Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рисунок 1. Наноколодцы различной конфигурации. а) 520 нм коллодиные наночастицы APSL на кремниевой подложке (100) после 90 минутного нагревания при температуре 1200С. b),c) Наноколодцы, образовавшиеся в результате травления, после удаления коллоидных наночастиц. Масштаб 500 нм.
Рисунок 2. Зависимость размера наноколодца от времени нагревания в автоклаве в случае подложки кремния с ориентацией (100). Масштаб 200 нм.

Наноколодцы

Ключевые слова:  наноколодцы, травление

Опубликовал(а):  Шуваев Сергей Викторович

22 января 2011

Несмотря на значительный успех исследователей в области получения различных наноструктур, существенным недостатком существующих методов является их сложность и трудоемкость. В частности, для рентгеновской и электронной литографии необходима "чистая комната", а для таких многостадийных процессов, как мягкая, наносферная или imprint литография необходимо применение сложных многостадийных процессов. Поэтому новый метод литографии, предложенный коллективом американских исследователей, который не требует применения масок и "чистых комнат", безсуловно заслуживает пристального внимания.

Обсудим вкратце предложенный учеными метод. На кремниевую подложку наносились коллоидные частицы амидин-модифицированного полистирольного "латекса" (APSL), после чего система была обработана в автоклаве при температуре 1200С в воде, в результате чего функциональные группы, находящиеся на коллоидных частицах, подверглись гидролизу с образованием гидроксида аммония. В свою очередь, образовавшийся гидроксид аммония в жестких условиях гидротермальной обработки подтравливает кремниевую подложку в строго определенных областях контакта с частицами.

Форма образующихся "наноколодцев" зависит от ориентации подложки, поскольку скорость травления кремния в различных направлениях неодинакова (рис.1). Для того, чтобы понять механизм образования наноколодцев, авторы статьи варьировали время нагревания в автоклаве (рис.2). Легко заметить, что травление преимущественно идет под нанесенными коллоидными наночастицами, что обусловлено высокой скоростью диффузии травящих гидроксид-ионов (коэффициент диффузии гидроксил иона 2Х10-8 м2/с при 1200С). По этой причине концентрация гидроксид иона за пределами периметра, ограниченного коллоидными наночастицами, крайне мала, и именно это обстоятельство позволяет ученым достаточно строго контролировать размер образующихся наноколодцев.


Источник: Nano Letters



Комментарии
Владимир Владимирович, 22 января 2011 04:26 
Совершенно не понятно - о чем восторг!
"Колодцы" образуются при травлении (100) поверхностей кремния без значительных усилий. Размеры же "колодцев" особо и не варьируются, если вдуматься в Рис. 2. И упорядочения "колодцев" посредством самоорганизацией латекса не показано.
Поясните любезно - чему восторгаться!
Особо нечему. Думаю, что если травление в парах проводить, то "наноструктуры" тоже будут. Некое наблюдение сделано, но я долго с автором перевода переписывался по поводу гидролиза и аммиака. До сих пор не считаю, что авторы это доказали, но идея с размещением контенеров с реагентов (частиц с группами, которые способствуют взаимодействию с кремнием) не нова, но не так чсто встречается. Может, потому статью в этот журнал и взяли...
Не согласна с предыдущими авторами, потому что это можно использовать в квантовой химии, мне так кажется.
Л В А, 27 января 2011 23:34 
Данный метод не даёт регулировать точно х-ки получаемых приборов. Литография всё-таки требуется.

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Страж Нанопорядка
Страж Нанопорядка

Наносистемы: физика, химия, математика (2024, Т. 15, № 2)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume15/15-2
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Наносистемы: физика, химия, математика (2024, Т. 15, № 1)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume15/15-1
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Наносистемы: физика, химия, математика (2023, Т. 14, № 5)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume14/14-5
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2024 году
коллектив авторов
29 – 31 мая пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2023 году
коллектив авторов
30 мая - 01 июня пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.