Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
STE3N3. Установка МПЭ для выращивания нитридов металлов III группы
STE3N2. Установка МПЭ для выращивания нитридов металлов III группы
STE 3532. Установка МПЭ для выращивания классических соединений А3В5 и А2В6
STE EB48. Установка электронно-лучевого напыления
STE EB 65G. Установка электронно-лучевого напыления
STE EB 71. Установка электронно-лучевого напыления
STE MS46. Установка магнетронного распыления
Установка нанесения диэлектриков в индуктивно-связанной плазме
Установка термического отжига в управляемой газовой среде
Организация
Ключевые слова
Область деятельности
    Наноэлектроника
Контактная информация
Телефон +7 812 702-13-08
Факс +7 812 320-43-94
Электронная почта info@semiteq.ru
Индекс 194156
Адрес Санкт-Петербург, пр. Энгельса, 27, корп. 5, литер "А"
Страница научной группы в интернете
Научный коллектив
  • Алексеев Алексей Николаевич, Исполнительный директор, кандидат наук
  • Погорельский Юрий Васильевич, Генеральный директор, кандидат наук
  • Филаретов Алексей Гелиевич, За. директора по маркетингу, кандидат наук
Описание

В начале 2000-х гг. в Санкт-Петербурге компания ЗАО "Научное и технологическо еоборудование" приступила к разработке современных российских установок молекулярно-пучковой эпитаксии. Компания была основана группой технологов из Физико-технического института им. Иоффе, которые многие годы занимались разработкой технологий выращивания эпитаксиальных гетероструктур, а с организацией компании "Научное и технологическое оборудование" и модернизацией серийного отечественного технологического оборудования. На начальном этапе для выполнения поставленной задачи к разработке были также подключены разработчики первых серийных отечественных установок МПЭ из НТО Академии наук СССР, Санкт-Петербург, и Научно-исследовательского технологического института города Рязань. Успешность разработок уже в 2003 году дала возможность зарегистрировать торговый знак «SemiTEq».

На сегодняшний день «SemiTEq» - единственный в России брэнд, под которым производится законченный комплекс высоковакуумного и сверхвысоковакуумного оборудования мирового уровня и для эпитаксиального выращивания полупроводниковых наногетероструктур, и для проведения ключевых технологических операций планарного цикла при проведении опытно-конструкторских разработок, мелкосерийного и серийного производства приборов наноэлектроники, полупроводниковой микро- и оптоэлектроники.

Установки МПЭ для различных систем полупроводниковых материалов являются центральным продуктом компании. Ведь выращивание эпитаксиальных гетероструктур является одной из ключевых, критических технологий, лежащей в основе производства большинства современных полупроводниковых приборов. Обеспечение успешного выполнения данной задачи требует от разработчиков сочетания глубокого понимания как технических, так и физических основ метода МПЭ – именно такие специалисты стоят у истоков создания торговой марки «SemiTEq».

К тому же, для постоянной оптимизации требований к разрабатываемому и модернизируемому технологическому оборудованию, в рамках стратегического партнерства осуществляется тесное сотрудничество с ЗАО «Светлана-Рост» – российским лидером в области производства эпитаксиальных гетероструктур А3В5. Поэтому совместно с ЗАО «Светлана-Рост» проводятся регулярные технологические НИОКР в области полупроводниковых технологий, чтобы обеспечивать эффективную обратную связь по линии «технолог-разработчик».

Мы ничего не возрождаем, мы создаем заново - утверждают специалисты компании. Именно здесь 2002 - 2003 годах при выполнении коммерческого контракта была создана первая в России специализированная установка молекулярно-пучковой эпитаксии ЭПН3, рассчитанная на подложки диаметром до 100 мм и ориентированная на сложную специфику нитридов третьей группы. В ходе её разработки были учтены как особенности технологии выращивания соединений нитридов галлия и алюминия, так и передовые тенденции развития оборудования для молекулярно-пучковой эпитаксии ведущих мировых производителей.

