Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Процесс фотолитографии напоминает запись компакт-диска.
Летающая пишущая головка. Специальная геометрия приводит к возникновению подъемной силы при вращении диска.
Массив плазмонных линз, который находится на головке.
Массив из аббревиатур "SINAM". Вверху - изображение АСМ, внизу - оптическая микрофотография.

Летающие плазмонные линзы для нанолитографии

Ключевые слова:  микроэлектроника, нанолитография

Опубликовал(а):  Трусов Л. А.

16 октября 2008

В настоящее время для создания микроэлектронных компонентов широко применяется метод фотолитографии. Однако в связи с постоянным уменьшением элементов микросхем изготовление масок для фотолитографии становится всё сложнее и дороже. А это сильно мешает разработчикам быстро вносить различные изменения, а также отрабатывать свои идеи на необходимом количестве прототипов. Таким образом, было бы здорово использовать методы, которые не требуют изготовления масок, например, сканирующую зондовую нанолитографию и литографию пучками ионов или электронов. Но пока эти методы не отличаются высокой производительность и не подходят для практических применений.

Исследователи из University of California (США) предложили использовать для нанолитографии парящие массивы плазмонных линз, каждая из которых способна фокусировать свет в пятна диаметром менее 100 нм.

Под действием света на поверхности металлов могут возникнуть коллективные колебания электронов, называемые поверхностными плазмонами. Длины волн этих колебаний могут быть существенно меньше, чем у возбуждающего света, и поэтому плазмоны помогают обойти дифракционный предел и могут использоваться для создания пучков света очень малого диаметра. Ученые изготовили плазмонную линзу в виде отверстия диаметром 100 нм в алюминиевой фольге толщиной 80 нм, вокруг которого через каждые 250 нм были нанесены концентрические щели шириной 50 нм. Такая линза фокусирует свет в пятно диаметром 80 нм. Проблема состоит лишь в том, что этот фокус располагается на расстоянии всего 20 нм от линзы, то есть необходимо придумать способ, как заставить линзу парить над поверхностью и выжигать узоры на фоторезисте.

Исследователи пошли на хитрость и применили методы, давно использующиеся в жестких дисках. Там вращение пластины приводит к формированию потоков воздуха, которые удерживают головку на необходимом расстоянии от пластины.

Ученые изготовили специальную головку, несущую целый массив плазмонных линз. Такая конструкция позволяет проводить параллельную разметку подложки. Трудность лишь состоит в том, чтобы обеспечить строго параллельное расположение массива над поверхностью, чтобы все линзы формировали сфокусированные пучки.

Устройство может рисовать линии шириной 80 нм со скоростью 10 м/с. Теоретически разрешение может быть улучшено до 5-10 нм. Также расчеты показывают, что головка, несущая тысячу линз, позволит расчертить двенадцатидюймовую пластину за 2 минуты.

Работа «Flying plasmonic lens in the near field for high-speed nanolithography» опубликована в журнале Nature Nanotechnology.


Источник: Nature Nanotechnology



Комментарии
Может я чего путаю, но это похоже на линзу Френеля.

Пришлите статью, пожалуйста.

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Дефекты в SiC
Дефекты в SiC

Наносистемы: физика, химия, математика (2019, том 10, № 5)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume10/10-5
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Заочный тур по комплексу предметов наноолимпиады открыт
Опубликованы задания заочного тура для школьников 7 - 11 классов по комплексу предметов "химия, физика, математика, биология" XIV Всероссийской Интернет-олимпиады по нанотехнологиям "Нанотехнологии - прорыв в будущее!".

Успехи химии - самый цитируемый российский научный журнал
Успехи химии - самый цитируемый российский научный журнал по данным Journal Citation Reports за 2018 г., импакт - фактор 4.612, пятилетний 4.263, квартиль Q1.

Лекция про Дмитрия Ивановича и Наномир на Фестивале науки
Е.А.Гудилин и др., Фестиваль науки
В дни Фестиваля науки «NAUKA 0+» на Химическом факультете МГУ ведущие ученые познакомили слушателей с самыми современными достижениями химии. Ниже приводится небольшой фоторепортаж 1 дня и расписание лекций.

Как правильно заряжать аккумулятор?
Д. М. Иткис
Химик Даниил Иткис о том, как правильно заряжать аккумуляторы гаджетов и почему телефон выключается на холоде

Постлитийионные аккумуляторы
В. А. Кривченко
Физик Виктор Кривченко о перспективных видах аккумуляторов, фундаментальных проблемах в производстве литий-серных источников тока и преимуществах постлитийионных аккумуляторов

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.