Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Скан, полученный с помощью усовершенствованной методики SSRM. Распределение заряженной примеси и электронной плотности, ранее трудно поддающееся исследованию, теперь может быть детально проанализировано. На изображении более яркому цвету соответствуют более высокая проводимость. (источник: Toshiba)

Прорыв в области SSR-микроскопии

Ключевые слова:  LSI, SSRM, Toshiba, микроскопия, микроэлектроника, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

21 апреля 2007

Корпорация Toshiba объявила о том, что ей удалось совершить прорыв в области анализа характера движения электронов и распределения примесей в полупроводниках, что позволило впервые провести исследования с 1-нанометровой точностью. Это крупное достижение на основе сканирующей микроскопии сопротивления растекания (scanning spreading resistance microscopy или SSRM) является важным шагом вперед на пути интеграции высокого уровня современных микросхем (Large Scale Integration или LSI) с целью достижения уровня 45-нанометрового технологического процесса и дальнейшего его уменьшения.

Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM) является предпочтительной технологией для получения двумерных изображений дифференциальных проводимостей на поперечном сечении полупроводника, позволяющей проводить исследования распределения электронов проводимости и примесей. В последнее время данная методика довольно востребована, поскольку допуски, необходимые для 45-нм поколения LSI, делают необходимым изучение распределения плотности электронов проводимости в проводящих каналах и возможность контроля легирования с 1нм уровнем точности.

SSRM использует сканирующий зонд для получения двумерных изображений распределения носителей зарядов в полупроводниковых устройствах. Однако уровень точности SSRM с самым высоким разрешением, использующей обычные зонды, оставался не выше 5 нм.

Существуют, главным образом, две проблемы SSRM: ухудшение точности изображения из-за влияния паров воды на образце и сложность обеспечения стабильного контакта между образцом и зондом. В некоторой степени преодолеть эти проблемы удалось благодаря тому, что SSRM проводилась в вакууме и была усовершенствована система позиционирования зонда. Это позволило оптимизировать сканирование и усовершенствовать методику исследования до точности в 1 нанометр, которая ранее еще не достигалась. Полученные достижения уже применяются фирмой Toshiba с целью усовершенствования технологического процесса до 45 нанометров.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Золотое руно
Золотое руно

Премии Правительства Москвы молодым ученым за 2019 год
Объявлены лауреаты премии Правительства Москвы молодым ученым за 2019 год. Премией отмечены 50 работ молодых столичных ученых. Среди лауреатов 12 сотрудников МГУ имени М.В.Ломоносова. Конкурс на получение премий Правительства Москвы молодым ученым проводится с 2013 года. Торжественное награждение победителей состоится 7 февраля 2020 года в Государственном Кремлевском дворце.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Перерождение кремния: от полупроводника к металлу. Морская губка – основа для создания новых наноструктурных композитов. Нитрид-борные аналоги углеродных колец. Лучшие научные сюжеты года по версии APS. Сверхпроводимость ставит новый температурный рекорд. Звук переносит массу? Всяко-разно.

Наносистемы: физика, химия, математика (2019, том 10, № 6)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume10/10-6
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Да пребудет с вами сила плазмонов!
А.А.Семенова, Э.Н.Никельшпарг, Е.А.Гудилин, Н.А.Браже
Ученые Московского университета приблизились к решению проблем современной медицинской диагностики с использованием единичных клеток и их органелл путем разработки новых неинвазивных оптических методов анализа.

Юрий Добровольский: «Через 50 лет вся энергия будет вырабатываться биоорганизмами»
Андрей Бабицкий, Юрий Добровольский
Главный редактор ПостНауки Андрей Бабицкий побеседовал с химиком Юрием Добровольским о науке о материалах, будущем энергетики и новых аккумуляторах

Константин Жижин, член-корреспондент РАН: «Бор безграничен»
Наталия Лескова
Беседа с К.Ю. Жижиным, заместителем директора Института общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова по научной работе, главным научным сотрудником лаборатории химии легких элементов и кластеров.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.