Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Внешний вид резонаторов.
Способ изготовления горизонтальных массивов нанопроволок: (а) исходная подложка; (b) шаблон из SiO2; (c) крупные островки GaN; (d) горизонтальные нанопроволоки.

Нанорезонаторы для МЭМС

Ключевые слова:  МЭМС, нанопроволока, периодика, полупроводник

Опубликовал(а):  Трусов Л. А.

31 октября 2007

В настоящее время полупроводниковые нанопроволоки вызывают повышенный интерес, прежде всего, благодаря своим электронным и оптическим свойствам. Однако нанопроволоки могут также обладать отличными механическими характеристиками и применяться, например, в качестве механических резонаторов, которые способны чувствовать объекты с массой до 10-21 грамм.

В настоящее время большинство микро- и наноэлектромеханических систем производятся по технологии сверху-вниз, как правило, методами литографии электронным или ионным пучком. Качество механических резонаторов, полученных таким образом, заметно ниже, чем ожидается, вследствие неточностей изготовления и различных структурных дефектов.

Исследователи из Yale University (США) изготовили резонаторы из массивов нанопроводов GaN. Сначала на сапфировой подложке методом MOCVD выращивается слой GaN или AlN, который покрывается 100 нм слоем SiO2 при помощи PECVD. В слое SiO2 фотолитографически проделываются отверстия, через которые наращиваются крупные островки GaN в виде ограненных кристаллов. На грани был нанесен слой никеля, выполняющего роль катализатора для дальнейшего CVD роста нанопроволок GaN. Грани островков оказались ориентированы таким образом, что нанопроволоки выросли горизонтально и соединили островки между собой. Толщина нанопроволок при температуре синтеза 850 °С составила 25-65 нм, а длина – несколько микрон.

Было показано, что полученные структуры могут выступать в роли механических резонаторов, добротность которых составляет 400–1000. Модуль упругости массива нанопроволок составляет примерно 340 ГПа.

Работа «Directed Growth of Horizontally Aligned Gallium Nitride Nanowires for Nanoelectromechanical Resonator Arrays» опубликована в Nano Letters.


Источник: ACS Publications




Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Ступени додецилсульфата натрия
Ступени додецилсульфата натрия

На XXI Менделеевском съезде награждены выдающиеся ученые-химики
11 сентября 2019 года в Санкт-Петербурге на XXI Менделеевском съезде по общей и прикладной химии объявлены победители премии выдающимся российским ученым в области химии. Премия учреждена Российским химическим обществом им. Д.И.Менделеева совместно с компанией Elsevier с целью продвижения и популяризации науки, поощрения выдающихся ученых в области химии и наук о материалах.

Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых
Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых. Об этом премьер-министр РФ Дмитрий Медведев сообщил, открывая встречу с нобелевскими лауреатами, руководителями химических обществ, представителями международных и российских научных организаций.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Синтез “перламутровых” нанокомпозитов с помощью бактерий. Оптомагнитный нейрон.Устойчивость азотных нанотрубок. Электронные характеристики допированных фуллереновых димеров.

Люди, создающие новые материалы: от поколения X до поколения Z
Е.В.Сидорова
Самые диковинные экспонаты научной выставки, организованной в Москве в честь Международного года Периодической таблицы химических элементов в феврале 2019 г., можно было рассмотреть только "вооруженным глазом»: Таблица Д.И.Менделеева размером 5.0 × 8.7 мкм и нанопортрет первооткрывателя периодического закона великолепно демонстрировали возможности динамической АСМ-литографии на сканирующем зондовом микроскопе. Миниатюрные произведения представили юные участники творческих конкурсов XII Всероссийкой олимпиады по нанотехнологиям, когда-то задуманной академиком Ю.Д.Третьяковым — основателем факультета наук о материалах (ФНМ) Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова. О том, как подобное взаимодействие со школьниками и студентами помогает сохранить своеобразие факультета и почему невозможно воплощать идею междисциплинарного естественнонаучного образования, относясь к обучению как к конвейеру, редактору журнала «Природа» рассказал заместитель декана ФНМ член-корреспондент РАН Е.А.Гудилин.

Как наночастицы применяются в медицине?
А. Звягин
В чем преимущества наночастиц? Как они помогают ученым в борьбе с раком? Биоинженер Андрей Звягин о наночастицах в химиотерапии, имиджинговых системах и борьбе с раком кожи.

Медицинская керамика: какими будут имплантаты будущего?
В.С. Комлев, Д. Распутина
Почему керамические изделия применяются в хирургии? Какие технологии используются для создания имплантатов? Материаловед Владимир Комлев о том, почему керамика используется в медицине, как на ее основе создаются имплантаты и какие перспективы у биоинженерии

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.