Научные группы: Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"

• ЗАО "НПФ Микран"
• Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР)

GaAs, микроволновые устройства, микроволновые устройства, МИС, наноэлектроника, СВЧ, транзистор

• Интегральные радиоэлектронные устройства
• СВЧ электроника
• Твердотельная электроника, микроэлектроника

• Проведение научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов, подготовка кадров высшей квалификации и специалистов
• Разработка и изготовление на базе современных наногетероструктурных технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения
• Разработка методов измерения параметров наногетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов
• Разработка программного обеспечения для автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств и управления СВЧ измерительными комплексами
• Разработка технологий изготовления наногетероструктурных СВЧ монолитных интегральных схем (МИС)
• Создание библиотек моделей элементов для отечественных и зарубежных технологий изготовления СВЧ МИС

Телефон	8 3822 414717
Электронная почта	sfi1493@ms.tusur.ru
Индекс	634050
Адрес	г.Томск,пр. Ленина, 40
Страница научной группы в интернете

• Анищенко Екатерина Валентиновна
• Бабак Леонид Иванович, доцент, доцент, кандидат наук
• Дорофеев Сергей Юрьевич, аспирант
• Кагадей Валерий Алексеевич, доктор наук
• Малютин Николай Дмитриевич, зам проректора по науке, профессор, доктор наук
• Песков Михаил Андреевич, программист
• Черкашин Михаил Владимрович, доцент, кандидат наук
• Шеерман Федор Иванович, доцент, кандидат наук

Научно-образовательный центр «Нанотехнологии» ТУСУР (НОЦ НТ) организован в 2008 г. в рамках ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии» при объеме финансирования 129,5 млн. руб. Строительство первой очереди НОЦ выполнено в 2009 г. при использовании в качестве основного исполнителя фирмы «Микран». НОЦ НТ - один из немногих вузовских центров в России, ориентированный на проблемы СВЧ наноэлектроники (в основном на базе материалов GaAs и GaN).

Основным изделием СВЧ наноэлектроники являются наногетероструктурные МИС СВЧ диапазона, позволяющие создавать уникальные радиоэлектронные устройства и системы в частотном диапазоне до 1 ТГц. За создание гетероструктур Ж. Алферов получил Нобелевскую премию.

Основные задачи НОЦ «Нанотехнологии»:

1) Проведение передовых научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов.

2) Подготовка кадров высшей квалификации и специалистов в этих областях.

В рамках первой задачи в НОЦ будут разрабатываться современные опытные технологии изготовления гетероструктурных СВЧ МИС, а также проектироваться и изготавливаться опытные партии МИС различного назначения с топологической нормой до 30-50 нм (частотный диапазон до 200-300 ГГц). В дальнейшем эти технологии и МИС будут передаваться в производство для промышленного выпуска.

В рамках второй задачи в НОЦ будут готовиться кадры высшей квалификации для вузов, промышленных и проектных организаций, а также специалисты для производства СВЧ МИС.

Состав НОЦ «Нанотехнологии»:

- технологический участок (участок нанотехнологий);
- участок измерений параметров гетероструктур и МИС;
- дизайн-центр по проектированию СВЧ МИС;
- участок инженерного обеспечения.

На технологическом участке развернута опытная технологическая линия по изготовлению СВЧ МИС на основе GaAs,InP и GaN, включающая современное оборудование для нанолитографии, электронно-лучевого напыления, нанесения фоторезиста, контроля пластин и фотошаблонов и др. Ударной позицией технологической линии является уникальный нанолитографRaith-150 Two с разрешением до 20 нм, что обеспечит изготовление СВЧ транзисторов и МИС с граничными частотами до 300 ГГц. В настоящее время в России развернут еще только один такой нанолитограф.

На участке измерений развернута единственная в России уникальная полностью автоматизированная установка для прецизионных измерений СВЧ МИС до частот 50 ГГц. Это - специализированный аппаратно-программный комплекс, обеспечивающий измерения гетероструктур и компонентов СВЧ МИС на полупроводниковой пластине с использованием зондовой станции фирмы Cascade и автоматических тюнеров фирмы Focus. Даже в мире имеется считанное число установок с подобными характеристиками. Комплекс разрешит впервые в России организовать работы по полной характеризации и построению точных моделей элементов СВЧ МИС.

Дизайн-центр по проектированию СВЧ МИС. Дизайн-центр в составе НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР уже функционирует несколько лет и выполняет работы по проектированию СВЧ МИС и разработке библиотек моделей. Для этих целей дизайн-центр имеет необходимое техническое и программное обеспечение, в том числе единственную в России лицензию на использование специализированных программных продуктов фирмы AWR (США).

Кроме того, в дизайн-центре разрабатываются и используются собственные оригинальные программные продукты для проектирования СВЧ МИС и построения моделей элементов, которые используются в отечественных и зарубежных организациях. Наличие лицензионного программного обеспечения, а также высокая квалификация и опыт сотрудников дизайн-центра позволяют вести указанную деятельность на профессиональном уровне.

• Load pull установка для характеризации СВЧ-транзисторов
• Анализатор спектра Agilent E4448A
• Векторный нализатор цепей R&S ZVA40
• Нанолитограф Raith150
• Установка электронно-лучевого напыления Orion-B

• Астрономический центр (ASTRON), г. Двингелоу, Нидерланды
• ЗАО "НПФ Микран", г. Томск, Россия
• Институт СВЧ полупроводниковой электроники РАН, г. Москва, Россия
• ИСВЧПЭ РАН, г. Москва, Россия
• Исследовательский институт СВЧ и оптической связи XLIM при Лиможском университете, г. Лимож, Франция
• ФГУП НИИПП, г. Томск
• Фирма OMMIC , г. Орсэ, Франция
• Французское космическое агенство (CNES), г. Тулуза, Франция