Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Внешний вид резонаторов.
Способ изготовления горизонтальных массивов нанопроволок: (а) исходная подложка; (b) шаблон из SiO2; (c) крупные островки GaN; (d) горизонтальные нанопроволоки.

Нанорезонаторы для МЭМС

Ключевые слова:  МЭМС, нанопроволока, периодика, полупроводник

Опубликовал(а):  Трусов Л. А.

31 октября 2007

В настоящее время полупроводниковые нанопроволоки вызывают повышенный интерес, прежде всего, благодаря своим электронным и оптическим свойствам. Однако нанопроволоки могут также обладать отличными механическими характеристиками и применяться, например, в качестве механических резонаторов, которые способны чувствовать объекты с массой до 10-21 грамм.

В настоящее время большинство микро- и наноэлектромеханических систем производятся по технологии сверху-вниз, как правило, методами литографии электронным или ионным пучком. Качество механических резонаторов, полученных таким образом, заметно ниже, чем ожидается, вследствие неточностей изготовления и различных структурных дефектов.

Исследователи из Yale University (США) изготовили резонаторы из массивов нанопроводов GaN. Сначала на сапфировой подложке методом MOCVD выращивается слой GaN или AlN, который покрывается 100 нм слоем SiO2 при помощи PECVD. В слое SiO2 фотолитографически проделываются отверстия, через которые наращиваются крупные островки GaN в виде ограненных кристаллов. На грани был нанесен слой никеля, выполняющего роль катализатора для дальнейшего CVD роста нанопроволок GaN. Грани островков оказались ориентированы таким образом, что нанопроволоки выросли горизонтально и соединили островки между собой. Толщина нанопроволок при температуре синтеза 850 °С составила 25-65 нм, а длина – несколько микрон.

Было показано, что полученные структуры могут выступать в роли механических резонаторов, добротность которых составляет 400–1000. Модуль упругости массива нанопроволок составляет примерно 340 ГПа.

Работа «Directed Growth of Horizontally Aligned Gallium Nitride Nanowires for Nanoelectromechanical Resonator Arrays» опубликована в Nano Letters.


Источник: ACS Publications




Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Неорганическая "клетка" или лопнувший магнитный наношарик?
Неорганическая "клетка" или лопнувший магнитный наношарик?

4 февраля объявили лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке»
4 февраля в здании Минобрнауки РФ состоялась торжественное награждение лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке». 11 научно-просветительских проектов были отмечены престижной наградой.

Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии
5 февраля в Московском университете в Шуваловском корпусе МГУ состоится Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии, посвященный Международному году Периодической таблицы химических элементов, начало - 10 часов.

Зимняя научная конференция студентов 4 курса ФНМ МГУ 22-23 января 2019 г.
Сафронова Т.В.
Настоящий сборник содержит тезисы докладов зимней научной студенческой конференции студентов 4-го курса ФНМ

Самые необычные таблицы Менделеева на выставке Международного года Периодической таблицы химических элементов

6-8 февраля в Российской академии наук состоялось торжественное открытие Международного года периодической таблицы химических элементов в России и приуроченная к этому масштабная интерактивная выставка

Почувствовать живое...
Е.А.Гудилин, А.А.Семенова, Н.А.Браже
Неразрушающее исследование живых клеток и клеточных структур является в настоящее время важным направлением научных изысканий, которые во многих зарубежных и российских научных группах направлены на достижение вполне прагматической цели – разработку новых принципов биомедицинской диагностики и эффективных подходов в нарождающейся персональной медицине.

Инновационные системы: достижения и проблемы
Олег Фиговский, Валерий Гумаров

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.