Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Рис. 1. Схема устройства и фотография камеры гелий-ионного микроскопа с установкой для измерения электронных свойств in-situ.

Рис. 2. Изображение устройства на основе графена, полученное с помощью гелий-ионного микроскопа (а), область, использованная для травления (b) и графеновый слой после серии из 14 последовательных экспериментов по удалению графенового монослоя (с).

Рис. 3. Пошаговое удаление графенового слоя (a) приводит к снижению силы тока между электродами (b).

Ионные ножницы для графена

Ключевые слова:  графен, литография, транзистор

Опубликовал(а):  Росляков Илья Владимирович

05 октября 2009



Использование графена в качестве базового материала для электроники уже давно вошло в моду среди нанотехнологов. Множество научных работ посвящено ювелирному «вырезанию» устройств требуемой формы из двухмерных графеновых сеток. Для этого в основном используются литографические техники, которые позволяют создать устройства любой формы с точностью до нескольких нанометров. Сообщалось даже о создании из графена цепочки атомов углерода.

Английские ученые использовали в качестве литографического инструмента сфокусированный пучок ионов гелия. Гелий-ионная микроскопия (Helium-Ion Microscopy) впервые была реализована на практике лишь в 2007 году и пока не успела получить широкого распространения. Тем не менее, она характеризуется рядом преимуществ по сравнению с классической электронной микроскопией. Высокая яркость пучка, низкий разброс частиц по энергии и предельное достигнутое разрешением 0,24 нм дают возможность с высокой точностью контролировать структуру будущего устройства путем прецизионного выбора облучаемой области. Минимальная область фокусировки пучка, достигнутая в работе, составила 10 нм в ширину, но, по утверждению авторов, это далеко не предел.

Использование подложки из диоксида кремния позволило исследовать электронные свойства графена непосредственно в камере микроскопа во время облучения ионным пучком (in-situ). В ходе эксперимента проводилось пошаговое травление углеродного монослоя между двумя металлическими контактами. По мере уменьшения длины контакта наблюдалось ступенчатое изменение силы тока между электродами (рис. 3b). Переход на следующий участок облучения осуществлялся после выхода силы тока на плато, что соответствовало полному удалению графенового слоя с облучаемой области. Наблюдаемый остаточный ток порядка 4 нА авторы связывают с проводимостью оксидной подложки в результате загрязнения углеводородами.

Работа «Etching of Graphene Devices with a Helium Ion Beam» опубликована в ACS Nano.


Источник: ACS Nano



Комментарии
Коваленко Артём, 05 октября 2009 12:35 
Гелий-ионная "ножницы"
"моя твоя не понимает"
сипасибббо

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Личная жизнь атомов под пучком
Личная жизнь атомов под пучком

Светодиодные технологии и оптоэлектроника: магистратура на стыке образования и индустрии
Открыт набор на первую в России индустриальную программу «Светодиодные технологии и оптоэлектроника» Университета ИТМО

Международная онлайн-дискуссия «Квант будущего»
Фонд Росконгресс, Госкорпорация «Росатом», Российский квантовый центр и научно-популярное издание N+1 завершают серию международных онлайн-дискуссий «Квант будущего», где лидеры индустрии и ведущие мировые ученые обсуждают, как квантовые технологии уже изменили наш мир, и с какими вызовами помогут справиться в будущем.
Заключительная дискуссия «Квантовая революция: профессии будущего и трансформация образования» состоится 8 июля в 17:00 по московскому времени.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Супергибридный материал для хранения водорода. Двумерная соль. Существование виртуальных мультиферроиков подтверждено. Чёрные бабочки. Служение науке и немного поэзии.

Академия - университетам
Е.А.Гудилин, Ю.Г.Горбунова, С.Н.Калмыков
Российская Академия Наук и Московский университет во время пандемии реализовали пилотную часть проекта "Академия – университетам: химия и науки о материалах в эпоху пандемии". За летний период планируется провести работу по подключению к проекту новых ВУЗов, институтов РАН, профессоров РАН, а также по взаимодействию с новыми уникальными лекторами для развития структурированного сетевого образовательного проекта "Академия - университетам".

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2020
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 16, 17, 18 и 19 июня 2020 г.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2020 году
коллектив авторов
2 - 5 июня пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.