Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Научные группы: Лаборатория нано и микросистемной техники

Пятышев Евгений Нилович
Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
Организация
Ключевые слова
Область деятельности
  • микроэлектромеханические системы
  • Технологии полупроводников и полупроводниковых приборов
  • физика полупроводников и диэлектриков
Научные интересы
  • Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС
  • методы автоматизированного проектирования МЭМС
  • освоение, использование, создание и отработка технологий применения для МЭМС "не традиционных" материалов
  • разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов
  • разработки специализированных корпусов для МЭМС
  • разработки технологий как традиционных для микроэлектроники, так и специализированных для МЭМС
Контактная информация
Телефон +7 812 550-0372
Факс +7 812 550-0372
Электронная почта pen@mems.ru
Индекс 195251
Адрес г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, 29
Страница научной группы в интернете
Научный коллектив
  • Пятышев Евгений Нилович, заведующий лабораторией, кандидат наук
  • Акульшин Юрий Дмитриевич, старший научный сотрудник
  • Глуховской Анатолий, научный сотрудник
  • Казакин Алексей Николаевич, научный сотрудник
  • Козлов Владислав Петрович, научный сотрудник
  • Комаревцев Иван Михайлови, научный сотрудник
  • Ладе Юрий Борисович, старший научный сотрудник, кандидат наук
  • Лурье Михаил Семенович, ведущий научный сотрудник, кандидат наук
Описание

Лаборатория возникла на базе отдела инжинирингового центра при Политехническом институте (ныне Санкт Петербургский Государственный Политехнический Университет), который занимался разработкой комплексного проекта гибких систем полупроводникового производства (ГПСПС) для предприятий не-микроэлектронной специализации (вариант разработки для Всесоюзного межведомственного конкурса проектов "Минифаб")

Текущие разработки

  • Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
  • Полупроводниковые монокристаллические тензопреобразователи стандартного применения с измерительными блоками
  • Микрозонд для изучения структуры газодинамических потоков
  • Микросопла для микрореактивных устройств
  • Диффузионный натекатель для калибровки гелиевых течеискателей
  • Тепловой микропреобразователь мощности переменного тока
Уникальное оборудование
  • Установка ионно-плазменного травления пластин
  • установка электротермодиффузионной сварки кремния и стекла
Оборудование
  • Оборудование химических обработок
  • установка дисковой резки пластин
  • установка для изготовления фотошаблонов
  • установка для контактной приварки выводов
  • установка для магнетронного нанесения пленок в вакууме
  • установка для нанесения фоторезиста
  • установка совмещения и экспонирования фотошаблонов
Научные связи
  • Аэрокосмическая академия, Железногорск
  • НПО "Гирооптика", Санкт-Петербург
  • СКБ "Импульс", Томск
  • Центр микротехнологий СПбГЭТУ, Санкт-Петербург
Наиболее значимые публикации
Пятышев Е. Н., Казакин А. Н., Пакконен А. В., Одинцов А. В. , "Микросистемная техника в вакуумной технологии" // Тезисы докладов научно-технического семинара "Контроль герметичности 2001", 2001

A.I.Borovkov, E.N.Pyatishev, M.S.Lurie, Y.D.Akulshin, E.V.Pereyaslavets, "3D finite element modeling of micromashined pressure sensor" // Fourth International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering, Alexander I. Melker, Editor, Proceedings of SPIE , 2001, 4348, 338 - 347

А.М.Лестьев, И.В.Попова, М.И.Ефстифеев, Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье, А.А. Семенов, "Особенности микромеханичыеских гидроскопов" // Микросистемная техника, 2000 (4), 16 - 18

Alexei I. Borovkov, Evgeniy N. Pyatishev, Mihail S. Lurie, Yurii D. Akulshin, Vladislav O. Sabadash, Boris A. Smolnikov , "3D Finite Element Modeling of Micromashined Microphone with Corrugated Diaphragm" // Proceeding of SPAS "New Approaches to High - Tech: Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering" NDTCS - 2000, 12 - 17 June 2000, St. Peterburg Ru, 2000

Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье , "Перспективы развития микротехнологий" // Вестник машиностроения, 1999 (10), 55 - 57

Evgeny N. Pyatishev, Mihail S.Lurie, Irina V.Popova , "Some aspects of MEMS technology" // Proceedings of SPIE , 1999, 4187, 66 - 69

Стенка сегнетоэлектрического домена триглицинсульфата
Стенка сегнетоэлектрического домена триглицинсульфата

Приглашение на вебинар «Комбинация АСМ и оптических методик: новые достижения и приложения»
НТ-МДТ Спектрум Инструментс приглашает Вас принять участие в бесплатном вебинаре «Комбинация АСМ и оптических методик: новые достижения и приложения»

Наносистемы: физика, химия, математика (2019, том 10, № 1)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume10/10-1
Там же можно скачать номер журнала целиком.

XXI Менделеевский съезд по общей и прикладной химии,
Уважаемые коллеги! Приглашаем вас принять участие в работе XXI Менделеевского съезда по общей и прикладной химии, который состоится с 9 по 13 сентября 2019 года в Санкт-Петербурге и станет одним из основных мероприятий Международного года Периодической таблицы химических элементов, провозглашённого ООН в декабре 2017 г.
Проводится под эгидой Международного союза по теоретической и прикладной химии (IUPAC).

Микроэлементарно, Ватсон: как микроэлементы действуют на организм
Алексей Тиньков
Как на нас воздействуют кадмий, ртуть, цинк, медь и другие элементы таблицы Менделеева рассказал сотрудник кафедры медицинской элементологии РУДН Алексей Тиньков в интервью Indicator.Ru

Зимняя научная конференция студентов 4 курса ФНМ МГУ 22-23 января 2019 г.
Сафронова Т.В.
Настоящий сборник содержит тезисы докладов зимней научной студенческой конференции студентов 4-го курса ФНМ

Самые необычные таблицы Менделеева на выставке Международного года Периодической таблицы химических элементов

6-8 февраля в Российской академии наук состоялось торжественное открытие Международного года периодической таблицы химических элементов в России и приуроченная к этому масштабная интерактивная выставка

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.