Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Схема распределительной нанопечатной литографии (Stephen Chou/Princeton University)

Недостатки метода нанолитографии удалось преодолеть

Ключевые слова:  литография, нанолитография, наноструктура, нанотехнология, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

02 февраля 2007

При производстве кремниевых чипов следующего поколения (с отдельными деталями размером до 1-2 нанометров) с помощью нанолитографии велика вероятность попадания мельчайших капель жидкости-растворителя на подложку, что, естественно, делает ее непригодной для дальнейшего технологического процесса. В результате готовый продукт достаточно дорого обходится конечному потребителю.

Ученые из университета Принстона (Princeton University) смогли решить эту проблему, снизив вероятность появления этого типа брака до минимума.

Стивен Чоу (Stephen Chou) и его коллеги разработали метод нанопечатной литографии еще в 1990 году и с тех пор постоянно его развивали. Суть метода состоит в производстве «штампа» нанометровых размеров, который наносит контрастные отпечатки на подложку. Благодаря этому инженеры могут создавать структуры с разрешением в один нанометр – это наиболее точная технология производства чипов на сегодняшний день. Однако при технологическом процессе формируются крошечные пузырьки воздуха, переносящие жидкость на подложку.

Чоу и его коллеги исследовали процесс формирования пузырьков воздуха и установили основные факторы, влияющие на их появление. Путем увеличения давления «штампа» на подложку и использования других жидкостей в качестве растворителя им удалось значительно снизить количество брака при производстве чипов.

По мнению исследователей, новый подход позволит преодолеть трудности массового производства чипов по технологии нанопечатной литографии, сообщает EurekAlert. А это, в свою очередь, означает снижение цены на готовый продукт.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Кристаллическая бабочка
Кристаллическая бабочка

4 февраля объявили лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке»
4 февраля в здании Минобрнауки РФ состоялась торжественное награждение лауреатов V Всероссийской премии «За верность науке». 11 научно-просветительских проектов были отмечены престижной наградой.

Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии
5 февраля в Московском университете в Шуваловском корпусе МГУ состоится Всероссийский съезд учителей и преподавателей химии, посвященный Международному году Периодической таблицы химических элементов, начало - 10 часов.

Самые необычные таблицы Менделеева на выставке Международного года Периодической таблицы химических элементов

6-8 февраля в Российской академии наук состоялось торжественное открытие Международного года периодической таблицы химических элементов в России и приуроченная к этому масштабная интерактивная выставка

Почувствовать живое...
Е.А.Гудилин, А.А.Семенова, Н.А.Браже
Неразрушающее исследование живых клеток и клеточных структур является в настоящее время важным направлением научных изысканий, которые во многих зарубежных и российских научных группах направлены на достижение вполне прагматической цели – разработку новых принципов биомедицинской диагностики и эффективных подходов в нарождающейся персональной медицине.

Российская газета: Перевернуть пирамиду. Президент РАН: как повысить наши шансы на Нобеля
Юрий Медведев
Почему Россия по числу Нобелей отстает от ведущих стран мира, уступая, например, даже маленькой Швейцарии? Замалчиваются ли достижения отечественных ученых? Почему без привлечения в науку российского бизнеса мы не сможем успешно конкурировать в борьбе за престижную научную премию? Об этом корреспондент "РГ" беседует с президентом РАН Александром Сергеевым, который побывал в Стокгольме на вручении Нобелевских премий и поделился своими впечатлениями.

Инновационные системы: достижения и проблемы
Олег Фиговский, Валерий Гумаров

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!

Опыт обучения в области нанотехнологического технопредпринимательства

В этом опросе мы просим поделиться опытом и Вашим отношением к нанотехнологическому технопредпринимательству и смежным областям. Заранее спасибо за Ваше неравнодушие!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.