Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Из двух пересекающихся нанопроволок (слева), используя метод TEBAL, получили транзистор (справа).
Нанокольцо. (источник: University of Pennsylvania)
Аппаратура для метода TEBAL. (источник: University of Pennsylvania)

Ученые «вручную» создали устройства с размерами менее 10 нанометров

Ключевые слова:  TEM, микроскопия, микроэлектроника, нанолитография, наноструктура, нанотехнология, периодика, электронная микроскопия

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

02 мая 2007

Группа исследователей из Пенсильванского университета (University of Pennsylvania) использовали электронный пучок для того, чтобы «вручную» вырезать из тонких металлических плёнок структуры и устройства размером менее 10 нм. Их метод может повлиять на развитие нанотехнологий, включая наноэлектронику.

Авторы статьи, опубликованный в Nano Letters, профессор Marija Drndić и аспирант Michael Fischbein, используя новый метод, создали большое большое количество наноструктур: нанодиски, нанокольца, нанопроволоки, нанодырки и многополюсные нанотранзисторы (nanodisks, nanorings, nanowires, nanoholes, multi-terminal nano-transistors).

Drndić и Fischbein использовали электронный пучок электронного микроскопа для создания различных металлических наноструктур, удаляя атомы из металлических пленок, Использовались плёнки из золота, серебра или алюминия толщиной от 10 до 50 нанометров, разрезанные на полосы шириной 80 нанометров.

"Это всё равно, что вырезать изо льда при помощи лупы и солнечных лучей", - говорит Fischbein. "Однако, использование электронного пучка вместо солнечных лучей позволяет получить точность на атомарном уровне".

Описанный метод, названные TEBAL (transmission electron beam ablation lithography), позволяет контролировать процесс создания структуры в реальном времени и получать её изображение с атомным разрешением. Все структуры созданные с использованием TEBAL были сделаны «вручную», т.е. человек управлял электронным пучком и наблюдал за тем, какую форму принимает заготовка. "Компьютерное управление приведёт к более высокой степени точности, чем мы продемонстрировали, и созданию достаточно сложных структур на большой площади ", - сказал Fischbein.

TEBAL обладает большим практическим потенциалом, т.к. с помощью этого метода можно создавать разнообразные наноструктуры.




Комментарии
A ne kazetsya li avtoram, chto tochost dannogo metoda ogranichena volnovim povedeniem chastits puchka?
Трусов Л. А., 02 мая 2007 17:58 
ну, 20-нм бублик они вырезали.
ну чем больше энергия частиц тем меньше их длина волны, тем больше разрешение, и если перейти не к электроннам, к более тяжелым частицам, например к протонам и др. ионам элементов, то можно будет, думаю, протравливать конструкции любой формы из нанопленок.
такой метод с использованием ионов уже есть, называется он FIB и применяется для обработки магнитных головок винчестеров
FIB есть у многих и он, действительно, может многое...

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Демон Максвелла
Демон Максвелла

NAUKA 0+ Фестиваль науки в Москве
8-10 октября в Москве проходит Фестиваль науки NAUKA 0+. В этом году фестиваль соберёт учёных со всех шести континентов нашей планеты, лучших исследователей из России, лауреатов государственных премий, молодых учёных, и, конечно, лауреатов Нобелевской премии.

Названы лауреаты Нобелевской премии по химии
Нобелевскую премию по химии за 2021 год присудили Бенджамину Листу и Дэвиду Макмиллану за разработку методов асимметричного органокатализа

Названы лауреаты Нобелевской премии по физике
Нобелевскую премию по физике за 2021 год присудили трем ученым — Сюкуро Манабе, Клаусу Хассельману и Джорджио Паризи.

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2021
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 8, 9, 10 и 11 июня 2021 г. Начало защит в 11.00. Защиты пройдут с использованием дистанционных образовательных технологий.

Академик Е.Н. Каблов: «Для освоения космоса нужны новые материалы»
Янина Хужина
В этом году весь мир отмечает 60-летие первого полета человека в космос. Успех миссии Юрия Гагарина стал возможен благодаря слаженной работе многих людей: физиков, математиков, конструкторов, инженеров-проектировщиков и, конечно, материаловедов. «Научная Россия» обсудила с академиком РАН Евгением Кабловым основные вехи в развитии космического и авиационного материаловедения.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2021 году
коллектив авторов
25 - 28 мая пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.