Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рисунок 1. Изображение профиля нанопровода после синтеза.
Наномостики, полученные на слаболегированных кремниевых подложках.
Наномостики, полученные на высоколегированных подложках. Ширина мостиков остается практически постоянной на протяжении всей длины.

Высокоупорядоченные массивы нанопроводов для FET-устройств

Ключевые слова:  FET, TFT, наноконтакт, периодика, полупроводник

Опубликовал(а):  Андрей

19 октября 2007

Считается, что полупроводящие нанопровода являются перспективными конструкционными деталями для создания полевых транзисторов (field-effect transistor, FET) как в микро-, так и в наномасштабе. Такие транзисторы хорошо подходят для создания высокоэффективных TFT (Thin-Film Transistor), являются пригодными для различной гибкой электроники и высокочувствительных биосенсоров. Но для подобных устройств требуется хорошая упорядоченность нанопроводов. Однако для промышленных масштабов крайне сложно достигнуть желаемых одинаковых проводов с диаметром, меньшим 100 нм, а высокая дороговизна оборудования и необходимость присутствия кремния на подложке для использования непосредственно в устройствах окончательно уменьшают масштабы работ над такими нанопроводами до лабораторных. С другой стороны, постоянные исследования привели к значительным продвижениям в производстве нанопроводов. Но даже несмотря на огромные денежные затраты, до сих пор получение выровненных массивов нанопроводов является сложным и тонким делом, к тому же такие «проводки» надо уметь «собирать» и обединять на больших прощадях, для каждого нанопровода контролируя угол изгиба и длину.

Корейские ученые изобрели новый способ довольно простого синтеза кремниевых нанопроводов. Они были получены с помощью микрообрабатывающих технологий: фотолитографии, анизотропного травления и термического окисления кремниевой подложки с последующим удалением SiO2, при этом профиль нанонити представлял собой два треугольника, скрепленных углами (см. фото. А). Электрические свойства конролируются выбором подложки, точнее типа и степени легирующей ее смеси. Так как процесс создания т.н. top-down нанопроводов совместим с обработкой полупроводников, то процесс диффузии примеси для полупроводниковой электроники может напрямую быть примененным к созданию нанопроводов. Авторы статьи исследовали кремниевый нанопровод, созданный на основе высокодопированной бором кремниевой подложки, и показали, что на некоторых его участках диаметр получился различный. Так же исследовалось получение нанопроводов на слаболегированных подложках. На рисунке (Е) показаны как раз такие наноконтакты (мостики), ширина которых варьирует от 15 до 120 нм. Если допирование проводить после термического окисления при получении нанопровода, то диаметр его одинаков на протяжении практически всей длины, при этом наблюдается высокая концентрация бора (см. рис F). Таким образом, варьируя концентрациями бора, можно получать оммические контакты (ohmic source-drain contacts) для FET-устройств.

Но для дальнейшего использования нанопроводов их надо уметь перемещать на подходящие подложки (в том числе и пластиковые). Это похоже на процесс печати – на рисунке изображен перенос нанопровода, причем основополагающую роль при перевороте играет треугольная форма верхней части в его профиле В эксперименте использовались совершенно различные отдельно расположенные «проводки» диаметром в 20-200 нм и длиной 5-200 мкм. «Удачные» переносы были осуществлены в 90% случаях при размерах диаметра около 100 нм (что является высоким «выходом» производства), и немногим меньше в случае 50 нм, при этом для длин от 10 до 100 мкм «транспортизацию» было легко контролировать.

Исследования электрических свойств показали, что характеристики наноконтакта n-типа превосходят характеристики наноконтакта p-типа. Если учитывать, что результаты были сделаны для первых образцов, то, очевидно, они могут значительно улучшиться путем термообработки и оптимизации.

Таким образом, с помощью относительно простого способа получения высокоупорядоченных кремниевых массивов нанопроводов для больших площадей и последующего переноса были получены прекрасные FET-характеристики на их основе.


Источник: Nanotechnology




Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

"Наноцветы" оксида цинка
"Наноцветы" оксида цинка

Раман-дайджест от NT-MDT
Научный дайджест NT-MDT №2: Конфокальная рамановская микроскопия и спектроскопия

Профессора РАН выступят с лекциями для школьников по химии, физике и математике
14 ноября 2020 года продолжатся лекции проекта «Научные субботы», проводимые при поддержке корпуса профессоров РАН. Будущие и уже состоявшиеся лекции смотрите на сайте scisaturdays.ras.ru.

SCAMT Workshop Week - практикум по нанотехнологиям в области хим/био/IT. Санкт-Петебург, 1-6 февраля
SCAMT открывает подачу заявок на 6-ую научную школу SCAMT Workshop Week, которая пройдет 1-6 февраля 2021. SCAMT Workshop Week — это уникальный междисциплинарный Хим/Био/IT воркшоп: за 1 неделю у участников будет возможность сделать научный проект в одной из самых современных областей нанотехнологий и освоить новые практические навыки.

Заочная Нанотехнологическая Школа
коллективистскими авторов
Заочная нанотехнологическая школа (сокращенно ЗНТШ) проходит в рамках юбилейной, XV, Всероссийской Интернет-олимпиады по нанотехнологиям «Нанотехнологии – прорыв в будущее!» и предваряет начало конкурсов ее заочного отборочного тура. Организаторами ЗНТШ выступают Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова и Фонд инфраструктурных и образовательных программ (группа РОСНАНО). Целью ЗНТШ является подготовка участников XV Всероссийской олимпиады по нанотехнологиям для успешного выступления на состязаниях по комплексу предметов «химия, физика, математика, биология», в конкурсе проектных работ школьников и других конкурсах Олимпиады.

Нобелевская премия за графен, или 10 лет спустя
Алексей Арсенин
О том, как графен повлиял на развитие науки и промышленности и можно ли его назвать материалом будущего — заместитель директора Центра фотоники и двумерных материалов МФТИ, кандидат физико-математических наук Алексей Арсенин

Летние лектории для школьников
ФНМ
Сотрудники Факультета наук о материалах и химического факультета Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова участвуют в лекториях двух летних школ, организованных Фондом Инфраструктурных и Образовательных Программ (группа РОСНАНО) - Нанограде и летней школе МФТИ.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.