Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Научные группы: Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"

Нанолитограф Rath 150 II
Установка электронно-лучевого напыления металлов "Orion-B"
Участок работы с фоторезистами
Участок визуального контроля
Участок характеризации СВЧ транзисторов
Анализатор спектра Agilent до 50 ГГц.
Зондовая станция Cascade Microtech и векторный анализатор цепей Rohde&Schwarz ZVA 40
СВЧ зондовые измерения
Организация
Ключевые слова
Область деятельности
  • Интегральные радиоэлектронные устройства
  • СВЧ электроника
  • Твердотельная электроника, микроэлектроника
Научные интересы
  • Проведение научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов, подготовка кадров высшей квалификации и специалистов
  • Разработка и изготовление на базе современных наногетероструктурных технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения
  • Разработка методов измерения параметров наногетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов
  • Разработка программного обеспечения для автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств и управления СВЧ измерительными комплексами
  • Разработка технологий изготовления наногетероструктурных СВЧ монолитных интегральных схем (МИС)
  • Создание библиотек моделей элементов для отечественных и зарубежных технологий изготовления СВЧ МИС
Контактная информация
Телефон 8 3822 414717
Электронная почта sfi1493@ms.tusur.ru
Индекс 634050
Адрес г.Томск,пр. Ленина, 40
Страница научной группы в интернете
Научный коллектив
  • Анищенко Екатерина Валентиновна
  • Бабак Леонид Иванович, доцент, доцент, кандидат наук
  • Дорофеев Сергей Юрьевич, аспирант
  • Кагадей Валерий Алексеевич, доктор наук
  • Малютин Николай Дмитриевич, зам проректора по науке, профессор, доктор наук
  • Песков Михаил Андреевич, программист
  • Черкашин Михаил Владимрович, доцент, кандидат наук
  • Шеерман Федор Иванович, доцент, кандидат наук
Описание
Научно-образовательный центр «Нанотехнологии» ТУСУР (НОЦ НТ) организован в 2008 г. в рамках ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии» при объеме финансирования 129,5 млн. руб. Строительство первой очереди НОЦ выполнено в 2009 г. при использовании в качестве основного исполнителя фирмы «Микран». НОЦ НТ - один из немногих вузовских центров в России, ориентированный на проблемы СВЧ наноэлектроники (в основном на базе материалов GaAs и GaN).

Основным изделием СВЧ наноэлектроники являются наногетероструктурные МИС СВЧ диапазона, позволяющие создавать уникальные радиоэлектронные устройства и системы в частотном диапазоне до 1 ТГц. За создание гетероструктур Ж. Алферов получил Нобелевскую премию.

Основные задачи НОЦ «Нанотехнологии»:

1) Проведение передовых научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов.

2) Подготовка кадров высшей квалификации и специалистов в этих областях.

В рамках первой задачи в НОЦ будут разрабатываться современные опытные технологии изготовления гетероструктурных СВЧ МИС, а также проектироваться и изготавливаться опытные партии МИС различного назначения с топологической нормой до 30-50 нм (частотный диапазон до 200-300 ГГц). В дальнейшем эти технологии и МИС будут передаваться в производство для промышленного выпуска.

В рамках второй задачи в НОЦ будут готовиться кадры высшей квалификации для вузов, промышленных и проектных организаций, а также специалисты для производства СВЧ МИС.

Состав НОЦ «Нанотехнологии»:

- технологический участок (участок нанотехнологий);
- участок измерений параметров гетероструктур и МИС;
- дизайн-центр по проектированию СВЧ МИС;
- участок инженерного обеспечения.

На технологическом участке развернута опытная технологическая линия по изготовлению СВЧ МИС на основе GaAs,InP и GaN, включающая современное оборудование для нанолитографии, электронно-лучевого напыления, нанесения фоторезиста, контроля пластин и фотошаблонов и др. Ударной позицией технологической линии является уникальный нанолитографRaith-150 Two с разрешением до 20 нм, что обеспечит изготовление СВЧ транзисторов и МИС с граничными частотами до 300 ГГц. В настоящее время в России развернут еще только один такой нанолитограф.

