Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Научные группы: Лаборатория нано и микросистемной техники

Пятышев Евгений Нилович
Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
Организация
Ключевые слова
Область деятельности
  • микроэлектромеханические системы
  • Технологии полупроводников и полупроводниковых приборов
  • физика полупроводников и диэлектриков
Научные интересы
  • Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС
  • методы автоматизированного проектирования МЭМС
  • освоение, использование, создание и отработка технологий применения для МЭМС "не традиционных" материалов
  • разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов
  • разработки специализированных корпусов для МЭМС
  • разработки технологий как традиционных для микроэлектроники, так и специализированных для МЭМС
Контактная информация
Телефон +7 812 550-0372
Факс +7 812 550-0372
Электронная почта pen@mems.ru
Индекс 195251
Адрес г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, 29
Страница научной группы в интернете
Научный коллектив
  • Пятышев Евгений Нилович, заведующий лабораторией, кандидат наук
  • Акульшин Юрий Дмитриевич, старший научный сотрудник
  • Глуховской Анатолий, научный сотрудник
  • Казакин Алексей Николаевич, научный сотрудник
  • Козлов Владислав Петрович, научный сотрудник
  • Комаревцев Иван Михайлови, научный сотрудник
  • Ладе Юрий Борисович, старший научный сотрудник, кандидат наук
  • Лурье Михаил Семенович, ведущий научный сотрудник, кандидат наук
Описание

Лаборатория возникла на базе отдела инжинирингового центра при Политехническом институте (ныне Санкт Петербургский Государственный Политехнический Университет), который занимался разработкой комплексного проекта гибких систем полупроводникового производства (ГПСПС) для предприятий не-микроэлектронной специализации (вариант разработки для Всесоюзного межведомственного конкурса проектов "Минифаб")

Текущие разработки

  • Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
  • Полупроводниковые монокристаллические тензопреобразователи стандартного применения с измерительными блоками
  • Микрозонд для изучения структуры газодинамических потоков
  • Микросопла для микрореактивных устройств
  • Диффузионный натекатель для калибровки гелиевых течеискателей
  • Тепловой микропреобразователь мощности переменного тока
Уникальное оборудование
  • Установка ионно-плазменного травления пластин
  • установка электротермодиффузионной сварки кремния и стекла
Оборудование
  • Оборудование химических обработок
  • установка дисковой резки пластин
  • установка для изготовления фотошаблонов
  • установка для контактной приварки выводов
  • установка для магнетронного нанесения пленок в вакууме
  • установка для нанесения фоторезиста
  • установка совмещения и экспонирования фотошаблонов
Научные связи
  • Аэрокосмическая академия, Железногорск
  • НПО "Гирооптика", Санкт-Петербург
  • СКБ "Импульс", Томск
  • Центр микротехнологий СПбГЭТУ, Санкт-Петербург
Наиболее значимые публикации
Пятышев Е. Н., Казакин А. Н., Пакконен А. В., Одинцов А. В. , "Микросистемная техника в вакуумной технологии" // Тезисы докладов научно-технического семинара "Контроль герметичности 2001", 2001

A.I.Borovkov, E.N.Pyatishev, M.S.Lurie, Y.D.Akulshin, E.V.Pereyaslavets, "3D finite element modeling of micromashined pressure sensor" // Fourth International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering, Alexander I. Melker, Editor, Proceedings of SPIE , 2001, 4348, 338 - 347

А.М.Лестьев, И.В.Попова, М.И.Ефстифеев, Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье, А.А. Семенов, "Особенности микромеханичыеских гидроскопов" // Микросистемная техника, 2000 (4), 16 - 18

Alexei I. Borovkov, Evgeniy N. Pyatishev, Mihail S. Lurie, Yurii D. Akulshin, Vladislav O. Sabadash, Boris A. Smolnikov , "3D Finite Element Modeling of Micromashined Microphone with Corrugated Diaphragm" // Proceeding of SPAS "New Approaches to High - Tech: Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering" NDTCS - 2000, 12 - 17 June 2000, St. Peterburg Ru, 2000

Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье , "Перспективы развития микротехнологий" // Вестник машиностроения, 1999 (10), 55 - 57

Evgeny N. Pyatishev, Mihail S.Lurie, Irina V.Popova , "Some aspects of MEMS technology" // Proceedings of SPIE , 1999, 4187, 66 - 69

Без комментариев
Без комментариев

Международная онлайн-дискуссия «Квант будущего»
Фонд Росконгресс, Госкорпорация «Росатом», Российский квантовый центр и научно-популярное издание N+1 завершают серию международных онлайн-дискуссий «Квант будущего», где лидеры индустрии и ведущие мировые ученые обсуждают, как квантовые технологии уже изменили наш мир, и с какими вызовами помогут справиться в будущем.
Заключительная дискуссия «Квантовая революция: профессии будущего и трансформация образования» состоится 8 июля в 17:00 по московскому времени.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Супергибридный материал для хранения водорода. Двумерная соль. Существование виртуальных мультиферроиков подтверждено. Чёрные бабочки. Служение науке и немного поэзии.

Конкурс микрофотографий ZEISS Perspectives
Приглашаем специалистов, работающих с микроскопами ZEISS, Bruker, WITec принять участие в конкурсе микрофотографий ZEISS Russia&CIS «Перспективы».

Академия - университетам
Е.А.Гудилин, Ю.Г.Горбунова, С.Н.Калмыков
Российская Академия Наук и Московский университет во время пандемии реализовали пилотную часть проекта "Академия – университетам: химия и науки о материалах в эпоху пандемии". За летний период планируется провести работу по подключению к проекту новых ВУЗов, институтов РАН, профессоров РАН, а также по взаимодействию с новыми уникальными лекторами для развития структурированного сетевого образовательного проекта "Академия - университетам".

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2020
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 16, 17, 18 и 19 июня 2020 г.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2020 году
коллектив авторов
2 - 5 июня пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.