В рамках ежегодного международного симпозиума IEEE по физическому анализу и анализу отказов интегральных полупроводниковых схем (IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits, IPFA) проводится весьма необычный конкурс под названием Art of Failure. Участники представляют на этот конкурс снимки, сделанные при помощи электронных или оптических микроскопов, на которых демонстрируются дефекты или другие объекты, послужившие причиной или являющиеся последствием выхода из строя различных полупроводниковых приборов.
Пташка в дупле (Birdie in the Hole): Эта фигурка, напоминающая маленькую птичку, пытается спрятаться от пристального взгляда микроскопа в полости полупроводникового материала. «Причиной появления такой необычной фигурки является частичка, из-за которой сформировалась впадина в полупроводниковом материале» – пишет Лью Ли Лиэн (Lew Li Lian) из компании GlobalFoundries, Сингапур.
Рис. 1.
Гибискус (Hibiscus): Ху Бингшенг (Khoo Bingsheng), специалист компании WinTech Nano-Technology Services, был потрясен, увидев «поляну» цветущих цветов на поверхности образца нитрида галлия с которым он работал. Он сделал серию снимков этих полупроводниковых «цветов» и выбрал из них наиболее красивый.
Рис. 2.
Неразлучники (Lovebirds): Эти птички, словно сидящие на ветке дерева, являются следствием нарушения технологического процесса очистки поверхности материала. Мухамад Хилми Роснэн (Muhamad Hilmi Rosnan), сотрудник компании On Semiconductor, Малайзия, случайно обнаружил у себя этот снимок лишь тогда, когда он просматривал все снимки, выбирая из них снимки для конкурса Art of Failure.
Рис. 3.
Рука, держащая лимон (Hand Holding a Lemon): Ли Нин Серн (Lee Nean Sern) из компании Infineon Technologies, Малайзия, исследуя кристалл вышедшего из строя транзистора, столкнулся с тем, что весьма напоминает руку человека, держащую между пальцев дольку лимона. Эта структура сформировалась в момент выхода транзистора из строя, причиной которого была неправильная микрогравировка кристалла.
Рис. 4.
Морской конек (Sea Horse): Леонардо Виналон (Leonardo Vinalon) из компании Analog Devices, Филиппины, обнаружил это маленькое «существо» отдыхающим на поверхности стеклянной подложки.
Рис. 5.
Глаз со слезой (Eye With Tear): Когда Лим Вей Чуэн (Lim Wei Chuan) из компании Infineon Technologies, Малайзия, изучал кристалл неисправного полупроводникового прибора, он заметил то, что этот прибор в буквальном смысле расплакался из-за своей полной неспособности к работе. А сам объект, имеющий форму глаза является лишь неравномерностью поверхности слоя металла.
Рис. 6.
Большой каньон (Grand Canyon): Этот яркий пейзаж фактически является гранью перелома пластины кремния. А автором снимка является Рудольф А. Сиа (Rudolf A. Sia) из компании Analog Devices, Филиппины.
Рис. 7.
Улитки-невесты (Nuptial Snails): Рассматривая сделанные снимки, Фэнг Нюк Лин (Phang Nyuk Lin) из компании GlobalFoundries, Сингапур, решил, что структуры напоминают ему выстроившихся в ряд улиток, надевших на себя свадебную фату.
Рис. 8.
Скульптура монаха (Sculpture of a Monk): Лим Чан Вей (Lim Chan Way) из компании Infineon Technologies, Малайзия, обнаружил этого «лысого человечка», раскалывая один из образцов полупроводникового материала. «Трудолюбивый монах», возможно, появился на белый свет из слоя светочувствительного материала или из остатков недотравленного кремния.
Рис. 9.
Белое Рождество (White Christmas): Эти тонкие снежинки имеют «лучи» длиной всего в 20 микрон. Кнг Хив Чанг (Chng Kheaw Chung) из компании Systems on Silicon Manufacturing Co., Сингапур, сделал этот снимок кристаллизовавшихся остатков после недостаточной очистки поверхности образца.
Рис. 10.
