Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Результат работы процесса S4

S4 - дешевая альтернатива фотолитографии

Ключевые слова:  наноструктура, нанотехнология, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

27 февраля 2007


Разработка металлических "микроперемычек" является важной частью производства микросхем. Исследователи Иллинойского Университета разработали простой электрохимический техпроцесс для создания таких суперминиатюрных перемычек и других наноструктур.

Новый технологический процесс получил название S4. В нем используется суперионный материал, вытравливание металлической пленки требуемой структуры обеспечивается электрохимической реакцией (в суперионных материалах ионы имеют повышенную подвижность).

Как известно, традиционно вытравливание нужного "узора" происходит в несколько шагов. Вот упрощенное описание одного из вариантов (фотолитография). На кремниевом кристалле с тщательно отшлифованной поверхностью создается тонкий слой диоксида кремния. Далее на него наносится слой так называемого фоторезиста. На фоторезист воздействуют ультрафиолетовыми лучами через так называемый шаблон, который и определяет будущий рисунок. На необлученных участках кислотой вытравливается нужный "узор".

S4 позволяет упростить создание слоя перемычек. Попробуем описать вкратце этот процесс. Нужный "узор" определяется сфокусированным пучком ионов, который направляется на суперионный материал. Далее этот материал помещается на подложку, к которой подводится напряжение. Это вызывает электрохимическую реакцию, генерирующую ионы металла, которые попадают в суперионный слой. После окончания реакции образовывается требуемая структура из перемычек.

Главными достоинствами процесса S4 называются простота и более рентабельная стоимость производства. Интересно, что в ходе экспериментов исследователи без проблем создавали 50-нм структуры. Как отметил один из исследователей Кенг Сю (Keng Hsu), разрешительная способность новой технологии будет ограничиваться только механическими свойствами используемого материала.

Александр Будик





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Ну что, Данила-мастер, не выходит каменный цветок ?
Ну что, Данила-мастер, не выходит каменный цветок ?

Светодиодные технологии и оптоэлектроника: магистратура на стыке образования и индустрии
Открыт набор на первую в России индустриальную программу «Светодиодные технологии и оптоэлектроника» Университета ИТМО

Международная онлайн-дискуссия «Квант будущего»
Фонд Росконгресс, Госкорпорация «Росатом», Российский квантовый центр и научно-популярное издание N+1 завершают серию международных онлайн-дискуссий «Квант будущего», где лидеры индустрии и ведущие мировые ученые обсуждают, как квантовые технологии уже изменили наш мир, и с какими вызовами помогут справиться в будущем.
Заключительная дискуссия «Квантовая революция: профессии будущего и трансформация образования» состоится 8 июля в 17:00 по московскому времени.

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Супергибридный материал для хранения водорода. Двумерная соль. Существование виртуальных мультиферроиков подтверждено. Чёрные бабочки. Служение науке и немного поэзии.

Академия - университетам
Е.А.Гудилин, Ю.Г.Горбунова, С.Н.Калмыков
Российская Академия Наук и Московский университет во время пандемии реализовали пилотную часть проекта "Академия – университетам: химия и науки о материалах в эпоху пандемии". За летний период планируется провести работу по подключению к проекту новых ВУЗов, институтов РАН, профессоров РАН, а также по взаимодействию с новыми уникальными лекторами для развития структурированного сетевого образовательного проекта "Академия - университетам".

Материалы к защитам выпускных квалификационных работ бакалавров ФНМ МГУ 2020
Коллектив авторов
Защиты выпускных квалификационных работ (квалификация – бакалавр материаловедения) по направлению 04.03.02 - «химия, физика и механика материалов» на Факультете наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова состоятся 16, 17, 18 и 19 июня 2020 г.

Материалы к защитам магистерских квалификационных работ на ФНМ МГУ в 2020 году
коллектив авторов
2 - 5 июня пройдут защиты магистерских диссертаций выпускниками Факультета наук о материалах МГУ имени М.В.Ломоносова.

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.