В настоящее время нанотехнологии являются одной из важнейших областей науки. Одним из перспективных объектов изучения нанотехнологий являются углеродные нанотрубки, уникальные электрические и механические свойства которых открывают широкие перспективы для их применения в наноэлектронных устройствах. Однако для приборного применения интерес представляют упорядоченные одиночные углеродные нанотрубки и массивы на их основе, расположенные в заданных местах в соответствии с разрабатываемой конструкцией устройства. Поэтому решение проблемы выращивания упорядоченных нанотрубок с позиционированием по месту является актуальной задачей.
Целью данной работы является разработка методики формирования нанолокальных областей для позиционирования углеродных нанотрубок на подложке.
Для достижения поставленной цели, необходимо решить ряд задач, связанных с изучением основ формирования углеродных нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы, технологиями формирования тонких пленок металлов и оксидов на их основе, основами «взрывной» литографии, а также одним из методов методом наноразмерной обработки - фокусированными ионными пучками.
Новизна работы заключается в проведении комплексного исследования с использованием современного аналитического и технологического оборудования по локальному формированию областей Ni на подложке Si, с применением нестандартных приемов литографии с последующим выращиванием одиночных УНТ на созданных каталитических центрах.
В результате выполнения работы были достигнуты следующие результаты:
- проведен обзор литературы, определены перспективный метод формирования углеродных нанотрубок и методы позиционирования каталитических центров;
- предложен и осуществлен нестандартный способ «взрывной» литографии с нанометровым разрешением, на современном технологическом оборудовании;
- полученные одиночные углеродные нанотрубки в заданном месте.
Несмотря на то, что все поставленные задачи были решены, для улучшения результата необходимо провести дополнительные исследования.