Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Скан, полученный с помощью усовершенствованной методики SSRM. Распределение заряженной примеси и электронной плотности, ранее трудно поддающееся исследованию, теперь может быть детально проанализировано. На изображении более яркому цвету соответствуют более высокая проводимость. (источник: Toshiba)

Прорыв в области SSR-микроскопии

Ключевые слова:  LSI, SSRM, Toshiba, микроскопия, микроэлектроника, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

21 апреля 2007

Корпорация Toshiba объявила о том, что ей удалось совершить прорыв в области анализа характера движения электронов и распределения примесей в полупроводниках, что позволило впервые провести исследования с 1-нанометровой точностью. Это крупное достижение на основе сканирующей микроскопии сопротивления растекания (scanning spreading resistance microscopy или SSRM) является важным шагом вперед на пути интеграции высокого уровня современных микросхем (Large Scale Integration или LSI) с целью достижения уровня 45-нанометрового технологического процесса и дальнейшего его уменьшения.

Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) является предпочтительной технологией для получения двумерных изображений дифференциальных проводимостей на поперечном сечении полупроводника, позволяющей проводить исследования распределения электронов проводимости и примесей. В последнее время данная методика довольно востребована, поскольку допуски, необходимые для 45-нм поколения LSI, делают необходимым изучение распределения плотности электронов проводимости в проводящих каналах и возможность контроля легирования с 1нм уровнем точности.

SSRM использует сканирующий зонд для получения двумерных изображений распределения носителей зарядов в полупроводниковых устройствах. Однако уровень точности SSRM с самым высоким разрешением, использующей обычные зонды, оставался не выше 5 нм.

Существуют, главным образом, две проблемы SSRM: ухудшение точности изображения из-за влияния паров воды на образце и сложность обеспечения стабильного контакта между образцом и зондом. В некоторой степени преодолеть эти проблемы удалось благодаря тому, что SSRM проводилась в вакууме и была усовершенствована система позиционирования зонда. Это позволило оптимизировать сканирование и усовершенствовать методику исследования до точности в 1 нанометр, которая ранее еще не достигалась. Полученные достижения уже применяются фирмой Toshiba с целью усовершенствования технологического процесса до 45 нанометров.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Наносито
Наносито

Разминочные викторины по предметам стартовали на Наноолимпиаде
ХIV Всероссийская олимпиада по нанотехнологиям началась. Мы открыли впервые за 13 лет отдельные тесты для школьников по основным предметным направлениям - химии, физике, математике, биологии. Это первые (новые) официальные конкурсы олимпиады, фактически, разминка, дальше будет больше и интереснее...

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»:Динамическое термоодеяло по мотивам кожи кальмара. Газоанализатор на висмутене. Фуллерены для Тиффани. Магнетизм доменной стенки в сегнетоэлектрике или магнитоэлектрическая “сказка наоборот”. 100-летний юбилей академика Исаака Марковича Халатникова. Нобелевская премия 2019.

"Новые нанотехнологии" для "Кванториума"
Новая образовательная программа по основам нанотехнологий разработана для детских технопарков «Кванториум»

Лекция про Дмитрия Ивановича и Наномир на Фестивале науки
Е.А.Гудилин и др., Фестиваль науки
В дни Фестиваля науки «NAUKA 0+» на Химическом факультете МГУ ведущие ученые познакомили слушателей с самыми современными достижениями химии. Ниже приводится небольшой фоторепортаж 1 дня и расписание лекций.

Как правильно заряжать аккумулятор?
Д. М. Иткис
Химик Даниил Иткис о том, как правильно заряжать аккумуляторы гаджетов и почему телефон выключается на холоде

Постлитийионные аккумуляторы
В. А. Кривченко
Физик Виктор Кривченко о перспективных видах аккумуляторов, фундаментальных проблемах в производстве литий-серных источников тока и преимуществах постлитийионных аккумуляторов

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.