Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Процесс фотолитографии напоминает запись компакт-диска.
Летающая пишущая головка. Специальная геометрия приводит к возникновению подъемной силы при вращении диска.
Массив плазмонных линз, который находится на головке.
Массив из аббревиатур "SINAM". Вверху - изображение АСМ, внизу - оптическая микрофотография.

Летающие плазмонные линзы для нанолитографии

Ключевые слова:  микроэлектроника, нанолитография

Опубликовал(а):  Трусов Л. А.

16 октября 2008

В настоящее время для создания микроэлектронных компонентов широко применяется метод фотолитографии. Однако в связи с постоянным уменьшением элементов микросхем изготовление масок для фотолитографии становится всё сложнее и дороже. А это сильно мешает разработчикам быстро вносить различные изменения, а также отрабатывать свои идеи на необходимом количестве прототипов. Таким образом, было бы здорово использовать методы, которые не требуют изготовления масок, например, сканирующую зондовую нанолитографию и литографию пучками ионов или электронов. Но пока эти методы не отличаются высокой производительность и не подходят для практических применений.

Исследователи из University of California (США) предложили использовать для нанолитографии парящие массивы плазмонных линз, каждая из которых способна фокусировать свет в пятна диаметром менее 100 нм.

Под действием света на поверхности металлов могут возникнуть коллективные колебания электронов, называемые поверхностными плазмонами. Длины волн этих колебаний могут быть существенно меньше, чем у возбуждающего света, и поэтому плазмоны помогают обойти дифракционный предел и могут использоваться для создания пучков света очень малого диаметра. Ученые изготовили плазмонную линзу в виде отверстия диаметром 100 нм в алюминиевой фольге толщиной 80 нм, вокруг которого через каждые 250 нм были нанесены концентрические щели шириной 50 нм. Такая линза фокусирует свет в пятно диаметром 80 нм. Проблема состоит лишь в том, что этот фокус располагается на расстоянии всего 20 нм от линзы, то есть необходимо придумать способ, как заставить линзу парить над поверхностью и выжигать узоры на фоторезисте.

Исследователи пошли на хитрость и применили методы, давно использующиеся в жестких дисках. Там вращение пластины приводит к формированию потоков воздуха, которые удерживают головку на необходимом расстоянии от пластины.

Ученые изготовили специальную головку, несущую целый массив плазмонных линз. Такая конструкция позволяет проводить параллельную разметку подложки. Трудность лишь состоит в том, чтобы обеспечить строго параллельное расположение массива над поверхностью, чтобы все линзы формировали сфокусированные пучки.

Устройство может рисовать линии шириной 80 нм со скоростью 10 м/с. Теоретически разрешение может быть улучшено до 5-10 нм. Также расчеты показывают, что головка, несущая тысячу линз, позволит расчертить двенадцатидюймовую пластину за 2 минуты.

Работа «Flying plasmonic lens in the near field for high-speed nanolithography» опубликована в журнале Nature Nanotechnology.


Источник: Nature Nanotechnology



Комментарии
Может я чего путаю, но это похоже на линзу Френеля.

Пришлите статью, пожалуйста.

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Плотная керамика
Плотная керамика

Технологическое образование школьников для новой технологической эпохи
Самарский филиал Российской академии народного хозяйства и государственной службы (РАНХиГС) вместе с Фондом инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) провели 2–3 ноября 2020 году Международную научно-практическую конференцию «Технологическое образование школьников для новой технологической эпохи».

Нанотехнологии ужасные и могучие
В том, что касается осмысления новых технологий, научная фантастика отчетливо напоминает жертву БАР — очень модного сейчас биполярного аффективного расстройства. Писатели мечутся между двумя крайними состояниями, двумя полюсами: преувеличенным дофаминовым восторгом и тревожной депрессией, беспросветным ужасом перед грядущим. Чем больше ожиданий от технологии, тем глубже раскол, сильнее поляризация, реже «светлые промежутки» — и последние полвека нанотехнологии определенно входят в приоритетный список.

Кадровое сопровождение инновационный проектов
Фонд инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) Группы РОСНАНО приглашает 25 ноября 2020 года представителей высокотехнологичных компаний и технических вузов на Всероссийскую онлайн-конференцию «Кадровое сопровождение инновационных производств».

Зоологический подход и искусственное обоняние
Пресс-служба МГУ
Ученые химического факультета и НИИЯФ МГУ имени М.В. Ломоносова сумели повысить способность искусственного обоняния идентифицировать близкие по химическим свойствам газы - метан и пропан. Ключом к успеху стал подход к обработке данных химических сенсоров, ранее применявшийся для анализа эволюционного родства животных, ископаемых видов, а также предков человека.

Зоопарк в багаже нанотехнолога
Гудилин Е.А.
Серебро в форме наночастиц - это целый мир, их форма и размер, а также то, как они вместе сосуществуют, играют очень большую роль в области их практического применения. И до сих пор это огромное разнообразие важно, и до сих пор оно оправдывает себя, и это редкий пример, когда именно наночастицы, а не только консолидированные наноматериалы и наноструктуры нужны для практики.

Универсальная система анализа метаболитов
Пресс-служба МГУ
Сотрудники химического факультета МГУ разработали аналитическую схему, позволяющую по химическим «отпечаткам пальцев» делать заключения о протекающих в организме процессах. Схема пригодится и врачам, и фармакологам, и экологам, и даже пищевикам.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.