Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рис. 1. Схема получения упорядоченного массива кремниевых наноколонн.
Рис. 2. Упорядоченные наночастицы хрома.
Рис. 3. Упорядоченные кремниевые наноколонны
Рис.4 Эволюция кремниевых наноколонн при ионном травлении. Шкала - 500 нм.

В МГУ научились получать упорядоченные кремниевые наноколонны

Ключевые слова:  кремний, периодика, полупроводник

Опубликовал(а):  Зайцев Дмитрий Дмитриевич

01 июля 2007

Сотрудники МГУ и Технического университета г. Аахен (Германия) разработали метод, позволяющий получать на поверхности кремниевой подложки системы из упорядоченных наноколонн. В отличие от большинства подходов, широко применяемых в полупроводниковой индустрии, данный метод является относительно дешевым и позволяет за один технологический цикл покрыть наноколоннами подложку весьма большой площади (десятки квадратных сантиметров).

Суть метода заключается в использовании для ионного травления кремния масок из упорядоченных наночастиц хрома, полученных методом наносферной литографии (“nanosphere lithography”, NSL). Схема метода NSL приведена на рис. 1. На первом этапе, монодисперсные коллоидные частицы SiO2 «упаковывают» на кремниевой подложке, площадь такого самособирающегося слоя принципиально не ограничена. На втором этапе на монослой напыляют тонкий слой хрома толщиной < 100 нм; при этом, вещество в газовой фазе не проникает в области, затененные коллоидными частицами, и достигает подложки только в местах, соответствующих треугольным пустотам между сферами. В результате этой процедуры на подложке возникает система из упорядоченных наночастиц хрома, разделенных коллоидными сферасм (рис. 1б). Наконец, на последнем этапе, коллоидные частицы удаляют путем ультразвуковой обработки (рис. 1в). Использование полученных массивов наночастиц хрома для ионного травления и варьирование параметров травления позволили синтезировать кремниевые наноколонны с высотой более 1 мкм и отношением высота:диаметр более 10:1. Подобные структуры из упорядоченных наноколонн могут найти потенциальное применение в качестве основы для светоизлучающих элементов и фотонных кристаллов для ближнего ИК-диапазона.

Статья A. Sinitskii, S. Neumeier, J. Nelles, M. Fischler and U. Simon “Ordered arrays of silicon pillars with controlled height and aspect ratio” была опубликована в последнем выпуске журнала Nanotechnology.


Источник: Нанометр



Комментарии
А нет ли параллели между этой работой и тем, что [a href=" http://www.n....html"]получают ребята из Владивостока?
о! нашел статью про [a href=" http://vivov...C.HTM"]магичексие кластеры
Восхитительно! Можно узнать координаты А.С. Синицкого?

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Тодорокит
Тодорокит

Наносистемы: физика, химия, математика (2024, Т. 15, № 2)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume15/15-2
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Наносистемы: физика, химия, математика (2024, Т. 15, № 1)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume15/15-1
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Наносистемы: физика, химия, математика (2023, Т. 14, № 5)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume14/14-5
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2024 году
коллектив авторов
29 – 31 мая пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2023 году
коллектив авторов
30 мая - 01 июня пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.