Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рисунок 1. а) Схема установки для трёхмерной лазерной печати микроконтактов. b-f) Выбор оптимальных условий формирования микроконтактов.
Рисунок 2. Схематическое представления процесса трёхмерной лазерной печати.
Рисунок 3. Сравнение обычных методов создания контактов и трёхмерной лазерной печати микроконтактов.
Рисунок 4. Объёмные пикселы (вокселы) и различные структуры на их основе, полученные методом трёхмерной лазерной микропечати.
Рисунок 5. a-f) Различные мостиковые контакты, созданные с помощью технологии трёхмерной лазерной печати и обеспечивающие зазор между двумя проводниками, g-k) LED устройство, подключённое с помощью микроконтактов.
Рисунок 6. Обычная фотография LED с контактами, созданными с помощью технологии трёхмерной лазерной микропечати непосредственно на стеклянном цилиндре.

Трёхмерная лазерная печать микроконтактов

Ключевые слова:  LED, лазерная печать, микропечать, микроэлектроника, наночастицы

Опубликовал(а):  Смирнов Евгений Алексеевич

29 сентября 2010

В связи с развитием современной микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и биоэлектроники традиционные технологии создания контактов между теми или иными частями интегральных микросхем, MEMS систем и т.д. сталкиваются лицом к лицу с новыми сложными задачами. Например, уменьшение линейного размера площади контакта до 50 мкм и менее и высоты – до 60 мкм и менее, при сохранении проводящих свойств; или использование низкотемпературных методов обработки, что требуется при работе с нежными LED панелями и биоустройствами. Решение целого комплекса таких проблем и задач может привести в будущем к качественному скачку в развитии указанных областей науки и промышленности.

Авторы работы, опубликованной недавно в журнале Advanced Materials, предложили использовать трёхмерную печать микроконтактов из серебряной нанопасты с помощью лазерной печати (Рисунок 1, 2). Сама технология довольно проста и состоит из трёх стадий: 1) формирования определённого рисунка микроконтакта на поверхности подложки, 2) отслаивание с помощью лазерного излучения вокселов (объёмных пискелов) с носителя нанопасты – стекла, 3) отжиг при умеренных температурах (70, 150 или 250oC в течение примерно получаса) для придания определённых механических свойств сформированным микроконтактам. При этом линейные размеры микроконтактов задаются апертурой лазера и, соответственно, могут быть существенно меньше по сравнению с традиционной технологией (Рисунок 3). На рисунке 4 приведены микрофотографии различных структур, которые могут быть сформированы с использование данной технологии. Затем группа учёных продемонстрировала работу трёхмерной лазерной печати на реальных объектах: микроконтактах интегральных микросхем и LED (Рисунок 5, 6). Оказалось, что нанесённые таким образом микроконтакты не деформируются, не подвержены прогибу (Рисунок 5 a-f), а также могут быть нанесены на объекты, высота которых существенно отличается друг от друга (Рисунок 5 j), или которые изготовлены из разных материалов (Рисунок 5 i-j).

Как отмечают учёные, с помощью трёхмерной лазерной печати можно создавать микроконтакты практически любых латеральных размеров (от единиц до сотен микрон) при высоте в единицы микрон на любой поверхности, которые позволят уменьшить стоимость и трудозатраты в огромном числе практических применений от электроники до MEMS-систем.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Многофункциональные магнитные жидкости
Многофункциональные магнитные жидкости

Светодиодные технологии и оптоэлектроника: магистратура на стыке образования и индустрии
Открыт набор на первую в России индустриальную программу «Светодиодные технологии и оптоэлектроника» Университета ИТМО

Международная онлайн-дискуссия «Квант будущего»
Фонд Росконгресс, Госкорпорация «Росатом», Российский квантовый центр и научно-популярное издание N+1 завершают серию международных онлайн-дискуссий «Квант будущего», где лидеры индустрии и ведущие мировые ученые обсуждают, как квантовые технологии уже изменили наш мир, и с какими вызовами помогут справиться в будущем.
Заключительная дискуссия «Квантовая революция: профессии будущего и трансформация образования» состоится 8 июля в 17:00 по московскому времени.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Супергибридный материал для хранения водорода. Двумерная соль. Существование виртуальных мультиферроиков подтверждено. Чёрные бабочки. Служение науке и немного поэзии.

Академия - университетам
Е.А.Гудилин, Ю.Г.Горбунова, С.Н.Калмыков
Российская Академия Наук и Московский университет во время пандемии реализовали пилотную часть проекта "Академия – университетам: химия и науки о материалах в эпоху пандемии". За летний период планируется провести работу по подключению к проекту новых ВУЗов, институтов РАН, профессоров РАН, а также по взаимодействию с новыми уникальными лекторами для развития структурированного сетевого образовательного проекта "Академия - университетам".

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2020
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 16, 17, 18 и 19 июня 2020 г.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2020 году
коллектив авторов
2 - 5 июня пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



Трансфер Красная поляна - из аэропорта Адлер до Роза
 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.