СТМ конечно хромает, и временами на обе ноги, приходится коэффициент
усиления в цепи ОС уменьшать до "0" (что соответствует коэффициенту
передачи промежуточного усилителя 1), и не всегда помогает. Тогда
приходится доставать из шкафчика рясу и бубен.

Соколов Игорь Викторович, 28 апреля 2011 11:56 
Спсб всегда было интересно узнать... а вот по поводу зонда, что значит повезет ? И как часто получается радиус закругления 30 нм ? Видимо Вы на постоянном токе травите... если да то в этом случае у Вас на поверхности зонда "толстый-толстый слой шоколада" от 10 до 100 нм
Шаров Тарас Владимирович, 28 апреля 2011 12:51 
Травлю на переменке, по этому на поверхности "шоколад" иногда виден в РЭМе, но это
органика. У меня в "хозяйстве" новая травилка подаренная разработчиками.
Менее 30 нм получается 1 из 4 зондов. Просьба сильно не пинать, но контроль в
иммерсионную оптику. Менее 30 отбираю по "красивой" картинке. Сразу встает вопрос об
адекватности такого контроля. Провел эксперимент. Отобрал с помощью такого контроля
22 зонда (ушло на это около 6 часов) и отнес их на РЭМ (цейсовскую супру). В итоге
только один имел радиус закругления 35 нм, до 25 нм еще 3, а остальные 18 менее 25
нм.

Студенты делают работы зондами с радиусом закругления не более 50-60 нм. Такие
получаются в 90% случаев.
Соколов Игорь Викторович, 28 апреля 2011 13:31 
А как же тестовые объекты ? Мы вот диски DVD и Blue-Ray используем, а так же вопг для проверки чистоты поверхности зонда, можно воздействие делать на платине, после которого остаются точки и по размеру можно оценить радиус закругления. Кстати какую минимальную точку можно сделать и увидеть на "эдукаторе" ?
Шаров Тарас Владимирович, 28 апреля 2011 14:11 
Все бы хорошо, но вот время на посмотреть на СЗМ уходит гораздо больше (5-10
минут против 1-2 в оптику). А так есть тестовая решетка TGT1 c конусами
высотой 500-700 нм, углом 30 градусов и радиусом закругления менее 10 нм.
По-началу использовал ее, иногда получалось, что радиус закругления на
изображении был менее 15 нм.

Что значит сделать точку? И чем ее потом смотреть?
Соколов Игорь Викторович, 28 апреля 2011 14:15 
Сделать зондом, а смотреть микроскопом... могу выложить картинки
Шаров Тарас Владимирович, 28 апреля 2011 14:34 
Тем же самым зондом? И...?

Смоделируйте карандашом на бумаге: какой профиль получите при сканировании
коническим зондом, с известными радиусом и углом, углубления с такими же
радиусом и углом.

...получите конус с нулевым радиусом закругления на конце.

При сканировании выступов радиусы складываются, а углублений - вычитаются.

РЭМ и ПЭМ наверное единственные объективные методы изучения формы иглы, но
опять же нужно потратить 10-15 минут на получение изображения.
Соколов Игорь Викторович, 28 апреля 2011 14:43 
Интересно почему Вас так пугает время ? А так я с вами согласен полностью, ответ в виде изображений добавил...
Шаров Тарас Владимирович, 28 апреля 2011 14:53 
Потому что приготовление зонда это подготовительная операция и не должна
занимать много времени. А на эдюкаторе зонду идут в расход быстро.


Как ваши картинки добавленные посмотреть?
Соколов Игорь Викторович, 28 апреля 2011 14:58 
Я добавил в галерею, как модератор добавит так и увидите

А зонды в расход это стандартно для СЗМ
Шаров Тарас Владимирович, 28 апреля 2011 15:18 
Поэтому время для их изготовления не должно занимать более одной пятой от
всего времени. Для моих 15 мин на изготовление и контроль зондом лучше 30
нм получается время работы зондом час-полтора. Я ведь в оптику проверяю
все 4 зонда, а только один подойдет. Если для контроля использовать
эдюкатор, то на изготовление и контроль зонда <30 нм может уйти не 15
минут, а час.

