Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Научные группы: Лаборатория нано и микросистемной техники

Пятышев Евгений Нилович
Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
Организация
Ключевые слова
Область деятельности
  • микроэлектромеханические системы
  • Технологии полупроводников и полупроводниковых приборов
  • физика полупроводников и диэлектриков
Научные интересы
  • Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС
  • методы автоматизированного проектирования МЭМС
  • освоение, использование, создание и отработка технологий применения для МЭМС "не традиционных" материалов
  • разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов
  • разработки специализированных корпусов для МЭМС
  • разработки технологий как традиционных для микроэлектроники, так и специализированных для МЭМС
Контактная информация
Телефон +7 812 550-0372
Факс +7 812 550-0372
Электронная почта pen@mems.ru
Индекс 195251
Адрес г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, 29
Страница научной группы в интернете
Научный коллектив
  • Пятышев Евгений Нилович, заведующий лабораторией, кандидат наук
  • Акульшин Юрий Дмитриевич, старший научный сотрудник
  • Глуховской Анатолий, научный сотрудник
  • Казакин Алексей Николаевич, научный сотрудник
  • Козлов Владислав Петрович, научный сотрудник
  • Комаревцев Иван Михайлови, научный сотрудник
  • Ладе Юрий Борисович, старший научный сотрудник, кандидат наук
  • Лурье Михаил Семенович, ведущий научный сотрудник, кандидат наук
Описание

Лаборатория возникла на базе отдела инжинирингового центра при Политехническом институте (ныне Санкт Петербургский Государственный Политехнический Университет), который занимался разработкой комплексного проекта гибких систем полупроводникового производства (ГПСПС) для предприятий не-микроэлектронной специализации (вариант разработки для Всесоюзного межведомственного конкурса проектов "Минифаб")

Текущие разработки

  • Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
  • Полупроводниковые монокристаллические тензопреобразователи стандартного применения с измерительными блоками
  • Микрозонд для изучения структуры газодинамических потоков
  • Микросопла для микрореактивных устройств
  • Диффузионный натекатель для калибровки гелиевых течеискателей
  • Тепловой микропреобразователь мощности переменного тока
Уникальное оборудование
  • Установка ионно-плазменного травления пластин
  • установка электротермодиффузионной сварки кремния и стекла
Оборудование
  • Оборудование химических обработок
  • установка дисковой резки пластин
  • установка для изготовления фотошаблонов
  • установка для контактной приварки выводов
  • установка для магнетронного нанесения пленок в вакууме
  • установка для нанесения фоторезиста
  • установка совмещения и экспонирования фотошаблонов
Научные связи
  • Аэрокосмическая академия, Железногорск
  • НПО "Гирооптика", Санкт-Петербург
  • СКБ "Импульс", Томск
  • Центр микротехнологий СПбГЭТУ, Санкт-Петербург
Наиболее значимые публикации
Пятышев Е. Н., Казакин А. Н., Пакконен А. В., Одинцов А. В. , "Микросистемная техника в вакуумной технологии" // Тезисы докладов научно-технического семинара "Контроль герметичности 2001", 2001

A.I.Borovkov, E.N.Pyatishev, M.S.Lurie, Y.D.Akulshin, E.V.Pereyaslavets, "3D finite element modeling of micromashined pressure sensor" // Fourth International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering, Alexander I. Melker, Editor, Proceedings of SPIE , 2001, 4348, 338 - 347

А.М.Лестьев, И.В.Попова, М.И.Ефстифеев, Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье, А.А. Семенов, "Особенности микромеханичыеских гидроскопов" // Микросистемная техника, 2000 (4), 16 - 18

Alexei I. Borovkov, Evgeniy N. Pyatishev, Mihail S. Lurie, Yurii D. Akulshin, Vladislav O. Sabadash, Boris A. Smolnikov , "3D Finite Element Modeling of Micromashined Microphone with Corrugated Diaphragm" // Proceeding of SPAS "New Approaches to High - Tech: Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering" NDTCS - 2000, 12 - 17 June 2000, St. Peterburg Ru, 2000

Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье , "Перспективы развития микротехнологий" // Вестник машиностроения, 1999 (10), 55 - 57

Evgeny N. Pyatishev, Mihail S.Lurie, Irina V.Popova , "Some aspects of MEMS technology" // Proceedings of SPIE , 1999, 4187, 66 - 69

Обыкновенное чудо
Обыкновенное чудо

На XXI Менделеевском съезде награждены выдающиеся ученые-химики
11 сентября 2019 года в Санкт-Петербурге на XXI Менделеевском съезде по общей и прикладной химии объявлены победители премии выдающимся российским ученым в области химии. Премия учреждена Российским химическим обществом им. Д.И.Менделеева совместно с компанией Elsevier с целью продвижения и популяризации науки, поощрения выдающихся ученых в области химии и наук о материалах.

Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых
Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых. Об этом премьер-министр РФ Дмитрий Медведев сообщил, открывая встречу с нобелевскими лауреатами, руководителями химических обществ, представителями международных и российских научных организаций.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Синтез “перламутровых” нанокомпозитов с помощью бактерий. Оптомагнитный нейрон.Устойчивость азотных нанотрубок. Электронные характеристики допированных фуллереновых димеров.

Люди, создающие новые материалы: от поколения X до поколения Z
Е.В.Сидорова
Самые диковинные экспонаты научной выставки, организованной в Москве в честь Международного года Периодической таблицы химических элементов в феврале 2019 г., можно было рассмотреть только "вооруженным глазом»: Таблица Д.И.Менделеева размером 5.0 × 8.7 мкм и нанопортрет первооткрывателя периодического закона великолепно демонстрировали возможности динамической АСМ-литографии на сканирующем зондовом микроскопе. Миниатюрные произведения представили юные участники творческих конкурсов XII Всероссийкой олимпиады по нанотехнологиям, когда-то задуманной академиком Ю.Д.Третьяковым — основателем факультета наук о материалах (ФНМ) Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова. О том, как подобное взаимодействие со школьниками и студентами помогает сохранить своеобразие факультета и почему невозможно воплощать идею междисциплинарного естественнонаучного образования, относясь к обучению как к конвейеру, редактору журнала «Природа» рассказал заместитель декана ФНМ член-корреспондент РАН Е.А.Гудилин.

Как наночастицы применяются в медицине?
А. Звягин
В чем преимущества наночастиц? Как они помогают ученым в борьбе с раком? Биоинженер Андрей Звягин о наночастицах в химиотерапии, имиджинговых системах и борьбе с раком кожи.

Медицинская керамика: какими будут имплантаты будущего?
В.С. Комлев, Д. Распутина
Почему керамические изделия применяются в хирургии? Какие технологии используются для создания имплантатов? Материаловед Владимир Комлев о том, почему керамика используется в медицине, как на ее основе создаются имплантаты и какие перспективы у биоинженерии

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.