Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Прототип литографической системы Mapper
Отклоняющие бланкеры 7x7 (вид сверху)
Отклоняющие бланкеры 7x7 (в разрезе)
Схема технологии электронно-лучевой литографии

Запуск московского завода Mapper Lithography по производству МЭМС оптики для литографического оборудования нового поколения

Ключевые слова:  Mapper, МЭМС, нанолитография, нанооптика, система нейтрализации газов, технопарк, электронно-лучевая литография

Опубликовал(а):  Булаев Петр Валентинович

11 августа 2014

Голландская компания Mapper Lithography Holding B.V. более 10 лет разрабатывает технологию электронно-лучевой безмасочной литографии, которая в настоящее время является наиболее перспективной альтернативой оптической литографии в производстве микросхем. Как известно, оптическая литография уже фактически достигла своего технологического предела 18 нм (для жесткого ультрафиолета - EUV). В технологии Mapper экспонирование фоторезистивного слоя производится электронным пучком вместо света. Фактически используется один очень мощный параллельный пучок электронов, который попадает на матрицу бланкеров (пластина с дырками, одна из сторон которой представляет собой электрод). Когда на электрод подается напряжение, то луч не проходит. Плюс к этому, у каждого луча есть индивидуальный дефлектор, отклоняющий луч в пределах 2 мкм перпендикулярно движению пластины, а также электростатическая фокусирующая линза. Таким образом, широкий пучок делится на 13000 узких сфокусированных пучков, направлением каждого из которых можно управлять. Микропластины с дефлекторами и линзами изготавливаются на специальных заводах по уже хорошо отработанной МЭМС технологии.

Основным преимуществом Mapper перед конкурирующей технологией EUV является отсутствие дорогостоящих масок, которые в оптической литографии нужно изготавливать для каждого типа микросхем. Это может существенно снизить стоимость конечной продукции.

Из технологических сложностей следует упомянуть необходимость использования достаточно мощного источника электронов, требование высочайшей скорости передачи маски на МЭМС матрицу, а также масштабирование на серийное производство (текущий прототип Matrix 1.1 позволяет обрабатывать 1 подложку в час, для крупносерийного производства предполагается объединять установки в большие кластеры).

Продукция Mapper ориентирована на две рыночные ниши. Во-первых, литографы компании предназначены для небольших мало- и среднесерийных производителей чипов. Отсутствие необходимости заказывать маски делает рентабельным для таких компании выпуск даже минимальных партий чипов. Во-вторых, продукция Mapper адресована и крупным компаниям, заинтересованным в скорейшем продвижении новых продуктов на рынок. Оборудование Mapper позволяет на этапе разработки проверить практически неограниченное количество вариантов дизайна без необходимости создания множества литографических масок, что существенно удешевляет и ускоряет вывод на рынок нового продукта.

В 2012 году корпорация РОСНАНО наряду с другими фондами инвестировала в компанию Mapper Lithography. В рамках проекта предполагается завершение разработки и начало производства литографического оборудования. Вторая часть проекта заключается в открытии в России линии по производству электронной оптики МЭМС. Электронная оптика используется для отклонения и фокусировки множества электронных пучков при экспонировании пластины и, таким образом, является ключевым элементом технологии MAPPER. Завод по производству МЭМС оптики открылся в технополисе «Москва»- новом российском центре инновационного производства, расположенном недалеко от центра Москвы на территории бывшего автозавода «Москвич» (подробнее о технополисе: www.technomoscow.ru).

Площадь московского завода составляет две тысячи квадратных метров. Из них половина приходится на чистые помещения, которые, согласно измерениям, соответствуют классу чистоты по стандарту ISO 6. Все производство укомплектовано современным высокотехнологичным оборудованием, в том числе литограф ASML, машины для травления SPTS и Lam Research и для удаления фоторезиста Trymax, а также система для нейтрализации отходящих газов CS Clean Systems. На московском заводе будет работать более 30 человек, которые прошли многомесячное обучение в головной компании в Голландии.

Предполагается, что на заводе в Москве будут изготавливаться три типа элементов электронной оптики. Самые простые — спейсеры — служат для разделения элементов электронной оптики. Следующие по сложности структуры — кремниевые электронные линзы, предназначены для фокусировки и коллимации пучков электронов. Их производство начнется к концу текущего года. Выпуск самых сложных элементов — содержащих электронику управляющих электродов — планируется начать к концу 2015 года.





Комментарии
Пастух Евфграфович, 12 августа 2014 10:38 
Вообще, связь между чистотой и сложностью следует признать повсемесно. Это добрые друзья Надеюсь, если присмотреться, уже все сотрудники выезжая "на природу" не оставляют за собой даже фантика от конфетки?

"Это может существенно снизить стоимость конечной продукции."
- (Вздыхая) а качество опять будет зависеть от человеческого фактора или где?


Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Клетка на чипе
Клетка на чипе

VIII Международная Конференция «Деформация и разрушение материалов и наноматериалов»
VIII Международная Конференция «Деформация и разрушение материалов и наноматериалов» (http://dfmn.imetran.ru/) пройдет в Москве (ИМЕТ РАН) с 19 по 22 ноября 2019 г. В рамках Конференции пройдет Молодежная школа-конференция.

Более 770 площадок пожелали присоединиться к Всероссийскому химическому диктанту с международным участием 18 мая
Более 770 площадок подали заявки на участие во II Всероссийском химическом диктанте, который в этом году пройдет с международным участием 18 мая в 13:00. Мероприятие организовано Московским государственным университетом имени М.В. Ломоносова, Химическим факультетом МГУ и корпорацией «Российский учебник» при поддержке Ассоциации учителей и преподавателей химии.

Найдены превращающие свет в электричество камни
Ученые обнаружили возникновение электрического тока в неорганических системах, что напоминает первые этапы усваивания энергии Солнца бактериями и растениями в процессе фотосинтеза. Открытое явление протекает в различных минералах и почвах. В отличие от обычного фотосинтеза, в данном случае участвуют только неорганические соединения, которые не имеют отношения к деятельности живых форм.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2019 году
Семенова Анна Александровна
21-24 мая 2019 года в лабораторном корпусе Б пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками ФНМ МГУ.

«Наука открывает огромные просторы для творчества»
Яна Хлюстова, Екатерина Мищенко
Об олимпиадах школьников и начале научного пути в интервью Indicator.Ru рассказала Екатерина Жигилева, студентка второго курса химического факультета МГУ им. Ломоносова.

Интервью с Константином Козловым - абсолютным победителем XIII Наноолимпиады
Семенова Анна Александровна
Школьник 11 класса Константин Козлов (г. Москва) стал абсолютным победителем Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!" 2018/2019 по комплексу предметов "физика, химия, математика, биология". О своих впечатлениях, увлечениях и немного о планах на будущее Константин поделился с нами в интервью.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.