Международный коллектив, состоящий из специалистов Наноцентра KERI (Miryang, Ю.Корея), компании 3SMK (Сеул, Ю.Корея), компании Интерфейс (Москва, Россия) и ИПТМ РАН (Черноголовка, Россия) добились успеха в проектировании и изготовлении радужных голограмм высокого качества. Основу радужных голограмм составляют дифракционные решетки переменой скважности с минимальным размером штриха от 50 нм, заполняющие площади цилиндрического штампа
Рис.1.- Электронная литография на основе РЭМ колонны обеспечивает изготовление голограмм высокого качества (минимальный размер штрихов от 50 нм) на цилиндрическом штампе (площадь поверхности ~ 30см на 30см).
При этом использовались:
- программное обеспечение "RainBow" для дизайна/оптимизации радужных голограмм и подготовки данных для литографического процесса (Интерфейс, ИПТМ РАН)
- электронная литография на специализированном РЭМ под управлением NanoMaker (Интерфейс, KERI)
- оригинальная технология изготовления металлического штампа (с использованием цилиндрический технологии, KERI)
- оригинальная технология (KERI) переноса рельефа в тонкий пластмассовый слой
Совместно разработанная технология имеет ряд преимуществ по сравнению:
- с традиционным оптическим (dot-matrix) методом за счет получения голограмм более высокого качества и
- с использованием промышленных электронных литографов за счет меньшей стоимости литографического оборудования
По результатам произведенных работ корейская сторона (Наноцентр KERI и 3SMK) взяла в аренду п/о "RainBow" и, в свою очередь, российские партнеры произвели обучение проектированию радужных голограмм и обеспечивают гарантийное обслуживание литографической системы.
NanoTechnology Research Center, KERI - Научно-исследовательский Центр нанотехнологий является подразделением Корейского Исследовательского Электротехнического Института в Мирянге (Ю.Корея). Центр исследует и развивает технологии наноимпринтинга по большим площадям с использованием цилиндрического штампа для изготовления (стерео) дисплеев высокой яркости, экономичных элементов солнечной энергетики, радужных голограмм и т.д. Использование цилиндрического штампа (вместо традиционных плоских пластин) потребовало кардинального изменения и усовершенствования всех сопутствующих нанотехнологий, например, нанесения резиста, электронной литографии, сухого травления.
3SMK (Сеул, Ю.Корея)- Корейская малая частная компания, созданная для внедрения научных разработок в промышленное производство.
ИПТМ РАН – Институт Проблем технологии микроэлектроники РАН (Черноголовка) проводит исследования по направлениям:
-Физические основы и технология формирования приборных структур микро- и наноэлектроники;
-Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микро и наносистемной техники;
-Физические принципы создания элементной базы наноэлектроники и квантовых компьютеров.
Интерфейс (Москва) - Является ведущим российским поставщиком инструментальных средств и решений для создания корпоративных информационных систем, для обеспечения средствами нанотехнологий. Компания "Интерфейс" предоставляет полный комплекс услуг, направленных на повышение эффективности и устойчивости бизнеса, помогает осуществить прогрессивные изменения в его организации.
