Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Скан, полученный с помощью усовершенствованной методики SSRM. Распределение заряженной примеси и электронной плотности, ранее трудно поддающееся исследованию, теперь может быть детально проанализировано. На изображении более яркому цвету соответствуют более высокая проводимость. (источник: Toshiba)

Прорыв в области SSR-микроскопии

Ключевые слова:  LSI, SSRM, Toshiba, микроскопия, микроэлектроника, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

21 апреля 2007

Корпорация Toshiba объявила о том, что ей удалось совершить прорыв в области анализа характера движения электронов и распределения примесей в полупроводниках, что позволило впервые провести исследования с 1-нанометровой точностью. Это крупное достижение на основе сканирующей микроскопии сопротивления растекания (scanning spreading resistance microscopy или SSRM) является важным шагом вперед на пути интеграции высокого уровня современных микросхем (Large Scale Integration или LSI) с целью достижения уровня 45-нанометрового технологического процесса и дальнейшего его уменьшения.

Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) является предпочтительной технологией для получения двумерных изображений дифференциальных проводимостей на поперечном сечении полупроводника, позволяющей проводить исследования распределения электронов проводимости и примесей. В последнее время данная методика довольно востребована, поскольку допуски, необходимые для 45-нм поколения LSI, делают необходимым изучение распределения плотности электронов проводимости в проводящих каналах и возможность контроля легирования с 1нм уровнем точности.

SSRM использует сканирующий зонд для получения двумерных изображений распределения носителей зарядов в полупроводниковых устройствах. Однако уровень точности SSRM с самым высоким разрешением, использующей обычные зонды, оставался не выше 5 нм.

Существуют, главным образом, две проблемы SSRM: ухудшение точности изображения из-за влияния паров воды на образце и сложность обеспечения стабильного контакта между образцом и зондом. В некоторой степени преодолеть эти проблемы удалось благодаря тому, что SSRM проводилась в вакууме и была усовершенствована система позиционирования зонда. Это позволило оптимизировать сканирование и усовершенствовать методику исследования до точности в 1 нанометр, которая ранее еще не достигалась. Полученные достижения уже применяются фирмой Toshiba с целью усовершенствования технологического процесса до 45 нанометров.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

3D-printing
3D-printing

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Акустическая волна как смазка – звук гасит трение. Новый фуллерит из неклассического C32. Правила устойчивости для азота. Уроки природы. Глаз дрозофилы показал, как синтезировать многофункциональные нанопокрытия. Переключение долинной поляризации с помощью электрического поля.

Отборочный этап конкурса детских инженерных команд «Кванториада 2020»
С 20 ноября по 24 декабря проводится международный конкурс детских инженерных команд «Кванториада 2020».

Технологическое образование школьников для новой технологической эпохи
Самарский филиал Российской академии народного хозяйства и государственной службы (РАНХиГС) вместе с Фондом инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) провели 2–3 ноября 2020 году Международную научно-практическую конференцию «Технологическое образование школьников для новой технологической эпохи».

Новый материал для выращивания стволовых клеток
Коллектив авторов
Исследователи из Института регенеративной медицины Медицинского научно-образовательного центра МГУ разработали новый способ получения каркаса для стволовых клеток, который можно будет имплантировать пациенту для наращивания у него недостающих тканей и даже органов.

Новая база данных поможет в поиске антивирусных и противоопухолевых препаратов
Коллектив авторов
Исследователи Московского государственного университета создали базу данных веществ, подавляющих белковый синтез — потенциальных лекарств для борьбы с раком и вирусными инфекциями.

Курс экспресс - подготовки к теоретическому туру XV наноолимпиады
коллектив авторов
В кратком экспресс - курсе подготовки к успешному прохождению заочного отборочного теоретического тура XV Всероссийской Олимпиады "Нанотехнологии - прорыв в будущее!" собраны самые необходимые материалы для наиболее активных и мотивированных участников.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.