Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Рис. 1. Схема устройства и фотография камеры гелий-ионного микроскопа с установкой для измерения электронных свойств in-situ.

Рис. 2. Изображение устройства на основе графена, полученное с помощью гелий-ионного микроскопа (а), область, использованная для травления (b) и графеновый слой после серии из 14 последовательных экспериментов по удалению графенового монослоя (с).

Рис. 3. Пошаговое удаление графенового слоя (a) приводит к снижению силы тока между электродами (b).

Ионные ножницы для графена

Ключевые слова:  графен, литография, транзистор

Опубликовал(а):  Росляков Илья Владимирович

05 октября 2009



Использование графена в качестве базового материала для электроники уже давно вошло в моду среди нанотехнологов. Множество научных работ посвящено ювелирному «вырезанию» устройств требуемой формы из двухмерных графеновых сеток. Для этого в основном используются литографические техники, которые позволяют создать устройства любой формы с точностью до нескольких нанометров. Сообщалось даже о создании из графена цепочки атомов углерода.

Английские ученые использовали в качестве литографического инструмента сфокусированный пучок ионов гелия. Гелий-ионная микроскопия (Helium-Ion Microscopy) впервые была реализована на практике лишь в 2007 году и пока не успела получить широкого распространения. Тем не менее, она характеризуется рядом преимуществ по сравнению с классической электронной микроскопией. Высокая яркость пучка, низкий разброс частиц по энергии и предельное достигнутое разрешением 0,24 нм дают возможность с высокой точностью контролировать структуру будущего устройства путем прецизионного выбора облучаемой области. Минимальная область фокусировки пучка, достигнутая в работе, составила 10 нм в ширину, но, по утверждению авторов, это далеко не предел.

Использование подложки из диоксида кремния позволило исследовать электронные свойства графена непосредственно в камере микроскопа во время облучения ионным пучком (in-situ). В ходе эксперимента проводилось пошаговое травление углеродного монослоя между двумя металлическими контактами. По мере уменьшения длины контакта наблюдалось ступенчатое изменение силы тока между электродами (рис. 3b). Переход на следующий участок облучения осуществлялся после выхода силы тока на плато, что соответствовало полному удалению графенового слоя с облучаемой области. Наблюдаемый остаточный ток порядка 4 нА авторы связывают с проводимостью оксидной подложки в результате загрязнения углеводородами.

Работа «Etching of Graphene Devices with a Helium Ion Beam» опубликована в ACS Nano.


Источник: ACS Nano



Комментарии
Коваленко Артём, 05 октября 2009 12:35 
Гелий-ионная "ножницы"
"моя твоя не понимает"
сипасибббо

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Непослушные цифры
Непослушные цифры

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Броуновское движение скирмионов.Растягиваем графен правильно. Красное вино, кофе и чай помогают создавать материалы для гибкой носимой электроники. Металлическая природа кремния и углерода.

К 2023 году российские химики могут занять 4-е место в мире
Эксперты отметили рост числа научных публикаций отечественных ученых и сообщили, что к 2023 году российские химики могут занять 4-е место в мире по публикационной активности.
27 – 29 ноября в рамках юбилейных мероприятий Химического факультета МГУ и торжественной церемонии закрытия Международного года Периодической таблицы химических элементов эксперты подвели итоги 2019 г.

Итоги Менделеевского Года
28 ноября в Фундаментальной библиотеке МГУ состоялось торжественное закрытие Международного года Периодической таблицы химических элементов Д.И.Менделеева.

Константин Жижин, член-корреспондент РАН: «Бор безграничен»
Наталия Лескова
Беседа с К.Ю. Жижиным, заместителем директора Института общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова по научной работе, главным научным сотрудником лаборатории химии легких элементов и кластеров.

Мембраны правят миром
Коллектив авторов, Гудилин Е.А.
Ученые МГУ за счет детального изучения структурных и морфологических характеристик материалов на основе оксида графена и 2D-карбидов титана, а также моделирования их свойств, улучшили методы создания мембран для широкого круга практических применений.

Лекция про Дмитрия Ивановича и Наномир на Фестивале науки
Е.А.Гудилин и др., Фестиваль науки
В дни Фестиваля науки «NAUKA 0+» на Химическом факультете МГУ ведущие ученые познакомили слушателей с самыми современными достижениями химии. Ниже приводится небольшой фоторепортаж 1 дня и расписание лекций.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.