Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 

Травление кремниевых микросхем с помощью углеродных нанотрубок

Ключевые слова:  периодика, углеродные нанотрубки

Опубликовал(а):  Зайцев Дмитрий Дмитриевич

22 мая 2007

Одна из основных задач, стоящих перед современной нанотехнологией, связана с развитием возможности изготовления электронных схем, элементы которых имеют нанометровые размеры. Простейший путь к реализации этой возможности состоит в разработке технологии травления поверхностей микросхем с поперечным размером траншеи на нанометровом уровне. Однако для этого необходимо иметь инструмент соответствующего размера, с помощью которого можно было бы создавать подобные траншеи. В настоящее время едва ли не единственным кандидатом на роль такого инструмента являются углеродные нанотрубки (УНТ), размеры которых составляют от одного до нескольких десятков нанометров.

До сих пор технические трудности, возникающие на пути использования УНТ в технологии получения микросхем, не позволяли реализовать описанную выше возможность. Однако недавно в одном из университетов Кореи была выполнена работа, внушающая оптимизм в отношении использования УНТ в качестве средства создания электронных схем с нанометровым разрешением. В этом случае в основе механизма травления диоксида кремния SiO2 лежит химическая реакция восстановления кремния углеродом, входящим в состав однослойных УНТ:

SiO2 + C → SiO + CO,

один из продуктов которой (СО) находится в газообразном состоянии. Однослойные УНТ были выращены стандартным CVD методом в присутствии небольшого количества кислорода с использованием в качестве катализатора частиц железа. Присутствие кислорода в процессе синтеза нанотрубок способствует процедуре травления. Форма, длина и траектория траншеи полностью определяются контактом УНТ с поверхностью оксида кремния. При этом в процессе травления происходит выгорание наконечника УНТ, так что ее длина уменьшается.

Наблюдения, выполненные с помощью атомного силового микроскопа над 13 образцами траншей, показывают, что средняя ширина траншеи составляет 9,8 ± 2,4 нм, что значительно превышает диаметр нанотрубок (около 1,7 нм). Это указывает на эффект дополнительного травления поверхности фрагментами разрушенных нанотрубок. Полученные траншеи использовались для получения нанопроволочек из металлического хрома толщиной менее 10 нм. В этом случае протравленный слой оксида кремния использовался в качестве маски, через которую осаждались пары металла.


Источник: ПерсТ




Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Матрица - Перезагрузка
Матрица - Перезагрузка

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Британский крест китайских ученых: элемент памяти на новом типе доменной структуры в FeRh.Волокна из углеродных нанотрубок помогут сердцу. Фуллерены для стабилизации азотного топлива. International Quantum Complex Matter Conference 2020 (QCM2020).

На ВДНХ в Москве отметят День российской науки
День российской науки отпразднуют на ВДНХ в Москве 8 и 9 февраля. Инновационно-образовательный комплекс «Техноград» на ВДНХ приглашает москвичей и гостей столицы отпраздновать «День науки». Гостей ожидают бесплатные мастер-классы, знакомство с инновациями в биомедицине и достижениями нейронаук, занимательные уроки и многое другое.

8 февраля - День Российской науки
День российской науки отмечается 8 февраля

Зимняя научная конференция студентов 4 курса ФНМ МГУ 22-23 января 2020 г.
Сафронова Т.В.
Настоящий сборник содержит тезисы докладов зимней научной студенческой конференции студентов 4-го курса ФНМ

Да пребудет с вами сила плазмонов!
А.А.Семенова, Э.Н.Никельшпарг, Е.А.Гудилин, Н.А.Браже
Ученые Московского университета приблизились к решению проблем современной медицинской диагностики с использованием единичных клеток и их органелл путем разработки новых неинвазивных оптических методов анализа.

Юрий Добровольский: «Через 50 лет вся энергия будет вырабатываться биоорганизмами»
Андрей Бабицкий, Юрий Добровольский
Главный редактор ПостНауки Андрей Бабицкий побеседовал с химиком Юрием Добровольским о науке о материалах, будущем энергетики и новых аккумуляторах

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.