На участке измерений развернута единственная в России уникальная полностью автоматизированная установка для прецизионных измерений СВЧ МИС до частот 50 ГГц. Это - специализированный аппаратно-программный комплекс, обеспечивающий измерения гетероструктур и компонентов СВЧ МИС на полупроводниковой пластине с использованием зондовой станции фирмы Cascade и автоматических тюнеров фирмы Focus. Даже в мире имеется считанное число установок с подобными характеристиками. Комплекс разрешит впервые в России организовать работы по полной характеризации и построению точных моделей элементов СВЧ МИС.

Дизайн-центр по проектированию СВЧ МИС. Дизайн-центр в составе НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР уже функционирует несколько лет и выполняет работы по проектированию СВЧ МИС и разработке библиотек моделей. Для этих целей дизайн-центр имеет необходимое техническое и программное обеспечение, в том числе единственную в России лицензию на использование специализированных программных продуктов фирмы AWR (США).

Кроме того, в дизайн-центре разрабатываются и используются собственные оригинальные программные продукты для проектирования СВЧ МИС и построения моделей элементов, которые используются в отечественных и зарубежных организациях. Наличие лицензионного программного обеспечения, а также высокая квалификация и опыт сотрудников дизайн-центра позволяют вести указанную деятельность на профессиональном уровне.

Уникальное оборудование
  • Load pull установка для характеризации СВЧ-транзисторов
  • Анализатор спектра Agilent E4448A
  • Векторный нализатор цепей R&S ZVA40
  • Нанолитограф Raith150
  • Установка электронно-лучевого напыления Orion-B
Научные связи
  • Астрономический центр (ASTRON), г. Двингелоу, Нидерланды
  • ЗАО "НПФ Микран", г. Томск, Россия
  • Институт СВЧ полупроводниковой электроники РАН, г. Москва, Россия
  • ИСВЧПЭ РАН, г. Москва, Россия
  • Исследовательский институт СВЧ и оптической связи XLIM при Лиможском университете, г. Лимож, Франция
  • ФГУП НИИПП, г. Томск
  • Фирма OMMIC , г. Орсэ, Франция
  • Французское космическое агенство (CNES), г. Тулуза, Франция
"Спагетти" из триблок-сополимера
"Спагетти" из триблок-сополимера

VIII Международная Конференция «Деформация и разрушение материалов и наноматериалов»
VIII Международная Конференция «Деформация и разрушение материалов и наноматериалов» (http://dfmn.imetran.ru/) пройдет в Москве (ИМЕТ РАН) с 19 по 22 ноября 2019 г. В рамках Конференции пройдет Молодежная школа-конференция.

Более 770 площадок пожелали присоединиться к Всероссийскому химическому диктанту с международным участием 18 мая
Более 770 площадок подали заявки на участие во II Всероссийском химическом диктанте, который в этом году пройдет с международным участием 18 мая в 13:00. Мероприятие организовано Московским государственным университетом имени М.В. Ломоносова, Химическим факультетом МГУ и корпорацией «Российский учебник» при поддержке Ассоциации учителей и преподавателей химии.

Найдены превращающие свет в электричество камни
Ученые обнаружили возникновение электрического тока в неорганических системах, что напоминает первые этапы усваивания энергии Солнца бактериями и растениями в процессе фотосинтеза. Открытое явление протекает в различных минералах и почвах. В отличие от обычного фотосинтеза, в данном случае участвуют только неорганические соединения, которые не имеют отношения к деятельности живых форм.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2019 году
Семенова Анна Александровна
21-24 мая 2019 года в лабораторном корпусе Б пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками ФНМ МГУ.

«Наука открывает огромные просторы для творчества»
Яна Хлюстова, Екатерина Мищенко
Об олимпиадах школьников и начале научного пути в интервью Indicator.Ru рассказала Екатерина Жигилева, студентка второго курса химического факультета МГУ им. Ломоносова.

Интервью с Константином Козловым - абсолютным победителем XIII Наноолимпиады
Семенова Анна Александровна
Школьник 11 класса Константин Козлов (г. Москва) стал абсолютным победителем Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!" 2018/2019 по комплексу предметов "физика, химия, математика, биология". О своих впечатлениях, увлечениях и немного о планах на будущее Константин поделился с нами в интервью.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.