Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рисунок 1. а) Схема установки для трёхмерной лазерной печати микроконтактов. b-f) Выбор оптимальных условий формирования микроконтактов.
Рисунок 2. Схематическое представления процесса трёхмерной лазерной печати.
Рисунок 3. Сравнение обычных методов создания контактов и трёхмерной лазерной печати микроконтактов.
Рисунок 4. Объёмные пикселы (вокселы) и различные структуры на их основе, полученные методом трёхмерной лазерной микропечати.
Рисунок 5. a-f) Различные мостиковые контакты, созданные с помощью технологии трёхмерной лазерной печати и обеспечивающие зазор между двумя проводниками, g-k) LED устройство, подключённое с помощью микроконтактов.
Рисунок 6. Обычная фотография LED с контактами, созданными с помощью технологии трёхмерной лазерной микропечати непосредственно на стеклянном цилиндре.

Трёхмерная лазерная печать микроконтактов

Ключевые слова:  LED, лазерная печать, микропечать, микроэлектроника, наночастицы

Опубликовал(а):  Смирнов Евгений Алексеевич

29 сентября 2010

В связи с развитием современной микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и биоэлектроники традиционные технологии создания контактов между теми или иными частями интегральных микросхем, MEMS систем и т.д. сталкиваются лицом к лицу с новыми сложными задачами. Например, уменьшение линейного размера площади контакта до 50 мкм и менее и высоты – до 60 мкм и менее, при сохранении проводящих свойств; или использование низкотемпературных методов обработки, что требуется при работе с нежными LED панелями и биоустройствами. Решение целого комплекса таких проблем и задач может привести в будущем к качественному скачку в развитии указанных областей науки и промышленности.

Авторы работы, опубликованной недавно в журнале Advanced Materials, предложили использовать трёхмерную печать микроконтактов из серебряной нанопасты с помощью лазерной печати (Рисунок 1, 2). Сама технология довольно проста и состоит из трёх стадий: 1) формирования определённого рисунка микроконтакта на поверхности подложки, 2) отслаивание с помощью лазерного излучения вокселов (объёмных пискелов) с носителя нанопасты – стекла, 3) отжиг при умеренных температурах (70, 150 или 250oC в течение примерно получаса) для придания определённых механических свойств сформированным микроконтактам. При этом линейные размеры микроконтактов задаются апертурой лазера и, соответственно, могут быть существенно меньше по сравнению с традиционной технологией (Рисунок 3). На рисунке 4 приведены микрофотографии различных структур, которые могут быть сформированы с использование данной технологии. Затем группа учёных продемонстрировала работу трёхмерной лазерной печати на реальных объектах: микроконтактах интегральных микросхем и LED (Рисунок 5, 6). Оказалось, что нанесённые таким образом микроконтакты не деформируются, не подвержены прогибу (Рисунок 5 a-f), а также могут быть нанесены на объекты, высота которых существенно отличается друг от друга (Рисунок 5 j), или которые изготовлены из разных материалов (Рисунок 5 i-j).

Как отмечают учёные, с помощью трёхмерной лазерной печати можно создавать микроконтакты практически любых латеральных размеров (от единиц до сотен микрон) при высоте в единицы микрон на любой поверхности, которые позволят уменьшить стоимость и трудозатраты в огромном числе практических применений от электроники до MEMS-систем.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Матрица - Перезагрузка
Матрица - Перезагрузка

Стань частью первой в России магистерской программы в области LED- технологий!
Стать участником первой в России магистерской программы в области LED- технологий можно уже на первой волне вступительных испытаний 8 и 9 июля, подав документы в Приемную комиссию Университета ИТМО (г. Санкт-Петербург, Кронверкский проспект, д. 49). Документы также можно подать почтой.

20 июня в МГУ стартовала приёмная кампания
20 июня в МГУ имени М.В. Ломоносова стартовала приёмная кампания. В новому учебном 2019/2020 году в Московский университет поступят около 10 тысяч абитуриентов, откроются 4 новых направления подготовки и свыше 10 образовательных программ.

Коллекция статей в Frontiers in Chemistry, посвященная Международному Году Периодической Таблицы Элементов
Открыт прием статей в коллекцию Frontiers in Chemistry (Open Access, IF 4.155), посвященной 150 - летию Периодической Таблицы Элементов.

Новые гибридные перовскитоподобные материалы для солнечной энергетики
Тарасов Алексей Борисович, Постнаука
Как сохранить энергию солнца или ветра? Как может измениться стационарная энергетика в будущем? В проекте «Мир вещей. Из чего сделано будущее» совместно с Фондом инфраструктурных и образовательных программ (группа РОСНАНО) Постнаука рассказывает о последних открытиях и перспективных достижениях науки о материалах.

Материалы к защитам квалификационных работ бакалавров на ФНМ МГУ в 2019 году
Коллектив авторов
4-7 июня 2019 г. (11-00) в аудитории 221 корпуса Б пройдут защиты ВКР бакалавров ФНМ МГУ.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2019 году
Семенова Анна Александровна
21-24 мая 2019 года в лабораторном корпусе Б пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками ФНМ МГУ.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.