Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рисунок 1. а) Схема установки для трёхмерной лазерной печати микроконтактов. b-f) Выбор оптимальных условий формирования микроконтактов.
Рисунок 2. Схематическое представления процесса трёхмерной лазерной печати.
Рисунок 3. Сравнение обычных методов создания контактов и трёхмерной лазерной печати микроконтактов.
Рисунок 4. Объёмные пикселы (вокселы) и различные структуры на их основе, полученные методом трёхмерной лазерной микропечати.
Рисунок 5. a-f) Различные мостиковые контакты, созданные с помощью технологии трёхмерной лазерной печати и обеспечивающие зазор между двумя проводниками, g-k) LED устройство, подключённое с помощью микроконтактов.
Рисунок 6. Обычная фотография LED с контактами, созданными с помощью технологии трёхмерной лазерной микропечати непосредственно на стеклянном цилиндре.

Трёхмерная лазерная печать микроконтактов

Ключевые слова:  LED, лазерная печать, микропечать, микроэлектроника, наночастицы

Опубликовал(а):  Смирнов Евгений Алексеевич

29 сентября 2010

В связи с развитием современной микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и биоэлектроники традиционные технологии создания контактов между теми или иными частями интегральных микросхем, MEMS систем и т.д. сталкиваются лицом к лицу с новыми сложными задачами. Например, уменьшение линейного размера площади контакта до 50 мкм и менее и высоты – до 60 мкм и менее, при сохранении проводящих свойств; или использование низкотемпературных методов обработки, что требуется при работе с нежными LED панелями и биоустройствами. Решение целого комплекса таких проблем и задач может привести в будущем к качественному скачку в развитии указанных областей науки и промышленности.

Авторы работы, опубликованной недавно в журнале Advanced Materials, предложили использовать трёхмерную печать микроконтактов из серебряной нанопасты с помощью лазерной печати (Рисунок 1, 2). Сама технология довольно проста и состоит из трёх стадий: 1) формирования определённого рисунка микроконтакта на поверхности подложки, 2) отслаивание с помощью лазерного излучения вокселов (объёмных пискелов) с носителя нанопасты – стекла, 3) отжиг при умеренных температурах (70, 150 или 250oC в течение примерно получаса) для придания определённых механических свойств сформированным микроконтактам. При этом линейные размеры микроконтактов задаются апертурой лазера и, соответственно, могут быть существенно меньше по сравнению с традиционной технологией (Рисунок 3). На рисунке 4 приведены микрофотографии различных структур, которые могут быть сформированы с использование данной технологии. Затем группа учёных продемонстрировала работу трёхмерной лазерной печати на реальных объектах: микроконтактах интегральных микросхем и LED (Рисунок 5, 6). Оказалось, что нанесённые таким образом микроконтакты не деформируются, не подвержены прогибу (Рисунок 5 a-f), а также могут быть нанесены на объекты, высота которых существенно отличается друг от друга (Рисунок 5 j), или которые изготовлены из разных материалов (Рисунок 5 i-j).

Как отмечают учёные, с помощью трёхмерной лазерной печати можно создавать микроконтакты практически любых латеральных размеров (от единиц до сотен микрон) при высоте в единицы микрон на любой поверхности, которые позволят уменьшить стоимость и трудозатраты в огромном числе практических применений от электроники до MEMS-систем.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Фотонный кристалл
Фотонный кристалл

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Пластырь по мотивам колючек кактуса быстро и эффективно собирает капли пота для анализа. Как нож сквозь масло, или секреты резки полимеров. Алмазное стекло из фуллеренов. Есть только миг: метаморфозы антиферромагнитного кристалла в терагерцовом импульсе. Лазерная нарезка струи или оптофлюидный резонанс.

С Новым годом!
Мы надеемся, что Новый год принесет всем удачи, новые достижения, откроет перспективы и сделает мир лучше. Поздравляем всех с Новым годом!

Наносистемы: физика, химия, математика (2021, Т. 12, № 6)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume12/12-6
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Электронные материалы Заочной Научно - Технологической Школы - 2021
А.А.Семенова, Е.А.Гудилин, коллектив авторов
С 15 ноября по 15 декабря 2021 в рамках XVI Всероссийской Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!" проведено подготовительное мероприятие для потенциальных участников Олимпиады - Заочная Научно-Технологическая Школа (ЗНТШ'2021). В этой статье собраны основные факты и сборник электронных материалов ЗНТШ.

Десять лет перовскитной солнечной энергетики
Е.А.Гудилин , Mend Comm, А.Б.Тарасов, Н.Н.Удалова, А.А.Петров, другие авторы
Журнал Mendeleev Communications опубликовал виртуальный специальный выпуск «Ten years of hybrid perovskite photovoltaics and optoelectronics in the mirror of MAPPIC 2020 meeting»

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2021
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 8, 9, 10 и 11 июня 2021 г. Начало защит в 11.00. Защиты пройдут с использованием дистанционных образовательных технологий.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.