Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Из двух пересекающихся нанопроволок (слева), используя метод TEBAL, получили транзистор (справа).
Нанокольцо. (источник: University of Pennsylvania)
Аппаратура для метода TEBAL. (источник: University of Pennsylvania)

Ученые «вручную» создали устройства с размерами менее 10 нанометров

Ключевые слова:  TEM, микроскопия, микроэлектроника, нанолитография, наноструктура, нанотехнология, периодика, электронная микроскопия

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

02 мая 2007

Группа исследователей из Пенсильванского университета (University of Pennsylvania) использовали электронный пучок для того, чтобы «вручную» вырезать из тонких металлических плёнок структуры и устройства размером менее 10 нм. Их метод может повлиять на развитие нанотехнологий, включая наноэлектронику.

Авторы статьи, опубликованный в Nano Letters, профессор Marija Drndić и аспирант Michael Fischbein, используя новый метод, создали большое большое количество наноструктур: нанодиски, нанокольца, нанопроволоки, нанодырки и многополюсные нанотранзисторы (nanodisks, nanorings, nanowires, nanoholes, multi-terminal nano-transistors).

Drndić и Fischbein использовали электронный пучок электронного микроскопа для создания различных металлических наноструктур, удаляя атомы из металлических пленок, Использовались плёнки из золота, серебра или алюминия толщиной от 10 до 50 нанометров, разрезанные на полосы шириной 80 нанометров.

"Это всё равно, что вырезать изо льда при помощи лупы и солнечных лучей", - говорит Fischbein. "Однако, использование электронного пучка вместо солнечных лучей позволяет получить точность на атомарном уровне".

Описанный метод, названные TEBAL (transmission electron beam ablation lithography), позволяет контролировать процесс создания структуры в реальном времени и получать её изображение с атомным разрешением. Все структуры созданные с использованием TEBAL были сделаны «вручную», т.е. человек управлял электронным пучком и наблюдал за тем, какую форму принимает заготовка. "Компьютерное управление приведёт к более высокой степени точности, чем мы продемонстрировали, и созданию достаточно сложных структур на большой площади ", - сказал Fischbein.

TEBAL обладает большим практическим потенциалом, т.к. с помощью этого метода можно создавать разнообразные наноструктуры.




Комментарии
A ne kazetsya li avtoram, chto tochost dannogo metoda ogranichena volnovim povedeniem chastits puchka?
Трусов Л. А., 02 мая 2007 17:58 
ну, 20-нм бублик они вырезали.
ну чем больше энергия частиц тем меньше их длина волны, тем больше разрешение, и если перейти не к электроннам, к более тяжелым частицам, например к протонам и др. ионам элементов, то можно будет, думаю, протравливать конструкции любой формы из нанопленок.
такой метод с использованием ионов уже есть, называется он FIB и применяется для обработки магнитных головок винчестеров
FIB есть у многих и он, действительно, может многое...

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Блистеринг и отслаивание
Блистеринг и отслаивание

4 февраля объявили лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке»
4 февраля в здании Минобрнауки РФ состоялась торжественное награждение лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке». 11 научно-просветительских проектов были отмечены престижной наградой.

Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии
5 февраля в Московском университете в Шуваловском корпусе МГУ состоится Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии, посвященный Международному году Периодической таблицы химических элементов, начало - 10 часов.

II Всероссийский химический диктант пройдет 18 мая 2019 года
В 2019 году периодическому закону Дмитрия Менделеева исполнится 150 лет! В честь великого открытия этот год объявлен Международным годом Периодической таблицы химических элементов. Одним из наиболее ярких событий, приуроченных к этому году, станет II Всероссийский химический диктант, который пройдет 18 мая и который в этом году выходит на международный уровень. Мероприятие было анонсировано в рамках церемонии открытия Международного года Периодической таблицы химических элементов 29 января 2019 года в Париже, в штаб-квартире ЮНЕСКО.

Самые необычные таблицы Менделеева на выставке Международного года Периодической таблицы химических элементов

6-8 февраля в Российской академии наук состоялось торжественное открытие Международного года периодической таблицы химических элементов в России и приуроченная к этому масштабная интерактивная выставка

Почувствовать живое...
Е.А.Гудилин, А.А.Семенова, Н.А.Браже
Неразрушающее исследование живых клеток и клеточных структур является в настоящее время важным направлением научных изысканий, которые во многих зарубежных и российских научных группах направлены на достижение вполне прагматической цели – разработку новых принципов биомедицинской диагностики и эффективных подходов в нарождающейся персональной медицине.

Российская газета: Перевернуть пирамиду. Президент РАН: как повысить наши шансы на Нобеля
Юрий Медведев
Почему Россия по числу Нобелей отстает от ведущих стран мира, уступая, например, даже маленькой Швейцарии? Замалчиваются ли достижения отечественных ученых? Почему без привлечения в науку российского бизнеса мы не сможем успешно конкурировать в борьбе за престижную научную премию? Об этом корреспондент "РГ" беседует с президентом РАН Александром Сергеевым, который побывал в Стокгольме на вручении Нобелевских премий и поделился своими впечатлениями.

Инновационные системы: достижения и проблемы
Олег Фиговский, Валерий Гумаров

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.