Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Рис. 1. Схема получения упорядоченного массива кремниевых наноколонн.
Рис. 2. Упорядоченные наночастицы хрома.
Рис. 3. Упорядоченные кремниевые наноколонны
Рис.4 Эволюция кремниевых наноколонн при ионном травлении. Шкала - 500 нм.

В МГУ научились получать упорядоченные кремниевые наноколонны

Ключевые слова:  кремний, периодика, полупроводник

Опубликовал(а):  Зайцев Дмитрий Дмитриевич

01 июля 2007

Сотрудники МГУ и Технического университета г. Аахен (Германия) разработали метод, позволяющий получать на поверхности кремниевой подложки системы из упорядоченных наноколонн. В отличие от большинства подходов, широко применяемых в полупроводниковой индустрии, данный метод является относительно дешевым и позволяет за один технологический цикл покрыть наноколоннами подложку весьма большой площади (десятки квадратных сантиметров).

Суть метода заключается в использовании для ионного травления кремния масок из упорядоченных наночастиц хрома, полученных методом наносферной литографии (“nanosphere lithography”, NSL). Схема метода NSL приведена на рис. 1. На первом этапе, монодисперсные коллоидные частицы SiO2 «упаковывают» на кремниевой подложке, площадь такого самособирающегося слоя принципиально не ограничена. На втором этапе на монослой напыляют тонкий слой хрома толщиной < 100 нм; при этом, вещество в газовой фазе не проникает в области, затененные коллоидными частицами, и достигает подложки только в местах, соответствующих треугольным пустотам между сферами. В результате этой процедуры на подложке возникает система из упорядоченных наночастиц хрома, разделенных коллоидными сферасм (рис. 1б). Наконец, на последнем этапе, коллоидные частицы удаляют путем ультразвуковой обработки (рис. 1в). Использование полученных массивов наночастиц хрома для ионного травления и варьирование параметров травления позволили синтезировать кремниевые наноколонны с высотой более 1 мкм и отношением высота:диаметр более 10:1. Подобные структуры из упорядоченных наноколонн могут найти потенциальное применение в качестве основы для светоизлучающих элементов и фотонных кристаллов для ближнего ИК-диапазона.

Статья A. Sinitskii, S. Neumeier, J. Nelles, M. Fischler and U. Simon “Ordered arrays of silicon pillars with controlled height and aspect ratio” была опубликована в последнем выпуске журнала Nanotechnology.


Источник: Нанометр



Комментарии
А нет ли параллели между этой работой и тем, что [a href=" http://www.n....html"]получают ребята из Владивостока?
о! нашел статью про [a href=" http://vivov...C.HTM"]магичексие кластеры
Восхитительно! Можно узнать координаты А.С. Синицкого?

Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Кровь и серебро
Кровь и серебро

4 февраля объявили лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке»
4 февраля в здании Минобрнауки РФ состоялась торжественное награждение лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке». 11 научно-просветительских проектов были отмечены престижной наградой.

Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии
5 февраля в Московском университете в Шуваловском корпусе МГУ состоится Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии, посвященный Международному году Периодической таблицы химических элементов, начало - 10 часов.

II Всероссийский химический диктант пройдет 18 мая 2019 года
В 2019 году периодическому закону Дмитрия Менделеева исполнится 150 лет! В честь великого открытия этот год объявлен Международным годом Периодической таблицы химических элементов. Одним из наиболее ярких событий, приуроченных к этому году, станет II Всероссийский химический диктант, который пройдет 18 мая и который в этом году выходит на международный уровень. Мероприятие было анонсировано в рамках церемонии открытия Международного года Периодической таблицы химических элементов 29 января 2019 года в Париже, в штаб-квартире ЮНЕСКО.

Самые необычные таблицы Менделеева на выставке Международного года Периодической таблицы химических элементов

6-8 февраля в Российской академии наук состоялось торжественное открытие Международного года периодической таблицы химических элементов в России и приуроченная к этому масштабная интерактивная выставка

Почувствовать живое...
Е.А.Гудилин, А.А.Семенова, Н.А.Браже
Неразрушающее исследование живых клеток и клеточных структур является в настоящее время важным направлением научных изысканий, которые во многих зарубежных и российских научных группах направлены на достижение вполне прагматической цели – разработку новых принципов биомедицинской диагностики и эффективных подходов в нарождающейся персональной медицине.

Российская газета: Перевернуть пирамиду. Президент РАН: как повысить наши шансы на Нобеля
Юрий Медведев
Почему Россия по числу Нобелей отстает от ведущих стран мира, уступая, например, даже маленькой Швейцарии? Замалчиваются ли достижения отечественных ученых? Почему без привлечения в науку российского бизнеса мы не сможем успешно конкурировать в борьбе за престижную научную премию? Об этом корреспондент "РГ" беседует с президентом РАН Александром Сергеевым, который побывал в Стокгольме на вручении Нобелевских премий и поделился своими впечатлениями.

Инновационные системы: достижения и проблемы
Олег Фиговский, Валерий Гумаров

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.