Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Результат работы процесса S4

S4 - дешевая альтернатива фотолитографии

Ключевые слова:  наноструктура, нанотехнология, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

27 февраля 2007


Разработка металлических "микроперемычек" является важной частью производства микросхем. Исследователи Иллинойского Университета разработали простой электрохимический техпроцесс для создания таких суперминиатюрных перемычек и других наноструктур.

Новый технологический процесс получил название S4. В нем используется суперионный материал, вытравливание металлической пленки требуемой структуры обеспечивается электрохимической реакцией (в суперионных материалах ионы имеют повышенную подвижность).

Как известно, традиционно вытравливание нужного "узора" происходит в несколько шагов. Вот упрощенное описание одного из вариантов (фотолитография). На кремниевом кристалле с тщательно отшлифованной поверхностью создается тонкий слой диоксида кремния. Далее на него наносится слой так называемого фоторезиста. На фоторезист воздействуют ультрафиолетовыми лучами через так называемый шаблон, который и определяет будущий рисунок. На необлученных участках кислотой вытравливается нужный "узор".

S4 позволяет упростить создание слоя перемычек. Попробуем описать вкратце этот процесс. Нужный "узор" определяется сфокусированным пучком ионов, который направляется на суперионный материал. Далее этот материал помещается на подложку, к которой подводится напряжение. Это вызывает электрохимическую реакцию, генерирующую ионы металла, которые попадают в суперионный слой. После окончания реакции образовывается требуемая структура из перемычек.

Главными достоинствами процесса S4 называются простота и более рентабельная стоимость производства. Интересно, что в ходе экспериментов исследователи без проблем создавали 50-нм структуры. Как отметил один из исследователей Кенг Сю (Keng Hsu), разрешительная способность новой технологии будет ограничиваться только механическими свойствами используемого материала.

Александр Будик





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Карбин из графена - легко!
Карбин из графена - легко!

Наносистемы: физика, химия, математика (2024, Т. 15, № 2)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume15/15-2
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Наносистемы: физика, химия, математика (2024, Т. 15, № 1)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume15/15-1
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Наносистемы: физика, химия, математика (2023, Т. 14, № 5)
Опубликован новый номер журнала "Наносистемы: физика, химия, математика". Ознакомиться с его содержанием, а также скачать необходимые Вам статьи можно по адресу: http://nanojournal.ifmo.ru/articles/volume14/14-5
Там же можно скачать номер журнала целиком.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2024 году
коллектив авторов
29 – 31 мая пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2023 году
коллектив авторов
30 мая - 01 июня пройдут защиты магистерских квалификационных работ выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Эра технопредпринимательства

В эпоху коронавируса и борьбы с ним в существенной степени меняется парадигма выполнения творческих работ и ведения бизнеса, в той или иной мере касаясь привлечения новых типов дистанционного взаимодействия, использования виртуальной реальности и элементов искусственного интеллекта, продвинутого сетевого маркетинга, использования современных информационных технологий и инновационных подходов. В этих условиях важным является, насколько само общество готово к использованию этих новых технологий и как оно их воспринимает. Данной проблеме и посвящен этот небольшой опрос, мы будет рады, если Вы уделите ему пару минут и ответите на наши вопросы.

Технопредпринимательство в эпоху COVID-19

Небольшой опрос о том, как изменились подходы современного предпринимательства в контексте новых и возникающих форм ведения бизнеса, онлайн образования, дистанционных форм взаимодействия и коворкинга в эпоху пандемии COVID - 19.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.