Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Из двух пересекающихся нанопроволок (слева), используя метод TEBAL, получили транзистор (справа).
Нанокольцо. (источник: University of Pennsylvania)
Аппаратура для метода TEBAL. (источник: University of Pennsylvania)

Ученые «вручную» создали устройства с размерами менее 10 нанометров

Ключевые слова:  TEM, микроскопия, микроэлектроника, нанолитография, наноструктура, нанотехнология, периодика, электронная микроскопия

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

02 мая 2007

Группа исследователей из Пенсильванского университета (University of Pennsylvania) использовали электронный пучок для того, чтобы «вручную» вырезать из тонких металлических плёнок структуры и устройства размером менее 10 нм. Их метод может повлиять на развитие нанотехнологий, включая наноэлектронику.

Авторы статьи, опубликованный в Nano Letters, профессор Marija Drndić и аспирант Michael Fischbein, используя новый метод, создали большое большое количество наноструктур: нанодиски, нанокольца, нанопроволоки, нанодырки и многополюсные нанотранзисторы (nanodisks, nanorings, nanowires, nanoholes, multi-terminal nano-transistors).

Drndić и Fischbein использовали электронный пучок электронного микроскопа для создания различных металлических наноструктур, удаляя атомы из металлических пленок, Использовались плёнки из золота, серебра или алюминия толщиной от 10 до 50 нанометров, разрезанные на полосы шириной 80 нанометров.

"Это всё равно, что вырезать изо льда при помощи лупы и солнечных лучей", - говорит Fischbein. "Однако, использование электронного пучка вместо солнечных лучей позволяет получить точность на атомарном уровне".

Описанный метод, названные TEBAL (transmission electron beam ablation lithography), позволяет контролировать процесс создания структуры в реальном времени и получать её изображение с атомным разрешением. Все структуры созданные с использованием TEBAL были сделаны «вручную», т.е. человек управлял электронным пучком и наблюдал за тем, какую форму принимает заготовка. "Компьютерное управление приведёт к более высокой степени точности, чем мы продемонстрировали, и созданию достаточно сложных структур на большой площади ", - сказал Fischbein.

TEBAL обладает большим практическим потенциалом, т.к. с помощью этого метода можно создавать разнообразные наноструктуры.




Комментарии
A ne kazetsya li avtoram, chto tochost dannogo metoda ogranichena volnovim povedeniem chastits puchka?
Трусов Л. А., 02 мая 2007 17:58 
ну, 20-нм бублик они вырезали.
ну чем больше энергия частиц тем меньше их длина волны, тем больше разрешение, и если перейти не к электроннам, к более тяжелым частицам, например к протонам и др. ионам элементов, то можно будет, думаю, протравливать конструкции любой формы из нанопленок.
такой метод с использованием ионов уже есть, называется он FIB и применяется для обработки магнитных головок винчестеров
FIB есть у многих и он, действительно, может многое...

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Осень
Осень

MAPPIC 2019. Первый день
14 октября 2019 года успешно открылась I Московская осенняя международная конференция по перовскитной фотовольтаике (Moscow Autumn Perovskite Photovoltaics International Conference – MAPPIC-2019). В сообщении приведены темы докладов и небольшой фоторепортаж.

В Москве начинается MAPPIC - 2019
14-15 октября 2019 года состоится I Московская осенняя международная конференция по перовскитной фотовольтаике (Moscow Autumn Perovskite Photovoltaics International Conference – MAPPIC-2019)

РИА Новости: Нобелевскую премию по химии присудили за разработку литий-ионных батарей
РИА Новости: Джон Гуденаф, Стенли Уиттингхем и Акира Йошино стали лауреатами Нобелевской премии в области химии за 2019 год за разработку литий-ионных батарей.

Лекция про Дмитрия Ивановича и Наномир на Фестивале науки
Е.А.Гудилин и др., Фестиваль науки
В дни Фестиваля науки «NAUKA 0+» на Химическом факультете МГУ ведущие ученые познакомили слушателей с самыми современными достижениями химии. Ниже приводится небольшой фоторепортаж 1 дня и расписание лекций.

Как правильно заряжать аккумулятор?
Д. М. Иткис
Химик Даниил Иткис о том, как правильно заряжать аккумуляторы гаджетов и почему телефон выключается на холоде

Постлитийионные аккумуляторы
В. А. Кривченко
Физик Виктор Кривченко о перспективных видах аккумуляторов, фундаментальных проблемах в производстве литий-серных источников тока и преимуществах постлитийионных аккумуляторов

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.