Технологии полупроводников и полупроводниковых приборов
физика полупроводников и диэлектриков
Научные интересы
Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС
методы автоматизированного проектирования МЭМС
освоение, использование, создание и отработка технологий применения для МЭМС "не традиционных" материалов
разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов
разработки специализированных корпусов для МЭМС
разработки технологий как традиционных для микроэлектроники, так и специализированных для МЭМС
Пятышев Евгений Нилович, заведующий лабораторией, кандидат наук
Акульшин Юрий Дмитриевич, старший научный сотрудник
Глуховской Анатолий, научный сотрудник
Казакин Алексей Николаевич, научный сотрудник
Козлов Владислав Петрович, научный сотрудник
Комаревцев Иван Михайлови, научный сотрудник
Ладе Юрий Борисович, старший научный сотрудник, кандидат наук
Лурье Михаил Семенович, ведущий научный сотрудник, кандидат наук
Описание
Лаборатория возникла на базе отдела инжинирингового центра при Политехническом институте (ныне Санкт Петербургский Государственный Политехнический Университет), который занимался разработкой комплексного проекта гибких систем полупроводникового производства (ГПСПС) для предприятий не-микроэлектронной специализации (вариант разработки для Всесоюзного межведомственного конкурса проектов "Минифаб")
Текущие разработки
Вибрационный микрогироскоп с электростатическим гребенчатым приводом
Полупроводниковые монокристаллические тензопреобразователи стандартного применения с измерительными блоками
Микрозонд для изучения структуры газодинамических потоков
Микросопла для микрореактивных устройств
Диффузионный натекатель для калибровки гелиевых течеискателей
Тепловой микропреобразователь мощности переменного тока
Уникальное оборудование
Установка ионно-плазменного травления пластин
установка электротермодиффузионной сварки кремния и стекла
Оборудование
Оборудование химических обработок
установка дисковой резки пластин
установка для изготовления фотошаблонов
установка для контактной приварки выводов
установка для магнетронного нанесения пленок в вакууме
установка для нанесения фоторезиста
установка совмещения и экспонирования фотошаблонов
Научные связи
Аэрокосмическая академия, Железногорск
НПО "Гирооптика", Санкт-Петербург
СКБ "Импульс", Томск
Центр микротехнологий СПбГЭТУ, Санкт-Петербург
Наиболее значимые публикации
Пятышев Е. Н., Казакин А. Н., Пакконен А. В., Одинцов А. В. , "Микросистемная техника в вакуумной технологии" // Тезисы докладов научно-технического семинара "Контроль герметичности 2001", 2001
A.I.Borovkov, E.N.Pyatishev, M.S.Lurie, Y.D.Akulshin, E.V.Pereyaslavets, "3D finite element modeling of micromashined pressure sensor" // Fourth International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering, Alexander I. Melker, Editor, Proceedings of SPIE , 2001, 4348, 338 - 347
Alexei I. Borovkov, Evgeniy N. Pyatishev, Mihail S. Lurie, Yurii D. Akulshin, Vladislav O. Sabadash, Boris A. Smolnikov , "3D Finite Element Modeling of Micromashined Microphone with Corrugated Diaphragm" // Proceeding of SPAS "New Approaches to High - Tech: Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Engineering" NDTCS - 2000, 12 - 17 June 2000, St. Peterburg Ru, 2000
Е.Н.Пятышев, М.С.Лурье , "Перспективы развития микротехнологий" // Вестник машиностроения, 1999 (10), 55 - 57
Evgeny N. Pyatishev, Mihail S.Lurie, Irina V.Popova , "Some aspects of MEMS technology" // Proceedings of SPIE , 1999, 4187, 66 - 69
Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2022
Коллектив авторов Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2022 содержат следующую информацию:
• Подготовка бакалавров на факультете наук о материалах МГУ
• Состав Государственной Экзаменационной Комиссии
• Расписание защит выпускных квалификационных работ бакалавров
• Аннотации квалификационных работ бакалавров
В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.
Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.
Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся
в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.
