Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Скан, полученный с помощью усовершенствованной методики SSRM. Распределение заряженной примеси и электронной плотности, ранее трудно поддающееся исследованию, теперь может быть детально проанализировано. На изображении более яркому цвету соответствуют более высокая проводимость. (источник: Toshiba)

Прорыв в области SSR-микроскопии

Ключевые слова:  LSI, SSRM, Toshiba, микроскопия, микроэлектроника, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

21 апреля 2007

Корпорация Toshiba объявила о том, что ей удалось совершить прорыв в области анализа характера движения электронов и распределения примесей в полупроводниках, что позволило впервые провести исследования с 1-нанометровой точностью. Это крупное достижение на основе сканирующей микроскопии сопротивления растекания (scanning spreading resistance microscopy или SSRM) является важным шагом вперед на пути интеграции высокого уровня современных микросхем (Large Scale Integration или LSI) с целью достижения уровня 45-нанометрового технологического процесса и дальнейшего его уменьшения.

Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) является предпочтительной технологией для получения двумерных изображений дифференциальных проводимостей на поперечном сечении полупроводника, позволяющей проводить исследования распределения электронов проводимости и примесей. В последнее время данная методика довольно востребована, поскольку допуски, необходимые для 45-нм поколения LSI, делают необходимым изучение распределения плотности электронов проводимости в проводящих каналах и возможность контроля легирования с 1нм уровнем точности.

SSRM использует сканирующий зонд для получения двумерных изображений распределения носителей зарядов в полупроводниковых устройствах. Однако уровень точности SSRM с самым высоким разрешением, использующей обычные зонды, оставался не выше 5 нм.

Существуют, главным образом, две проблемы SSRM: ухудшение точности изображения из-за влияния паров воды на образце и сложность обеспечения стабильного контакта между образцом и зондом. В некоторой степени преодолеть эти проблемы удалось благодаря тому, что SSRM проводилась в вакууме и была усовершенствована система позиционирования зонда. Это позволило оптимизировать сканирование и усовершенствовать методику исследования до точности в 1 нанометр, которая ранее еще не достигалась. Полученные достижения уже применяются фирмой Toshiba с целью усовершенствования технологического процесса до 45 нанометров.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Вермишель
Вермишель

На XXI Менделеевском съезде награждены выдающиеся ученые-химики
11 сентября 2019 года в Санкт-Петербурге на XXI Менделеевском съезде по общей и прикладной химии объявлены победители премии выдающимся российским ученым в области химии. Премия учреждена Российским химическим обществом им. Д.И.Менделеева совместно с компанией Elsevier с целью продвижения и популяризации науки, поощрения выдающихся ученых в области химии и наук о материалах.

Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых
Россия подала в ЮНЕСКО заявку на учреждение премии имени Менделеева для молодых ученых. Об этом премьер-министр РФ Дмитрий Медведев сообщил, открывая встречу с нобелевскими лауреатами, руководителями химических обществ, представителями международных и российских научных организаций.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Синтез “перламутровых” нанокомпозитов с помощью бактерий. Оптомагнитный нейрон.Устойчивость азотных нанотрубок. Электронные характеристики допированных фуллереновых димеров.

Люди, создающие новые материалы: от поколения X до поколения Z
Е.В.Сидорова
Самые диковинные экспонаты научной выставки, организованной в Москве в честь Международного года Периодической таблицы химических элементов в феврале 2019 г., можно было рассмотреть только "вооруженным глазом»: Таблица Д.И.Менделеева размером 5.0 × 8.7 мкм и нанопортрет первооткрывателя периодического закона великолепно демонстрировали возможности динамической АСМ-литографии на сканирующем зондовом микроскопе. Миниатюрные произведения представили юные участники творческих конкурсов XII Всероссийкой олимпиады по нанотехнологиям, когда-то задуманной академиком Ю.Д.Третьяковым — основателем факультета наук о материалах (ФНМ) Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова. О том, как подобное взаимодействие со школьниками и студентами помогает сохранить своеобразие факультета и почему невозможно воплощать идею междисциплинарного естественнонаучного образования, относясь к обучению как к конвейеру, редактору журнала «Природа» рассказал заместитель декана ФНМ член-корреспондент РАН Е.А.Гудилин.

Как наночастицы применяются в медицине?
А. Звягин
В чем преимущества наночастиц? Как они помогают ученым в борьбе с раком? Биоинженер Андрей Звягин о наночастицах в химиотерапии, имиджинговых системах и борьбе с раком кожи.

Медицинская керамика: какими будут имплантаты будущего?
В.С. Комлев, Д. Распутина
Почему керамические изделия применяются в хирургии? Какие технологии используются для создания имплантатов? Материаловед Владимир Комлев о том, почему керамика используется в медицине, как на ее основе создаются имплантаты и какие перспективы у биоинженерии

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.