Опытная эксплуатация головного образца установки ЭПН3 оказался успешным и позволил в короткий срок получить результаты мирового уровня по выращиванию нитридных гетероструктур для СВЧ-микроэлектроники. Основные особенности установки это:

• Продолжительной рост с вращением подложки диаметром 2-4 дюйма с вращением при температурах эпитаксиальной поверхности 1200-1250°С;

• Конструкция криопанелей, обеспечивающая длительную круглосуточную работу в режимах больших потоков аммиака (до 400 станд. см3 в мин);

• Специальная конструкция источников галлия и алюминия, обеспечивающая их высокий ресурс в сочетании с высокими скоростями роста (>2 мкм/час)

В 2005-2006 гг. на основе опыта, полученного при эксплуатации прототипа, был начат серийный выпуск нитридных установок МПЭ серии STE3N, по ключевым техническим параметрам превосходящих существующие на сегодня аналоги ведущих мировых производителей. Параллельно была проведена разработка и начато серийное производство семейства установок МПЭ STE35 для традиционных полупроводниковых соединений А3В5 и А2В6, а также комплекта вакуумно-технологического оборудования для планарного процессинга полупроводниковых пластин (установки электронно-лучевого и магнетронного напыления, плазмохимического травления, нанесения диэлектриков, быстрого температурного отжига).

Технологические результаты мирового уровня, получаемые на нитридных установках МПЭ, выпускаемых под торговым знаком «SemiTEq», а также достигнутый на сегодня высокий уровень их надёжности позволяет прогнозировать высокий экспортный потенциал.
Уникальное оборудование
  • Установка индуктивно-связанного реактивного ионного травления STE ICPe68
  • Установка индуктивно-связанного реактивного ионного травления STE ICPe68L
  • Установка индуктивно-связанного реактивного ионного травления STE RIE84
  • Установка индуктивно-связанного реактивного ионного травления STE RTA70H
  • Установка магнетронного распыления STE MS46
  • Установка молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ) для выращивания нитридов металлов III группы STE3N3
  • Установка МПЭ для выращивания классических соединений А3В5 и А2В6 STE3532
  • Установка МПЭ для выращивания нитридов металлов III группы STE3N2
  • Установка нанесения диэлектриков в индуктивно-связанной плазме STE ICPd81
  • Установка термического отжига в управляемой газовой среде STE RTA79
  • Установка электронно-лучевого напыления STE EB 48
  • Установка электронно-лучевого напыления STE EB 65G
  • Установка электронно-лучевого напыления STE EB 71
Нанопаутина
Нанопаутина

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Пластырь по мотивам колючек кактуса быстро и эффективно собирает капли пота для анализа. Как нож сквозь масло, или секреты резки полимеров. Алмазное стекло из фуллеренов. Есть только миг: метаморфозы антиферромагнитного кристалла в терагерцовом импульсе. Лазерная нарезка струи или оптофлюидный резонанс.

С Новым годом!
Мы надеемся, что Новый год принесет всем удачи, новые достижения, откроет перспективы и сделает мир лучше. Поздравляем всех с Новым годом!

Наносистемы: физика, химия, математика (2021, Т. 12, № 6)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume12/12-6
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Электронные материалы Заочной Научно - Технологической Школы - 2021
А.А.Семенова, Е.А.Гудилин, коллектив авторов
С 15 ноября по 15 декабря 2021 в рамках XVI Всероссийской Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!" проведено подготовительное мероприятие для потенциальных участников Олимпиады - Заочная Научно-Технологическая Школа (ЗНТШ'2021). В этой статье собраны основные факты и сборник электронных материалов ЗНТШ.

Десять лет перовскитной солнечной энергетики
Е.А.Гудилин , Mend Comm, А.Б.Тарасов, Н.Н.Удалова, А.А.Петров, другие авторы
Журнал Mendeleev Communications опубликовал виртуальный специальный выпуск «Ten years of hybrid perovskite photovoltaics and optoelectronics in the mirror of MAPPIC 2020 meeting»

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2021
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 8, 9, 10 и 11 июня 2021 г. Начало защит в 11.00. Защиты пройдут с использованием дистанционных образовательных технологий.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.