Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рисунок 1. а) Схема установки для трёхмерной лазерной печати микроконтактов. b-f) Выбор оптимальных условий формирования микроконтактов.
Рисунок 2. Схематическое представления процесса трёхмерной лазерной печати.
Рисунок 3. Сравнение обычных методов создания контактов и трёхмерной лазерной печати микроконтактов.
Рисунок 4. Объёмные пикселы (вокселы) и различные структуры на их основе, полученные методом трёхмерной лазерной микропечати.
Рисунок 5. a-f) Различные мостиковые контакты, созданные с помощью технологии трёхмерной лазерной печати и обеспечивающие зазор между двумя проводниками, g-k) LED устройство, подключённое с помощью микроконтактов.
Рисунок 6. Обычная фотография LED с контактами, созданными с помощью технологии трёхмерной лазерной микропечати непосредственно на стеклянном цилиндре.

Трёхмерная лазерная печать микроконтактов

Ключевые слова:  LED, лазерная печать, микропечать, микроэлектроника, наночастицы

Опубликовал(а):  Смирнов Евгений Алексеевич

29 сентября 2010

В связи с развитием современной микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и биоэлектроники традиционные технологии создания контактов между теми или иными частями интегральных микросхем, MEMS систем и т.д. сталкиваются лицом к лицу с новыми сложными задачами. Например, уменьшение линейного размера площади контакта до 50 мкм и менее и высоты – до 60 мкм и менее, при сохранении проводящих свойств; или использование низкотемпературных методов обработки, что требуется при работе с нежными LED панелями и биоустройствами. Решение целого комплекса таких проблем и задач может привести в будущем к качественному скачку в развитии указанных областей науки и промышленности.

Авторы работы, опубликованной недавно в журнале Advanced Materials, предложили использовать трёхмерную печать микроконтактов из серебряной нанопасты с помощью лазерной печати (Рисунок 1, 2). Сама технология довольно проста и состоит из трёх стадий: 1) формирования определённого рисунка микроконтакта на поверхности подложки, 2) отслаивание с помощью лазерного излучения вокселов (объёмных пискелов) с носителя нанопасты – стекла, 3) отжиг при умеренных температурах (70, 150 или 250oC в течение примерно получаса) для придания определённых механических свойств сформированным микроконтактам. При этом линейные размеры микроконтактов задаются апертурой лазера и, соответственно, могут быть существенно меньше по сравнению с традиционной технологией (Рисунок 3). На рисунке 4 приведены микрофотографии различных структур, которые могут быть сформированы с использование данной технологии. Затем группа учёных продемонстрировала работу трёхмерной лазерной печати на реальных объектах: микроконтактах интегральных микросхем и LED (Рисунок 5, 6). Оказалось, что нанесённые таким образом микроконтакты не деформируются, не подвержены прогибу (Рисунок 5 a-f), а также могут быть нанесены на объекты, высота которых существенно отличается друг от друга (Рисунок 5 j), или которые изготовлены из разных материалов (Рисунок 5 i-j).

Как отмечают учёные, с помощью трёхмерной лазерной печати можно создавать микроконтакты практически любых латеральных размеров (от единиц до сотен микрон) при высоте в единицы микрон на любой поверхности, которые позволят уменьшить стоимость и трудозатраты в огромном числе практических применений от электроники до MEMS-систем.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Дефекты решетки абрикосовских вихрей в периодическом потенциале пиннинга с беспорядком
Дефекты решетки абрикосовских вихрей в периодическом потенциале пиннинга с беспорядком

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Наногибриды сражаются с опасными бактериями в клетках человека. Активный гидродинамический плащ-невидимка. Кобальтсодержащие фуллереновые комплексы для водородных накопителей.

Взгляд в Наномир! В контакте!
Как увидеть атомы, молекулы и вирусы?
Как детально рассмотреть объекты живой природы масштаба НАНО?
Принцип действия и из чего состоит атомно силовой микроскоп.
Обо всем об это расскажет профессор МГУ имени М.В.Ломоносова, руководитель компании Центр перспективных технологий, автор более 200 работ по зондовой микроскопии – Яминский Игорь Владимирович.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Новые 3D пористые наноуглеродные материалы из панцирей морских крабов. Клапан без клапана: как идёт воздух в лёгких у птиц. Углеродные фуллертрубки: от полупроводников до металлов. Механическое напряжение и
поверхностное натяжение скирмионов.

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2021
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 8, 9, 10 и 11 июня 2021 г. Начало защит в 11.00. Защиты пройдут с использованием дистанционных образовательных технологий.

Академик Е.Н. Каблов: «Для освоения космоса нужны новые материалы»
Янина Хужина
В этом году весь мир отмечает 60-летие первого полета человека в космос. Успех миссии Юрия Гагарина стал возможен благодаря слаженной работе многих людей: физиков, математиков, конструкторов, инженеров-проектировщиков и, конечно, материаловедов. «Научная Россия» обсудила с академиком РАН Евгением Кабловым основные вехи в развитии космического и авиационного материаловедения.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2021 году
коллектив авторов
25 - 28 мая пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.