Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Процесс фотолитографии напоминает запись компакт-диска.
Летающая пишущая головка. Специальная геометрия приводит к возникновению подъемной силы при вращении диска.
Массив плазмонных линз, который находится на головке.
Массив из аббревиатур "SINAM". Вверху - изображение АСМ, внизу - оптическая микрофотография.

Летающие плазмонные линзы для нанолитографии

Ключевые слова:  микроэлектроника, нанолитография

Опубликовал(а):  Трусов Л. А.

16 октября 2008

В настоящее время для создания микроэлектронных компонентов широко применяется метод фотолитографии. Однако в связи с постоянным уменьшением элементов микросхем изготовление масок для фотолитографии становится всё сложнее и дороже. А это сильно мешает разработчикам быстро вносить различные изменения, а также отрабатывать свои идеи на необходимом количестве прототипов. Таким образом, было бы здорово использовать методы, которые не требуют изготовления масок, например, сканирующую зондовую нанолитографию и литографию пучками ионов или электронов. Но пока эти методы не отличаются высокой производительность и не подходят для практических применений.

Исследователи из University of California (США) предложили использовать для нанолитографии парящие массивы плазмонных линз, каждая из которых способна фокусировать свет в пятна диаметром менее 100 нм.

Под действием света на поверхности металлов могут возникнуть коллективные колебания электронов, называемые поверхностными плазмонами. Длины волн этих колебаний могут быть существенно меньше, чем у возбуждающего света, и поэтому плазмоны помогают обойти дифракционный предел и могут использоваться для создания пучков света очень малого диаметра. Ученые изготовили плазмонную линзу в виде отверстия диаметром 100 нм в алюминиевой фольге толщиной 80 нм, вокруг которого через каждые 250 нм были нанесены концентрические щели шириной 50 нм. Такая линза фокусирует свет в пятно диаметром 80 нм. Проблема состоит лишь в том, что этот фокус располагается на расстоянии всего 20 нм от линзы, то есть необходимо придумать способ, как заставить линзу парить над поверхностью и выжигать узоры на фоторезисте.

Исследователи пошли на хитрость и применили методы, давно использующиеся в жестких дисках. Там вращение пластины приводит к формированию потоков воздуха, которые удерживают головку на необходимом расстоянии от пластины.

Ученые изготовили специальную головку, несущую целый массив плазмонных линз. Такая конструкция позволяет проводить параллельную разметку подложки. Трудность лишь состоит в том, чтобы обеспечить строго параллельное расположение массива над поверхностью, чтобы все линзы формировали сфокусированные пучки.

Устройство может рисовать линии шириной 80 нм со скоростью 10 м/с. Теоретически разрешение может быть улучшено до 5-10 нм. Также расчеты показывают, что головка, несущая тысячу линз, позволит расчертить двенадцатидюймовую пластину за 2 минуты.

Работа «Flying plasmonic lens in the near field for high-speed nanolithography» опубликована в журнале Nature Nanotechnology.


Источник: Nature Nanotechnology



Комментарии
Может я чего путаю, но это похоже на линзу Френеля.

Пришлите статью, пожалуйста.

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Микроструктура искусственного опала
Микроструктура искусственного опала

На XXI Менделеевском съезде награждены выдающиеся ученые-химики
11 сентября 2019 года в Санкт-Петербурге на XXI Менделеевском съезде по общей и прикладной химии объявлены победители премии выдающимся российским ученым в области химии. Премия учреждена Российским химическим обществом им. Д.И.Менделеева совместно с компанией Elsevier с целью продвижения и популяризации науки, поощрения выдающихся ученых в области химии и наук о материалах.

Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых
Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых. Об этом премьер-министр РФ Дмитрий Медведев сообщил, открывая встречу с нобелевскими лауреатами, руководителями химических обществ, представителями международных и российских научных организаций.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Синтез “перламутровых” нанокомпозитов с помощью бактерий. Оптомагнитный нейрон.Устойчивость азотных нанотрубок. Электронные характеристики допированных фуллереновых димеров.

Люди, создающие новые материалы: от поколения X до поколения Z
Е.В.Сидорова
Самые диковинные экспонаты научной выставки, организованной в Москве в честь Международного года Периодической таблицы химических элементов в феврале 2019 г., можно было рассмотреть только "вооруженным глазом»: Таблица Д.И.Менделеева размером 5.0 × 8.7 мкм и нанопортрет первооткрывателя периодического закона великолепно демонстрировали возможности динамической АСМ-литографии на сканирующем зондовом микроскопе. Миниатюрные произведения представили юные участники творческих конкурсов XII Всероссийкой олимпиады по нанотехнологиям, когда-то задуманной академиком Ю.Д.Третьяковым — основателем факультета наук о материалах (ФНМ) Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова. О том, как подобное взаимодействие со школьниками и студентами помогает сохранить своеобразие факультета и почему невозможно воплощать идею междисциплинарного естественнонаучного образования, относясь к обучению как к конвейеру, редактору журнала «Природа» рассказал заместитель декана ФНМ член-корреспондент РАН Е.А.Гудилин.

Как наночастицы применяются в медицине?
А. Звягин
В чем преимущества наночастиц? Как они помогают ученым в борьбе с раком? Биоинженер Андрей Звягин о наночастицах в химиотерапии, имиджинговых системах и борьбе с раком кожи.

Медицинская керамика: какими будут имплантаты будущего?
В.С. Комлев, Д. Распутина
Почему керамические изделия применяются в хирургии? Какие технологии используются для создания имплантатов? Материаловед Владимир Комлев о том, почему керамика используется в медицине, как на ее основе создаются имплантаты и какие перспективы у биоинженерии

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.