Нанотехнологическое сообщество Нанометр, все о нанотехнологиях
на первую страницу Новости Публикации Библиотека Галерея Сообщество Объявления Олимпиада ABC О проекте
 
  регистрация
помощь
 
Схема распределительной нанопечатной литографии (Stephen Chou/Princeton University)

Недостатки метода нанолитографии удалось преодолеть

Ключевые слова:  литография, нанолитография, наноструктура, нанотехнология, периодика

Опубликовал(а):  Кушнир Сергей Евгеньевич

02 февраля 2007

При производстве кремниевых чипов следующего поколения (с отдельными деталями размером до 1-2 нанометров) с помощью нанолитографии велика вероятность попадания мельчайших капель жидкости-растворителя на подложку, что, естественно, делает ее непригодной для дальнейшего технологического процесса. В результате готовый продукт достаточно дорого обходится конечному потребителю.

Ученые из университета Принстона (Princeton University) смогли решить эту проблему, снизив вероятность появления этого типа брака до минимума.

Стивен Чоу (Stephen Chou) и его коллеги разработали метод нанопечатной литографии еще в 1990 году и с тех пор постоянно его развивали. Суть метода состоит в производстве «штампа» нанометровых размеров, который наносит контрастные отпечатки на подложку. Благодаря этому инженеры могут создавать структуры с разрешением в один нанометр – это наиболее точная технология производства чипов на сегодняшний день. Однако при технологическом процессе формируются крошечные пузырьки воздуха, переносящие жидкость на подложку.

Чоу и его коллеги исследовали процесс формирования пузырьков воздуха и установили основные факторы, влияющие на их появление. Путем увеличения давления «штампа» на подложку и использования других жидкостей в качестве растворителя им удалось значительно снизить количество брака при производстве чипов.

По мнению исследователей, новый подход позволит преодолеть трудности массового производства чипов по технологии нанопечатной литографии, сообщает EurekAlert. А это, в свою очередь, означает снижение цены на готовый продукт.





Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь

 

Кристаллическая бабочка
Кристаллическая бабочка

Конференции 2020-го: планы на первое полугодие
План по мероприятиям на первое полугодие 2020-го

Перст-дайджест
В новом выпуске бюллетеня «ПерсТ»: Британский крест китайских ученых: элемент памяти на новом типе доменной структуры в FeRh.Волокна из углеродных нанотрубок помогут сердцу. Фуллерены для стабилизации азотного топлива. International Quantum Complex Matter Conference 2020 (QCM2020).

На ВДНХ в Москве отметят День российской науки
День российской науки отпразднуют на ВДНХ в Москве 8 и 9 февраля. Инновационно-образовательный комплекс «Техноград» на ВДНХ приглашает москвичей и гостей столицы отпраздновать «День науки». Гостей ожидают бесплатные мастер-классы, знакомство с инновациями в биомедицине и достижениями нейронаук, занимательные уроки и многое другое.

Зимняя научная конференция студентов 4 курса ФНМ МГУ 22-23 января 2020 г.
Сафронова Т.В.
Настоящий сборник содержит тезисы докладов зимней научной студенческой конференции студентов 4-го курса ФНМ

Да пребудет с вами сила плазмонов!
А.А.Семенова, Э.Н.Никельшпарг, Е.А.Гудилин, Н.А.Браже
Ученые Московского университета приблизились к решению проблем современной медицинской диагностики с использованием единичных клеток и их органелл путем разработки новых неинвазивных оптических методов анализа.

Юрий Добровольский: «Через 50 лет вся энергия будет вырабатываться биоорганизмами»
Андрей Бабицкий, Юрий Добровольский
Главный редактор ПостНауки Андрей Бабицкий побеседовал с химиком Юрием Добровольским о науке о материалах, будущем энергетики и новых аккумуляторах

Технонано

Технопредпринимательство - идея, которая принесет свои плоды при бережном культивировании и взращивании. И наша наноолимпиада, и Наноград от Школьной Лиги РОСНАНО, и проект Стемфорд, и другие замечательные инициативы - важные шаги на пути реализации этой и других идей, связанных с развитием новых высоких технологий в нашей стране и привлечением молодых талантов в эту вполне стратегическую область. Ниже приведен небольшой опрос, который позволит и нам, и вам понять, а что все же значит этот модный термин, и какова его суть.

Технопредпринимательство на марше

Мы традиционно просим вас высказать свои краткие суждения по вопросу технопредпринимательства и проектной деятельности школьников. Для нас очевидно, что под технопредпринимательством и под проектной деятельностью школьников каждый понимает свое, но нам интересно ваше мнение, заодно вы сможете увидеть по мере прохождения опроса, насколько оно совпадает или отличается от мнения остальных. Ждем ваших ответов!

О наноолимпиаде замолвите слово...

Прошла XII Всероссийская олимпиада "Нанотехнологии - прорыв в Будущее!" Мы надеемся, что нам для улучшения организации последующих наноолимпиад поможет электронное анкетирование. Мы ждем Ваших замечаний, пожеланий, предложений. Спасибо заранее!



 
Сайт создан в 2006 году совместными усилиями группы сотрудников и выпускников ФНМ МГУ.
Сайт модернизирован для ресурсной поддержки проектной деятельности учащихся в рамках ГК 16.647.12.2059 (МОН РФ)
Частичное или полное копирование материалов сайта возможно. Но прежде чем это делать ознакомьтесь с инструкцией.