Эффективность солнечных батарей напрямую зависит от их коэффициента отражения (КО). Чем он меньше – тем больше эффективность. Одним из способов уменьшения КО является текстурирование поверхности кремния методом анизотропного травления, в результате чего на пластине образуются четырехгранные пирамиды. Свет, попадая на поверхность такой пирамиды, отражается под тем же углом и в большинстве случаев попадает на грань соседней пирамиды. Пластина в результате такой обработки выглядит черной (отсюда и название «Черный кремний»), а коэффициент отражения удается снизить с 35 до 11%.
Как и в любом технологическом процессе важным этапом является контроль качества. В микро- и нанотехнологических циклах одним из главных инструментов контроля является атомно-силовой микроскоп. На представленном изображении показано изображение участка пластины размером 40х40 мкм. Высота пирамид достигает 8-ми мкм. Изображение получено методом амплитудной модуляции с использованием атомно-силового микроскопа Титаниум производства компании НТ-МДТ.
 |