Датчик взаимодействия в эдюкаторе представляет собой пьезотрубку, в
которую вставлен зонд. И похоже кончик зонда в таком датчике "заметает"
лишних 10-15 нм. У меня не получалась ширина изображения ДНК лучше 20-25 нм, а
это соответствует радиусу 70-80 нм.
Kir K Ext undefined undefined, 28 июня 2011 23:53 
улудшили ПО. А где его скачать?
И как вы получили 9 вольт? (не мерял. в настройках стм смешение до 5)
Понятно, что их электронный адрес я оставлять здесь не буду. Если интересно,
то можете узнать его у НТ-МДТ. А вот последнюю версию старого варианта
программы скинуть смогу вам на почту. Многое в этой версии попросил
поправить. Изменен алгоритм подвода зонда к образцу. На счет получения новой,
русифицированной версии лучше узнать у разработчиков Эдюкаторов через НТ-МДТ.

У меня переделана плата, заменен один из резисторов.Этим увеличено напряжение
смещения подаваемое на образец.

Анодную литографию можно проводить только в русифицированной версии.
Kir K Ext undefined undefined, 14 июля 2011 01:25 
надеюсь они хоть тем кто купит новые микроскопы ее поставят.
Увы, теперь есть НаноЭдюкатор 2, который делает НТ-МДТ.
А можно нарисовать и Ipad2
как рисовали?
Давно здесь не был.
Для литографии разработчиками Эдюкатора была доработана закладка "Литография" куда был добавлен соответствующий подраздел. Берем маску. Выставляем параметры "Время воздействия" и "величину воздействия" (напряжение на образце) и нажимаем кнопку "Старт".
Первые опыты начинал с внешним источником напряжения. Изолировал двусторонним скотчем образец от предметного столика. Соединял корпус Эдюкатора с "минусом" источника питания, "плюс" подавал на образец. В качестве образца брал кантилевер. Сканировал область 1х1 мкм2, подав напряжение около 10-15 В. Затем сканировал область "вокруг" размером 5х5 мкм2. Видел, что растет оксид.

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Серебряное дерево
Серебряное дерево

Всероссийский конкурс - Олимпиада "Кристальное дерево знаний 2021"
Геологический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова в партнерстве с другими соорганизаторами проводит Всероссийский конкурс - Олимпиаду "Кристальное дерево знаний - 2021". Вся подробная информация приведена на странице конкурса ВКонтакте и на портале "Ломоносов". Приглашаем к участию (и сотрудничеству), это очень интересно!

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Наноструктуры в природе. Для адгезии пауков важна
каждая щетинка. Волнорезы для плазмонов. Противораковые лекарства на борных фуллеренах.
Скирмион проходит пробы на роль кубита. Вторая Международная конференция “Физика конденсированных состояний” (ФКС-2021).

Наносистемы: физика, химия, математика (2021, Т. 12, № 4)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume12/12-4
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2021
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 8, 9, 10 и 11 июня 2021 г. Начало защит в 11.00. Защиты пройдут с использованием дистанционных образовательных технологий.

Академик Е.Н. Каблов: «Для освоения космоса нужны новые материалы»
Янина Хужина
В этом году весь мир отмечает 60-летие первого полета человека в космос. Успех миссии Юрия Гагарина стал возможен благодаря слаженной работе многих людей: физиков, математиков, конструкторов, инженеров-проектировщиков и, конечно, материаловедов. «Научная Россия» обсудила с академиком РАН Евгением Кабловым основные вехи в развитии космического и авиационного материаловедения.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2021 году
коллектив авторов
25 - 28 мая пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.