Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Научные группы: Лаборатория нано и микросистемной техники

Пятышев Евгений Нилович
Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
Организация
Ключевые слова
Область деятельности
  • микроэлектромеханические системы
  • Технологии полупроводников и полупроводниковых приборов
  • физика полупроводников и диэлектриков
Научные интересы
  • Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС
  • методы автоматизированного проектирования МЭМС
  • освоение, использование, создание и отработка технологий применения для МЭМС "не традиционных" материалов
  • разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов
  • разработки специализированных корпусов для МЭМС
  • разработки технологий как традиционных для микроэлектроники, так и специализированных для МЭМС
Контактная информация
Телефон +7 812 550-0372
Факс +7 812 550-0372
Электронная почта pen@mems.ru
Индекс 195251
Адрес г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, 29
Страница научной группы в интернете
Научный коллектив
  • Пятышев Евгений Нилович, заведующий лабораторией, кандидат наук
  • Акульшин Юрий Дмитриевич, старший научный сотрудник
  • Глуховской Анатолий, научный сотрудник
  • Казакин Алексей Николаевич, научный сотрудник
  • Козлов Владислав Петрович, научный сотрудник
  • Комаревцев Иван Михайлови, научный сотрудник
  • Ладе Юрий Борисович, старший научный сотрудник, кандидат наук
  • Лурье Михаил Семенович, ведущий научный сотрудник, кандидат наук
Описание

Лаборатория возникла на базе отдела инжинирингового центра при Политехническом институте (ныне Санкт Петербургский Государственный Политехнический Университет), который занимался разработкой комплексного проекта гибких систем полупроводникового производства (ГПСПС) для предприятий не-микроэлектронной специализации (вариант разработки для Всесоюзного межведомственного конкурса проектов "Минифаб")

Текущие разработки

  • Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
  • Полупроводниковые монокристаллические тензопреобразователи стандартного применения с измерительными блоками
  • Микрозонд для изучения структуры газодинамических потоков
  • Микросопла для микрореактивных устройств
  • Диффузионный натекатель для калибровки гелиевых течеискателей
  • Тепловой микропреобразователь мощности переменного тока
Уникальное оборудование
  • Установка ионно-плазменного травления пластин
  • установка электротермодиффузионной сварки кремния и стекла
Оборудование
  • Оборудование химических обработок
  • установка дисковой резки пластин
  • установка для изготовления фотошаблонов
  • установка для контактной приварки выводов
  • установка для магнетронного нанесения пленок в вакууме
  • установка для нанесения фоторезиста
  • установка совмещения и экспонирования фотошаблонов
Научные связи
  • Аэрокосмическая академия, Железногорск
  • НПО "Гирооптика", Санкт-Петербург
  • СКБ "Импульс", Томск
  • Центр микротехнологий СПбГЭТУ, Санкт-Петербург
Наиболее значимые публикации
Пятышев Е. Н., Казакин А. Н., Пакконен А. В., Одинцов А. В. , "Микросистемная техника в вакуумной технологии" // Тезисы докладов научно-технического семинара "Контроль герметичности 2001", 2001

A.I.Borovkov, E.N.Pyatishev, M.S.Lurie, Y.D.Akulshin, E.V.Pereyaslavets, "3D finite element modeling of micromashined pressure sensor" // Fourth International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering, Alexander I. Melker, Editor, Proceedings of SPIE , 2001, 4348, 338 - 347

А.М.Лестьев, И.В.Попова, М.И.Ефстифеев, Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье, А.А. Семенов, "Особенности микромеханичыеских гидроскопов" // Микросистемная техника, 2000 (4), 16 - 18

Alexei I. Borovkov, Evgeniy N. Pyatishev, Mihail S. Lurie, Yurii D. Akulshin, Vladislav O. Sabadash, Boris A. Smolnikov , "3D Finite Element Modeling of Micromashined Microphone with Corrugated Diaphragm" // Proceeding of SPAS "New Approaches to High - Tech: Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering" NDTCS - 2000, 12 - 17 June 2000, St. Peterburg Ru, 2000

Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье , "Перспективы развития микротехнологий" // Вестник машиностроения, 1999 (10), 55 - 57

Evgeny N. Pyatishev, Mihail S.Lurie, Irina V.Popova , "Some aspects of MEMS technology" // Proceedings of SPIE , 1999, 4187, 66 - 69

Полимерные нанокомпозиты
Полимерные нанокомпозиты

Премии Правительства Москвы молодым ученым за 2019 год
Объявлены лауреаты премии Правительства Москвы молодым ученым за 2019 год. Премией отмечены 50 работ молодых столичных ученых. Среди лауреатов 12 сотрудников МГУ имени М.В.Ломоносова. Конкурс на получение премий Правительства Москвы молодым ученым проводится с 2013 года. Торжественное награждение победителей состоится 7 февраля 2020 года в Государственном Кремлевском дворце.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Перерождение кремния: от полупроводника к металлу. Морская губка – основа для создания новых наноструктурных композитов. Нитрид-борные аналоги углеродных колец. Лучшие научные сюжеты года по версии APS. Сверхпроводимость ставит новый температурный рекорд. Звук переносит массу? Всяко-разно.

Наносистемы: физика, химия, математика (2019, том 10, № 6)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume10/10-6
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Да пребудет с вами сила плазмонов!
А.А.Семенова, Э.Н.Никельшпарг, Е.А.Гудилин, Н.А.Браже
Ученые Московского университета приблизились к решению проблем современной медицинской диагностики с использованием единичных клеток и их органелл путем разработки новых неинвазивных оптических методов анализа.

Юрий Добровольский: «Через 50 лет вся энергия будет вырабатываться биоорганизмами»
Андрей Бабицкий, Юрий Добровольский
Главный редактор ПостНауки Андрей Бабицкий побеседовал с химиком Юрием Добровольским о науке о материалах, будущем энергетики и новых аккумуляторах

Константин Жижин, член-корреспондент РАН: «Бор безграничен»
Наталия Лескова
Беседа с К.Ю. Жижиным, заместителем директора Института общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова по научной работе, главным научным сотрудником лаборатории химии легких элементов и кластеров.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.